Erdieroaleen fabrikazioa zehaztasun aldetik oso gogorra da. Transistoreak minimizatzen eta zirkuituak handitzen diren heinean, ingurumen-aldaketa maila txikienek ere akatsak, errendimendu-galerak edo azken fidagarritasun-akatsak sor ditzakete. Zalantzarik gabe, akatsik gabeko prozesu baten alderdirik garrantzitsuena eta ahaztuena hezetasunaren kontrola da. Errendimendu gorena ez dago soilik erdieroaleen gela garbiko ekipamendu aurreratuan oinarrituta, baizik eta erdieroaleen gela garbiko deshezeztatze-praktiketan, prozesu-parametro espezifikoak arretaz kontuan hartuta, arreta handiz findutakoetan ere bai.

Hezetasunaren eginkizuna erdieroaleen fabrikazioan

Hezetasuna ez da luxu bat bakarrik, faktore garrantzitsua da erdieroaleen fabrikazio instalazioetan. Kontrolatu gabeko hezetasunak arrisku hauek dakartza:

• Oblea sentikorren gainazalen oxidazioa
• Deskarga elektrostatikoa (ESD), batez ere hezetasun gutxiko baldintzetan
• Ur-lurrunaren atxikimenduaren bidezko partikula-kutsadura
• Ontziratze eta proba faseetan hezetasunak eragindako korrosioa

Gaur egun, erdieroaleen gailuak nanometro eskalan fabrikatzen direnez, arrisku horiek handitu egiten dira. Beraz, erdieroaleen hezetasunaren kontrola ez da ideia ona soilik, ezinbesteko teknikoa baizik.

Erdieroaleen gela garbia ulertzea

Erdieroaleen fabrikazioak, edo fabs, aireko partikula-maila, tenperatura-gorabehera eta hezetasun oso baxuekin eraikitzen dira. Gela garbiak metro kubikoko partikula-kopuru eta diametro onargarriaren arabera sailkatzen dira, ISO edo 209E estandar federalaren sailkapenaren arabera.

Ingurune honetan, erdieroaleen gela garbiko ekipamenduek ez dute aire-fluxua eta iragazketa erregulatzen bakarrik, baita tenperatura eta hezetasuna egonkortzen ere. Gela garbiko sistemen integrazioak ingurumen-parametroak harmonizatuta daudela bermatu behar du. Hori bereziki egia da litografia, lurrun kimikoaren deposizioa (CVD) eta grabatzea bezalako eragiketa delikatuetan.

Ingurumen Kontrolerako Erdieroale Kritikoen Gela Garbiko Ekipamendua

Fabrika modernoek errendimendu handiko hainbat ekipamendu erabiltzen dituzte ingurumen-baldintzak kontrolatzeko. Airearen garbitasunean eta hezetasun-kontrolean, ekipamendu hauek dira garrantzitsuenak:

• HEPA eta ULPA iragazkiak: 0,12 mikra bezain txikiak diren aireko partikulak kentzen dituzte, airearen garbitasuna eta hezetasunaren kontrola landuz, aire-fluxuaren eredu egonkorrak bermatuz.
• Gela garbietako HVAC sistemak: Berokuntza, aireztapen eta aire girotuko sistema espezializatuak gela garbiko eremu bakoitzerako bereziki egokituta daude.
• Ingurumenaren Jarraipen Sistemak: Hezetasunari, tenperaturari eta aireko partikulak beti erne, denbora errealeko abisuak eta datuak erregistratzea eskainiz.
• Deshumidifikazio unitateak: Kasu gehienetan HVAC sistemetan integratuta daude, eta hauek dira sentikortasun handiko eremuetan ihintz-puntu ultra-baxuak lortzeko eragile nagusiak.

Erdieroaleen gela garbiko ekipamendu guztia mantentze-lan gutxikoa, bateragarritasuna eta fidagarritasuna izan behar ditu, funtzionamendu-denbora eta prozesuaren egonkortasuna bermatzeko.

Erdieroaleen gela garbien deshumidifikazio teknika aurreratuak

Erdieroaleen gela garbietan hezetasun-erregulazio optimoa erronka teknologikoa da, batez ere inguruko hezetasuna ihintz-puntu altua edo oso baxua denean, eta horrek landareak behar ditu (-40 °C edo -60 °C bezain baxuak). Hori da erdieroaleen gela garbien deshumidifikazio-teknologia.

Erabilitako deshezetze teknikak hauek dira:

• Hezetasun-kentzaile lehortzaileak: Hauek material higroskopikoa erabiltzen dute airea lehortzeko eta aproposak dira hezetasun gutxiko aplikazioetarako.
• Hozkailuan oinarritutako deshezegailuak: Airea hozten dute ura garraiatzeko, hezetasun kontrol maila orokorreko eskaeretarako egokienak.
• Sistema hibridoak: Desikatzailea eta hoztea nahasten dira kontrol-baldintza zorrotzen pean funtzionamendu eraginkorra lortzeko.

Sistemak askotan zonifikazio gaitasunarekin eraikitzen dira, non gela garbiaren banakako eremuek hezetasun maila desberdinak izan ditzaketen prozesuaren etaparen eta ekipamenduaren sentikortasunaren arabera.

Erdieroaleen hezetasun-kontrol integratuaren abantailak

Erdieroale integratu bidezko hezetasun-kontrol metodo batek hainbat abantaila ditu funtzionamendurako:

• Errendimendu hobetua: Hezetasun koherenteak hezetasun-akatsak saihesten ditu eta erabilgarri diren txirbil-proportzio handiagoa eskaintzen du.
• Denbora-muga murriztua: Ingurumen-kontroleko sistemek eskuzko lana eta akatsak gutxienekora murrizten dituzte.
• Betetzea eta Ziurtagiria: ISO 14644 edo GMP ziurtagiriarekin bat etortzea errazagoa da martxan dauden kontrol sistema bikainak erabiliz.
• Energia-eraginkortasuna: Hezetasun-kentze sistema aurreratuak energia-eraginkorrak izan daitezke, baina muga estuetan kontrolatuak.

Gainera, fabrikak automatizatzen eta adimen artifizialak gidatzen dituztenez, hezetasun-kontrol sistemak beste sistema batzuetan integratzen ari dira, hala nola fabrikazio-exekuzio sistemetan (MES) eta eraikinen kudeaketa sistemetan (BMS), zentralizatuta kontrolatu eta mantentze-lan prediktiboak egiteko gai izan daitezen.

Ondorioa

Hezetasunaren kontrola erdieroaleen fabrikazioan zehar bigarren mailako kezka bat da, kalitatearen, koherentziaren eta errentagarritasunaren berezko faktore bat baizik. Erdieroaleen gela garbien teknologia aurreratua eta erdieroaleen gela garbien deshumidifikazio metodo egokiak erabiliz, fabrikazioek hurrengo belaunaldiko txipak fabrikatzeko beharrezkoak diren tolerantzia zehatzak lor ditzakete.

Integratutako, adimendun eta energia aurrezteko erdieroaleen hezetasun-kontrol sistemak bereganatuz, adimen artifizialaren eta gauzen internetetik hasi eta automobilgintza eta aeroespazialaren sektoreraino doazen merkatuen eskaera gero eta handiagoak asetzeko moduan jartzen zara. Mikra bat funtsezkoa den mundu batean, sortzen duzun ingurunea are garrantzitsuagoa da.