Yarımkeçirici istehsalı dəqiqlik baxımından amansızdır. Tranzistorlar minimuma endirildikcə və dövrə artdıqca, hətta minimal səviyyədə ətraf mühit dəyişikliyi belə qüsurlara, məhsuldarlıq itkisinə və ya son etibarlılıq çatışmazlığına səbəb ola bilər. Şübhəsiz ki, qüsursuz prosesin ən vacib və laqeyd yanaşdığı aspekt rütubətə nəzarətdir. Ən yüksək performans yalnız ən müasir yarımkeçirici təmiz otaq avadanlıqlarına deyil, həm də xüsusi proses parametrləri ilə vicdanla təkmilləşdirilmiş yarımkeçirici təmiz otaqda nəmsizləşdirmə təcrübələrinə əsaslanır.

Yarımkeçirici İstehsalında Rütubətin Rolü

Rütubət sadəcə lüks deyil — yarımkeçirici istehsal müəssisələrində vacib amildir. Nəzarətsiz rütubət aşağıdakı təhlükələri yaradır:

• Həssas lövhə səthlərinin oksidləşməsi
• Xüsusilə aşağı rütubət şəraitində elektrostatik boşalma (ESD)
• Su buxarı əlavəsi vasitəsilə hissəciklərin çirklənməsi
• Qablaşdırma və sınaq mərhələlərində nəmdən qaynaqlanan korroziya

Yarımkeçirici cihazlar bu gün nanometr miqyaslarında istehsal olunduğundan, bu risklər artır. Beləliklə, yarımkeçirici rütubətə nəzarət sadəcə yaxşı bir fikir deyil - bu, texniki bir zərurətdir.

Yarımkeçirici Təmizlik Otağını Anlayın

Yarımkeçirici istehsal fabrikləri və ya fabrikləri havadakı hissəcik səviyyələri, temperatur dalğalanmaları və rütubətin olduqca aşağı olduğu şəraitdə qurulur. Təmiz otaqlar ISO və ya Federal Standart 209E təsnifatına uyğun olaraq kubmetr başına düşən hissəciklərin məqbul sayı və diametri baxımından təsnif edilir.

Bu mühitdə yarımkeçirici təmiz otaq avadanlığı yalnız hava axını və filtrasiyanı tənzimləmir, həm də temperatur və rütubəti sabitləşdirir. Təmiz otaq sistemlərinin inteqrasiyası ətraf mühit parametrlərinin uyğunlaşdırılmasını təmin etməlidir. Bu, xüsusilə litoqrafiya, kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) və aşındırma kimi incə əməliyyatlarda doğrudur.

Ətraf Mühitin Mühafizəsi üçün Kritik Yarımkeçirici Təmiz Otaq Avadanlıqları

Müasir fabriklər ətraf mühit şəraitini izləmək üçün yüksək performanslı müxtəlif avadanlıqlardan istifadə edirlər. Hava təmizliyi və rütubətin idarə olunmasında aşağıdakı avadanlıqlar ən vacibdir:

• HEPA və ULPA Filtrləri: Havadakı 0,12 mikron qədər kiçik hissəcikləri təmizləyir, sabit hava axını nümunələrini təmin etməklə hava təmizliyi və rütubət nəzarətini təmin edir.
• Təmiz Otaq HVAC Sistemləri: Xüsusi istilik, ventilyasiya və kondisioner sistemləri təmiz otağın fərdi sahələrinə xüsusi olaraq uyğunlaşdırılıb.
• Ətraf Mühitin Monitorinqi Sistemləri: Rütubətə, temperatura və havadakı hissəciklərə daim diqqət yetirir, real vaxt rejimində xəbərdarlıq və məlumatların qeydiyyatı təklif edir.
• Nəmləndirmə Qurğuları: Əksər hallarda HVAC sistemlərinə inteqrasiya olunmuş bunlar yüksək həssaslıq zonalarında ultra aşağı şeh nöqtələrinə nail olmağın əsas hərəkətverici qüvvələridir.

