ሴሚኮንዳክተር ማምረት በትክክለኛነት ይቅር የማይባል ነው. ትራንዚስተሮች ሲቀነሱ እና ሰርኪዩሪቲ ሲጨምር፣ አነስተኛ የአካባቢ ለውጥ ደረጃዎች እንኳን ጉድለቶችን፣ ምርትን ማጣት ወይም የመጨረሻ አስተማማኝነት ውድቀትን ያስከትላል። ያለምንም ጥርጥር, ጉድለት የሌለበት ሂደት በጣም አስፈላጊ እና ችላ የተባለበት ሁኔታ የእርጥበት መቆጣጠሪያ ነው. ከፍተኛ አፈጻጸም የተመሰረተው በዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ንፁህ ክፍል መሳሪያዎች ላይ ብቻ ሳይሆን በሴሚኮንዳክተር ንፁህ ክፍል የእርጥበት ማስወገጃ ልምምዶች በትኩረት ከተለዩ የሂደት መለኪያዎች ጋር በጥንቃቄ የተጣራ ነው።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የእርጥበት ሚና

እርጥበት የቅንጦት ብቻ አይደለም - በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ተቋማት ውስጥ አስፈላጊ ነገር ነው. ከቁጥጥር ውጭ የሆነ እርጥበት የሚከተሉትን አደጋዎች ያስከትላል.

• ስሱ የዋፈር ንጣፎች ኦክሳይድ
• ኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሽ (ኢኤስዲ), በተለይም በዝቅተኛ እርጥበት ሁኔታዎች
• በውሃ ተን በማያያዝ የንጥል ብክለት
• በማሸጊያው እና በሙከራ ደረጃዎች ውስጥ በእርጥበት ምክንያት የሚፈጠር ዝገት

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ዛሬ በናኖሜትር ሚዛን ስለሚመረቱ, እነዚህ አደጋዎች ይጨምራሉ. ስለዚህ ሴሚኮንዳክተር የእርጥበት መቆጣጠሪያ በቀላሉ ጥሩ ሀሳብ አይደለም - ቴክኒካዊ አስፈላጊ ነው።

ሴሚኮንዳክተር Cleanroomን ይረዱ

ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካዎች ወይም ፋብሎች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የአየር ወለድ ደረጃዎች፣ የሙቀት መለዋወጥ እና እርጥበት ጋር የተገነቡ ናቸው። የንፁህ ክፍሎች በ ISO ወይም በፌደራል ደረጃ 209E አመዳደብ መሰረት በአንድ ኪዩቢክ ሜትር ተቀባይነት ባለው ቁጥር እና ዲያሜትር የተከፋፈሉ ናቸው.

በዚህ አካባቢ ሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍል መሳሪያዎች የአየር ፍሰት እና ማጣሪያን ብቻ ሳይሆን ሙቀትን እና እርጥበትን ያረጋጋሉ. የንፅህና አጠባበቅ ስርዓቶች ውህደት የአካባቢያዊ መመዘኛዎች የተጣጣሙ መሆናቸውን ማረጋገጥ አለባቸው. ይህ በተለይ እንደ ሊቶግራፊ፣ የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) እና ማሳከክ ባሉ ጥቃቅን ስራዎች ላይ እውነት ነው።

ለአካባቢ ቁጥጥር ወሳኝ ሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል መሣሪያዎች

ዘመናዊ ፋብሎች የአካባቢ ሁኔታዎችን ለመቆጣጠር ከፍተኛ አፈፃፀም ያላቸውን የተለያዩ መሳሪያዎችን ይጠቀማሉ. በአየር ንፅህና እና እርጥበት ቁጥጥር ውስጥ የሚከተሉት መሳሪያዎች በጣም አስፈላጊ ናቸው.

• HEPA እና ULPA ማጣሪያዎች፡ የአየር ንፅህናን እና የአየር እርጥበት ቁጥጥርን በመቆጣጠር እስከ 0.12 ማይክሮን ያህሉ የአየር ወለድ ቅንጣቶችን ያስወግዱ።
• Cleanroom HVAC ሲስተምስ፡- ልዩ ማሞቂያ፣ አየር ማናፈሻ እና የአየር ማቀዝቀዣ ሲስተሞች በተለይ በንጽህና ክፍል ውስጥ ለግል አካባቢዎች የተበጁ ናቸው።
• የአካባቢ ቁጥጥር ስርዓቶች፡- ለአየር እርጥበት፣ የሙቀት መጠን እና የአየር ወለድ ቅንጣቶች ምንጊዜም ነቅተዋል፣ ይህም ቅጽበታዊ ማስጠንቀቂያ እና የውሂብ ምዝገባን ያቀርባል።
• የእርጥበት ማስወገጃ ክፍሎች፡- በአብዛኛዎቹ ሁኔታዎች ከኤች.አይ.ቪ.ኤ.ሲ ሲስተሞች ጋር የተዋሃዱ፣ እነዚህ በጣም ዝቅተኛ የጤዛ ነጥቦችን ለማግኘት ከፍተኛ ስሜታዊነት ባላቸው ዞኖች ውስጥ ቁልፍ ነጂዎች ናቸው።

ለሴሚኮንዳክተር ማጽጃ ክፍል ሁሉም መሳሪያዎች ዝቅተኛ ጥገና, ተኳሃኝነት እና አስተማማኝነት ወቅታዊ እና የሂደት መረጋጋትን ለማረጋገጥ የተነደፉ መሆን አለባቸው.

