የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ትክክለኛነት ይቅር የማይባል ነው። ትራንዚስተሮች ሲቀነሱ እና የወረዳዎች ቁጥር ሲጨምር፣ አነስተኛ የአካባቢ ልዩነት ደረጃዎች እንኳን ጉድለቶችን፣ የምርት መጥፋትን ወይም የመጨረሻ የአስተማማኝነት ውድቀትን ሊያስከትሉ ይችላሉ። ያለምንም ጥርጥር፣ ጉድለት የሌለበት ሂደት በጣም አስፈላጊው እና ችላ የተባለው ገጽታ የእርጥበት ቁጥጥር ነው። ከፍተኛ አፈፃፀም የተመሰረተው በዘመናዊ የሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል መሳሪያዎች ላይ ብቻ ሳይሆን፣ በሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል የጽዳት ክፍልን እርጥበት የማጽዳት ልምዶች ላይ ሲሆን፣ ትኩረት የተደረገባቸው የተወሰኑ የሂደት መለኪያዎችን በመጠቀም በጥንቃቄ የተሻሻሉ ናቸው።

የእርጥበት ሚና በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ

እርጥበት የቅንጦት ብቻ አይደለም - በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ተቋማት ውስጥ አስፈላጊ ነገር ነው። ቁጥጥር ያልተደረገበት እርጥበት የሚከተሉትን አደጋዎች ያስከትላል፡

• ስሱ የሆኑ የዋፈር ገጽታዎች ኦክሳይድ
• በተለይም ዝቅተኛ እርጥበት ባለባቸው አካባቢዎች የኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሽ (ESD)
• በውሃ ትነት አባሪ አማካኝነት የንጥረ ነገር ብክለት
• በማሸጊያ እና በሙከራ ደረጃዎች ወቅት በእርጥበት ምክንያት የሚመጣ ዝገት

የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ዛሬ በናኖሜትር ሚዛን ስለሚመረቱ፣ እነዚህ አደጋዎች እየጨመሩ መጥተዋል። ስለዚህ፣ የሴሚኮንዳክተር እርጥበት ቁጥጥር እንዲሁ ጥሩ ሀሳብ አይደለም - ቴክኒካዊ ግዴታ ነው።

የሴሚኮንዳክተር ክሊንደርን መረዳት

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካዎች ወይም ፋብሎች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የአየር ቅንጣት መጠን፣ የሙቀት መጠን መለዋወጥ እና እርጥበት ያላቸው ናቸው። የጽዳት ክፍሎች በ ISO ወይም በፌዴራል ስታንዳርድ 209E ምደባ መሠረት በአንድ ኪዩቢክ ሜትር የቅንጣት ተቀባይነት ባለው ቁጥር እና ዲያሜትር መሠረት ይመደባሉ።

በዚህ አካባቢ፣ የሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል መሳሪያዎች የአየር ፍሰትን እና ማጣሪያን ከመቆጣጠር ባለፈ የሙቀት መጠንን እና እርጥበትን ያረጋጋሉ። የጽዳት ክፍል ስርዓቶች ውህደት የአካባቢ መለኪያዎች የተጣጣሙ መሆናቸውን ማረጋገጥ አለበት። ይህ በተለይ እንደ ሊቶግራፊ፣ የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) እና ኢቺንግ ባሉ ስስ ስራዎች ላይ እውነት ነው።

ለአካባቢ ቁጥጥር ወሳኝ የሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል መሳሪያዎች

ዘመናዊ ፋብተሮች የአካባቢን ሁኔታ ለመቆጣጠር ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የተለያዩ መሳሪያዎችን ይጠቀማሉ። በአየር ንፅህና እና እርጥበት ቁጥጥር ውስጥ የሚከተሉት መሳሪያዎች በጣም አስፈላጊ ናቸው፡

• የHEPA እና የULPA ማጣሪያዎች፡- የአየር ንጽህናን እና የእርጥበት ቁጥጥርን በመቆጣጠር እስከ 0.12 ማይክሮን የሚደርሱ ትናንሽ የአየር ቅንጣቶችን ያስወግዱ።
• የክሊን ሩም HVAC ስርዓቶች፡- ልዩ የማሞቂያ፣ የአየር ማናፈሻ እና የአየር ማቀዝቀዣ ስርዓቶች በተለይ በክሊን ሩም ውስጥ ላሉ የተለያዩ ቦታዎች የተነደፉ ናቸው።
• የአካባቢ ክትትል ስርዓቶች፡- እርጥበትን፣ የሙቀት መጠንን እና የአየር ብናኞችን ሁልጊዜ በንቃት የሚከታተሉ፣ በእውነተኛ ጊዜ ማስጠንቀቂያ እና የውሂብ ምዝግብ ማስታወሻ ያቀርባሉ።
• የእርጥበት ማስወገጃ ክፍሎች፡- በአብዛኛዎቹ አጋጣሚዎች ከ HVAC ስርዓቶች ጋር የተዋሃዱ ሲሆኑ፣ እነዚህ በከፍተኛ ስሜታዊነት ባላቸው አካባቢዎች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጤዛ ነጥቦችን ለማግኘት ቁልፍ አንቀሳቃሾች ናቸው።

ለሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል የሚሆኑ ሁሉም መሳሪያዎች የሥራ ጊዜውን እና የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ ዝቅተኛ ጥገና፣ ተኳሃኝነት እና አስተማማኝነት ያላቸው መሆን አለባቸው።

