Yarımkeçiricilərin istehsalı dəqiqlik baxımından bağışlanmazdır. Tranzistorlar minimuma endirildikcə və dövrə artırıldıqca, ətraf mühit dəyişikliyinin minimal səviyyələri belə qüsurlar, məhsuldarlıq itkisi və ya son etibarlılıq uğursuzluğu ilə nəticələnə bilər. Şübhəsiz ki, qüsursuz bir prosesin ən vacib və diqqətdən kənarda qalan cəhəti rütubətə nəzarətdir. Ən yüksək performans yalnız ən müasir yarımkeçirici təmiz otaq avadanlığı üzərində qurulmur, həm də diqqət mərkəzində olan xüsusi proses parametrləri ilə vicdanla təmizlənmiş yarımkeçirici təmiz otaqda nəmləndirmə təcrübələrinə əsaslanır.

Yarımkeçiricilərin istehsalında rütubətin rolu

Rütubət sadəcə dəbdəbə deyil, yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm amildir. Nəzarətsiz rütubət aşağıdakı təhlükələrə səbəb olur:

• Həssas vafli səthlərin oksidləşməsi
• Xüsusilə aşağı rütubətli şəraitdə elektrostatik boşalma (ESD).
• Su buxarının bağlanması ilə hissəciklərin çirklənməsi
• Qablaşdırma və sınaq mərhələlərində nəmlik nəticəsində yaranan korroziya

Yarımkeçirici cihazlar bu gün nanometr miqyasında istehsal edildiyi üçün bu risklər artır. Beləliklə, yarımkeçirici rütubətə nəzarət sadəcə yaxşı bir fikir deyil - bu texniki vacib şərtdir.

Yarımkeçirici Təmiz Otağı anlayın

Yarımkeçiricilər istehsal edən fabriklər və ya fabriklər son dərəcə aşağı havadakı hissəcik səviyyələri, temperatur dəyişkənliyi və rütubətlə tikilir. Təmiz otaqlar ISO və ya Federal Standart 209E təsnifatına uyğun olaraq hər kubmetrə düşən hissəciklərin məqbul sayı və diametri baxımından təsnif edilir.

Bu mühitdə yarımkeçirici təmiz otaq avadanlığı yalnız hava axını və filtrasiyanı tənzimləmir, həm də temperatur və rütubəti sabitləşdirir. Təmiz otaq sistemlərinin inteqrasiyası ətraf mühit parametrlərinin uyğunlaşdırılmasını təmin etməlidir. Bu, xüsusilə litoqrafiya, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) və aşındırma kimi incə əməliyyatlar üçün doğrudur.

Ətraf Mühitə Nəzarət üçün Kritik Yarımkeçirici Təmiz Otaq Avadanlığı

Müasir fabriklər ətraf mühitin vəziyyətini izləmək üçün yüksək performanslı müxtəlif avadanlıqlardan istifadə edirlər. Havanın təmizliyinə və rütubətə nəzarətdə aşağıdakı avadanlıq ən vacibdir:

• HEPA və ULPA Filtrlər: Sabit hava axını modellərini təmin etməklə havanın təmizliyinə və rütubətə nəzarəti təmin edərək, 0,12 mikron kimi kiçik hissəcikləri təmizləyin.
• Təmiz Otaq HVAC Sistemləri: Xüsusi istilik, havalandırma və kondisioner sistemləri xüsusi olaraq təmiz otağın ayrı-ayrı sahələrinə uyğunlaşdırılmışdır.
• Ətraf Mühitin Monitorinq Sistemləri: Rütubət, temperatur və havadakı hissəciklərə həmişə diqqətli olun, real vaxt rejimində xəbərdarlıq və məlumatların qeydiyyatını təklif edir.
• Rütubətsizləşdirmə Bölmələri: Əksər hallarda HVAC sistemlərinə inteqrasiya olunmuş bunlar yüksək həssaslıq zonalarında ultra aşağı şeh nöqtələrinə nail olmaq üçün əsas amillərdir.