Yarımkeçirici təmiz otaq üçün bütün avadanlıqlar işləmə müddətini və proses sabitliyini təmin etmək üçün az texniki xidmət, uyğunluq və etibarlılıq tələb edən şəkildə dizayn edilməlidir.

Qabaqcıl Yarımkeçirici Təmiz Otaq Nəmsizləşdirmə Texnikaları

Yarımkeçirici təmiz otaqlarda optimal rütubət tənzimlənməsi, xüsusən də ətraf mühitin rütubəti yüksək və ya çox aşağı olduqda, bitkilər tələb olunduqda (-40°C və ya hətta -60°C-yə qədər) texnoloji bir çətinlikdir. Məhz burada yarımkeçirici təmiz otaqların nəmsizləşdirilməsi texnologiyası işə düşür.

İstifadə olunan nəmləndirmə üsulları aşağıdakılardır:

• Quruducu Nəmləndiricilər: Bunlar havanı qurutmaq üçün higroskopik materialdan istifadə edir və aşağı rütubətli tətbiqlər üçün idealdır.
• Soyuducu Əsaslı Nəmləndiricilər: Onlar suyu daşımaq üçün havanı soyudurlar və ümumi rütubətə nəzarət tələbləri üçün optimaldır.
• Hibrid Sistemlər: Quruducu və soyuducu, ciddi nəzarət şərtləri altında effektiv işləmək üçün qarışdırılır.

Sistemlər tez-tez rayonlaşdırma qabiliyyəti ilə qurulur, burada təmiz otağın fərdi zonaları proses mərhələsinə və avadanlığın həssaslığına görə fərqli rütubət səviyyələrinə malik ola bilər.

İnteqrasiya olunmuş Yarımkeçirici Rütubət Nəzarətinin Üstünlükləri

İnteqrasiya olunmuş yarımkeçirici rütubətə nəzarət metodunun bir neçə əməliyyat üstünlüyü var:

• Təkmilləşdirilmiş məhsuldarlıq: Sabit rütubət nəm qüsurlarının qarşısını alır və istifadəyə yararlı çipslərin daha yüksək nisbətini təmin edir.
• Azaldılmış Boş Vaxt: Avtomatlaşdırılmış ətraf mühitə nəzarət sistemləri əl ilə tənzimləmə və sazlama işlərini mütləq minimuma endirir.
• Uyğunluq və Sertifikatlaşdırma: Əla idarəetmə sistemlərinin işləməsi ilə ISO 14644 və ya GMP sertifikatına uyğunluq daha asan olur.
• Enerji Səmərəliliyi: Qabaqcıl nəmləndirmə sistemləri enerjiyə qənaətli ola bilər, lakin məhdud hədlər daxilində idarə oluna bilər.

Bundan əlavə, fabriklərin avtomatlaşdırılması və süni intellektlə idarə olunması ilə rütubətə nəzarət sistemləri mərkəzləşdirilmiş şəkildə idarə olunmaq və proqnozlaşdırma-texniki xidmət göstərə bilmək üçün istehsal icra sistemləri (MES) və bina idarəetmə sistemləri (BMS) kimi digər sistemlərə inteqrasiya olunur.

Nəticə

Yarımkeçirici istehsalı zamanı rütubətin idarə olunması ikinci dərəcəli məsələdən başqa bir şey deyil - keyfiyyət, ardıcıllıq və gəlirlilik üçün daxili imkandır. Qabaqcıl yarımkeçirici təmiz otaq texnologiyasından və müvafiq yarımkeçirici təmiz otaq qurutma metodlarından istifadə edərək fabriklər yeni nəsil çiplərin istehsalı üçün tələb olunan dəqiq toleranslara nail ola bilərlər.

İnteqrasiya olunmuş, ağıllı və enerjiyə qənaət edən yarımkeçirici rütubətə nəzarət sistemlərini tətbiq etməklə, özünüzü süni intellekt və IoT-dan avtomobil və aerokosmik sahələrə qədər genişlənən bazarların tələblərini ödəmək üçün bir mövqeyə qoyursunuz. Bir mikronun vacib olduğu bir dünyada yaratdığınız mühit daha da vacibdir.