የላቀ የሴሚኮንዳክተር ክሊንደር ሩም እርጥበት ማስወገጃ ቴክኒኮች

በሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍሎች ውስጥ ጥሩ የእርጥበት ቁጥጥር የቴክኖሎጂ ፈተና ነው፣ በተለይም የአካባቢው እርጥበት አካባቢ ከፍተኛ ወይም በጣም ዝቅተኛ የጤዛ ነጥብ ሲሆን እፅዋትን የሚፈልግ (እስከ -40°ሴ ወይም -60°ሴ ዝቅተኛ)። የሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል የእርጥበት ማስወገጃ ቴክኖሎጂ የሚያስገባው እዚህ ነው።

የእርጥበት ማስወገጃ ዘዴዎች የሚከተሉት ናቸው፡

• የእርጥበት ማስወገጃዎች፡- እነዚህ አየርን ለማድረቅ ሃይግሮስኮፒክ ቁሳቁሶችን የሚጠቀሙ ሲሆን ለዝቅተኛ የአየር ሴልሺየስ (RH) አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ናቸው።
• በማቀዝቀዣ ላይ የተመሰረቱ የእርጥበት ማስወገጃዎች፡- ውሃን ለማጓጓዝ አየርን ያቀዘቅዛሉ፣ ይህም ለአጠቃላይ የእርጥበት መቆጣጠሪያ ፍላጎቶች ተስማሚ ነው።
• የተዋሃዱ ስርዓቶች፡- ደረቅ ማድረቂያ እና ማቀዝቀዣዎች በጥብቅ የቁጥጥር ሁኔታዎች ውስጥ ውጤታማ ተግባር እንዲሰሩ ይደባለቃሉ።

ሲስተሞቹ ብዙውን ጊዜ በዞን ክፍፍል አቅም የተገነቡ ሲሆኑ፣ የጽዳት ክፍሉ ዞኖች እንደ ሂደቱ ደረጃ እና እንደ መሳሪያው ስሜታዊነት የተለያዩ የእርጥበት ደረጃዎች ሊኖራቸው ይችላል።

የተቀናጀ የሴሚኮንዳክተር እርጥበት መቆጣጠሪያ ጥቅሞች

የተቀናጀ የሴሚኮንዳክተር እርጥበት መቆጣጠሪያ ዘዴ በርካታ የአሠራር ጥቅሞች አሉት

• የተሻሻለ ምርት፡- ወጥ የሆነ እርጥበት የእርጥበት ጉድለቶችን ይከላከላል እና ጥቅም ላይ የሚውሉ ቺፖችን ከፍተኛ ጥምርታ ይሰጣል።
• የተቀነሰ የእረፍት ጊዜ፡- አውቶማቲክ የአካባቢ ቁጥጥር ስርዓቶች በእጅ የሚደረግ የማጣቀሻ እና የማረም ስራን ወደ ፍጹም ዝቅተኛ ደረጃ ይቀንሳሉ።
• ተገዢነት እና ማረጋገጫ፡- እጅግ በጣም ጥሩ የቁጥጥር ስርዓቶች ሲተገበሩ ከ ISO 14644 ወይም GMP የምስክር ወረቀት ጋር መጣጣም ቀላል ይሆናል።
• የኢነርጂ ቅልጥፍና፡- የላቁ የእርጥበት ማስወገጃ ስርዓቶች ኃይል ቆጣቢ ሊሆኑ ቢችሉም በተወሰነ ገደብ ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግባቸው ይችላል።

በተጨማሪም፣ ፋብሎች በራስ-ሰር የሚሰሩ እና በአይአይ የሚመሩ በመሆናቸው፣ የእርጥበት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች እንደ የማምረቻ አፈፃፀም ስርዓቶች (MES) እና የህንፃ አስተዳደር ስርዓቶች (BMS) ባሉ ሌሎች ስርዓቶች ውስጥ እየተዋሃዱ ሲሆን ማዕከላዊ ቁጥጥር የሚደረግባቸው እና ትንበያ-ጥገና የሚችሉ ናቸው።

መደምደሚያ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የእርጥበት መጠንን መቆጣጠር ሁለተኛ ደረጃ ጉዳይ ብቻ አይደለም - የጥራት፣ የወጥነት እና የትርፍነት ውስጣዊ አነቃቂ ነው። የላቀ የሴሚኮንዳክተር ጽዳት ክፍል ቴክኖሎጂን እና ተገቢ የሴሚኮንዳክተር ጽዳት ክፍል እርጥበት ማስወገጃ ዘዴዎችን በመጠቀም፣ ፋብሮች የሚቀጥለውን ትውልድ ቺፖችን ለማምረት የሚያስፈልገውን ትክክለኛ መቻቻል ማሳካት ይችላሉ።

የተዋሃዱ፣ ብልህ እና ኃይል ቆጣቢ የሴሚኮንዳክተር እርጥበት መቆጣጠሪያ ስርዓቶችን በመቀበል፣ ከ AI እና IoT እስከ አውቶሞቲቭ እና ኤሮስፔስ ያሉ የገበያዎችን እየጨመረ የመጣውን ፍላጎት ለማሟላት እራስዎን በሚያስችል ሁኔታ ውስጥ ያስቀምጣሉ። አንድ ማይክሮን ወሳኝ በሆነበት ዓለም ውስጥ፣ የሚፈጥሩት አካባቢ የበለጠ ወሳኝ ነው።