የላቀ ሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍል የእርጥበት ማስወገጃ ዘዴዎች

በሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች ውስጥ ጥሩ የአየር እርጥበት ቁጥጥር የቴክኖሎጂ ፈተና ነው, በተለይም የከባቢ አየር እርጥበት አካባቢ ከፍተኛ ወይም በጣም ዝቅተኛ ጠል-ነጥብ በሚሆንበት ጊዜ, ተክሎችን (እስከ -40 ° ሴ ወይም እስከ -60 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ድረስ) የሚያስፈልጋቸው. ሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍል የእርጥበት ማስወገጃ ቴክኖሎጂ የገባበት ቦታ ነው።

የእርጥበት ማስወገጃ ዘዴዎች የሚከተሉት ናቸው-

• ማድረቂያ የእርጥበት ማስወገጃዎች፡- እነዚህ አየርን ለማድረቅ ሃይሮስኮፒክ ቁሳቁሶችን ይጠቀማሉ እና ለአነስተኛ አርኤች ትግበራዎች ተስማሚ ናቸው።
• በማቀዝቀዝ ላይ የተመሰረተ የእርጥበት ማስወገጃዎች፡- ውሃ ለማጓጓዝ አየርን ያቀዘቅዛሉ፣ ይህም ለአጠቃላይ የእርጥበት መቆጣጠሪያ ፍላጎቶች ተስማሚ ነው።
• ድብልቅ ሲስተሞች፡- ማድረቂያ እና ማቀዝቀዣ በጥብቅ ቁጥጥር ሁኔታዎች ውስጥ ለ ውጤታማ ተግባር የተዋሃዱ ናቸው።

ስርዓቶቹ ብዙውን ጊዜ በዞን ክፍፍል አቅም የተገነቡ ናቸው, የንጹህ ክፍል ዞኖች በሂደቱ ደረጃ እና በመሳሪያዎች ስሜታዊነት መሰረት የተለያየ የእርጥበት መጠን ሊኖራቸው ይችላል.

የተቀናጀ ሴሚኮንዳክተር እርጥበት መቆጣጠሪያ ጥቅሞች

የተቀናጀ ሴሚኮንዳክተር እርጥበት መቆጣጠሪያ ዘዴ በርካታ የአሠራር ጥቅሞች አሉት-

• የተሻሻለ ምርት፡ የማያቋርጥ እርጥበት የእርጥበት ጉድለቶችን ይከላከላል እና ከፍተኛ ጥቅም ላይ የሚውሉ ቺፖችን ጥምርታ ያቀርባል።
• የተቀነሰ የእረፍት ጊዜ፡ አውቶማቲክ የአካባቢ ቁጥጥር ስርዓቶች በእጅ መጨናነቅን እና ማረምን ወደ ፍፁም በትንሹ ይቀንሳሉ።
• ተገዢነት እና የምስክር ወረቀት፡ ከ ISO 14644 ወይም GMP የምስክር ወረቀት ጋር መጣጣም በስራ ላይ ባሉ እጅግ በጣም ጥሩ የቁጥጥር ስርዓቶች ቀላል ይሆናል።
• የኢነርጂ ቅልጥፍና፡ የላቀ የእርጥበት ማስወገጃ ስርዓቶች ኃይል ቆጣቢ ቢሆኑም በጠባብ ገደብ ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግባቸው ይችላል።

በተጨማሪም በፋብሎች አውቶሜትድ እና AI-የሚመራ፣የእርጥበት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች እንደ ማምረቻ ማስፈጸሚያ ስርዓቶች (MES) እና የግንባታ አስተዳደር ስርዓቶች (BMS) ማእከላዊ ቁጥጥር እና ትንበያ-ጥገና-መቻል ባሉ ሌሎች ስርዓቶች ውስጥ እየተዋሃዱ ነው።

መደምደሚያ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጊዜ ውስጥ የእርጥበት መጠንን መቆጣጠር ከሁለተኛ ደረጃ አሳሳቢ አይደለም - የጥራት፣ ወጥነት እና ትርፋማነት ውስጣዊ ማንቃት ነው። የላቀ ሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍል ቴክኖሎጂን እና ተገቢውን ሴሚኮንዳክተር ንፁህ ክፍል የእርጥበት ማስወገጃ ዘዴዎችን በመጠቀም ፋብሎች ቀጣዩ ትውልድ ቺፖችን ለማምረት የሚያስፈልጉትን ትክክለኛ መቻቻል ማሳካት ይችላሉ።

የተቀናጁ፣ ብልህ እና ሃይል ቆጣቢ ሴሚኮንዳክተር የእርጥበት መቆጣጠሪያ ስርዓቶችን በመቀበል ከ AI እና IoT እስከ አውቶሞቲቭ እና ኤሮስፔስ ያሉ የገበያ ፍላጎቶችን ለማሟላት እራስዎን ያኖራሉ። አንድ ማይክሮን ወሳኝ በሆነበት ዓለም ውስጥ, እርስዎ የፈጠሩት አካባቢ የበለጠ ወሳኝ ነው.