Yarımkeçirici təmiz otaq üçün bütün avadanlıq iş vaxtını və prosesin sabitliyini təmin etmək üçün aşağı texniki xidmət, uyğunluq və etibarlılıqla dizayn edilməlidir.

Qabaqcıl Yarımkeçirici Təmiz Otaqda Nəm Alma Texnikaları

Yarımkeçirici təmiz otaqlarda optimal rütubətin tənzimlənməsi texnoloji problemdir, xüsusən də ətraf rütubət mühiti yüksək və ya çox aşağı şeh nöqtəsi olduqda, bitkilər tələb olunur (-40°C və ya hətta -60°C). Yarımkeçirici təmiz otaqda nəmləndirmə texnologiyası işə girdiyi yerdir.

İstifadə olunan nəmləndirmə üsulları:

• Quruducu nəmləndiricilər: Bunlar havanı qurutmaq üçün hiqroskopik materialdan istifadə edir və aşağı RH tətbiqləri üçün idealdır.
• Soyuducuya əsaslanan nəmləndiricilər: Onlar suyun daşınması üçün havanı sərinlədir, rütubətə nəzarət tələblərinin ümumi səviyyələri üçün optimaldır.
• Hibrid sistemlər: Quruducu və soyuducu ciddi nəzarət şəraitində effektiv fəaliyyət üçün qarışdırılır.

Sistemlər tez-tez rayonlaşdırma qabiliyyəti ilə qurulur, burada təmiz otağın ayrı-ayrı zonaları proses mərhələsinə və avadanlıqların həssaslığına görə müxtəlif rütubət səviyyələrinə malik ola bilər.

İnteqrasiya edilmiş yarımkeçirici rütubətə nəzarətin üstünlükləri

İnteqrasiya edilmiş yarımkeçirici rütubətə nəzarət metodu bir sıra əməliyyat üstünlüklərinə malikdir:

• Təkmilləşdirilmiş məhsuldarlıq: Davamlı rütubət nəm qüsurlarının qarşısını alır və istifadə edilə bilən çiplərin daha yüksək nisbətini təmin edir.
• Azaldılmış dayanma müddəti: Avtomatlaşdırılmış ətraf mühitə nəzarət sistemləri əl ilə oynama və sazlamanı mütləq minimuma endirir.
• Uyğunluq və Sertifikatlaşdırma: ISO 14644 və ya GMP sertifikatına uyğunluq əla nəzarət sistemləri ilə daha sadələşir.
• Enerji Effektivliyi: Qabaqcıl nəm təmizləmə sistemləri enerjiyə qənaətcil ola bilər, lakin sıx məhdudiyyətlər daxilində idarə oluna bilər.

Bundan əlavə, fabların avtomatlaşdırılması və süni intellektlə idarə edilməsi ilə, rütubətə nəzarət sistemləri digər sistemlərə, məsələn, istehsal icra sistemləri (MES) və bina idarəetmə sistemləri (BMS) mərkəzdən idarə olunan və proqnozlaşdırıcı texniki xidmət qabiliyyətinə malik olmaq üçün inteqrasiya olunur.

Nəticə

Yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı rütubətə nəzarət ikinci dərəcəli narahatlıqdan az deyil - bu, keyfiyyət, ardıcıllıq və gəlirliliyin əsas şərtidir. Qabaqcıl yarımkeçirici təmiz otaq texnologiyasından və uyğun yarımkeçirici təmiz otaqda nəmləndirmə üsullarından istifadə edərək fablar gələcək nəsil çiplərin istehsalı üçün tələb olunan dəqiq dözümlülüklərə nail ola bilərlər.

İnteqrasiya edilmiş, ağıllı və enerjiyə qənaət edən yarımkeçirici rütubətə nəzarət sistemlərini əhatə etməklə siz süni intellekt və Əşyaların İnternetindən tutmuş avtomobil və aerokosmosa qədər bazarların genişlənən tələblərinə cavab verəcək bir mövqedəsiniz. Bir mikronun vacib olduğu bir dünyada yaratdığınız mühit daha da vacibdir.