Kev tsim khoom siv semiconductor tsis yog qhov tseeb tshaj plaws. Thaum cov transistors raug txo qis thiab cov circuitry raug nce ntxiv, txawm tias qhov sib txawv ntawm ib puag ncig me me tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis zoo, poob qis, lossis qhov tsis ntseeg siab kawg. Tsis muaj qhov tsis ntseeg, qhov tseem ceeb tshaj plaws thiab tsis quav ntsej txog cov txheej txheem tsis muaj qhov tsis zoo yog kev tswj cov av noo. Kev ua tau zoo tshaj plaws tsis yog tsuas yog tsim los ntawm cov khoom siv semiconductor huv si, tab sis ntawm cov txheej txheem dehumidification semiconductor cleanroom uas tau ua tib zoo kho nrog cov txheej txheem tshwj xeeb hauv kev tsom mus rau.

Lub Luag Haujlwm ntawm Av noo hauv Semiconductor Manufacturing

Qhov av noo tsis yog ib yam khoom kim heev xwb—nws yog ib qho tseem ceeb hauv cov chaw tsim khoom semiconductor. Kev tswj tsis tau qhov av noo ua rau muaj kev phom sij hauv qab no:

• Oxidation ntawm cov wafer surfaces rhiab heev
• Kev tso tawm hluav taws xob (ESD), tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv cov xwm txheej qis-av noo
• Kev ua qias tuaj ntawm cov khoom me me los ntawm kev sib txuas ntawm cov pa dej
• Kev xeb los ntawm cov dej noo thaum lub sijhawm ntim khoom thiab kev sim

Vim tias cov khoom siv semiconductor raug tsim tawm ntawm cov nplai nanometer niaj hnub no, cov kev pheej hmoo no tau nce ntxiv. Yog li, kev tswj cov av noo ntawm semiconductor tsis yog lub tswv yim zoo xwb - nws yog qhov yuav tsum muaj kev txawj ntse.

To taub Semiconductor Cleanroom

Cov chaw tsim khoom semiconductor, lossis cov fabs, yog tsim nrog cov qib me me ntawm cov khoom me me hauv huab cua, qhov kub thiab txias hloov pauv, thiab cov av noo qis heev. Cov chav huv si raug faib ua pawg raws li tus lej thiab txoj kab uas hla ntawm cov khoom me me ib lub cubic meter raws li ISO lossis Federal Standard 209E kev faib tawm.

Hauv qhov chaw ib puag ncig no, cov khoom siv semiconductor cleanroom tsis yog tsuas yog tswj cov cua thiab kev lim dej xwb tab sis kuj tswj qhov kub thiab av noo. Kev koom ua ke ntawm cov kab ke cleanroom yuav tsum xyuas kom meej tias cov yam ntxwv ib puag ncig tau sib haum xeeb. Qhov no yog qhov tseeb tshwj xeeb hauv kev ua haujlwm zoo xws li lithography, chemical vapor deposition (CVD), thiab etching.

Cov Khoom Siv Semiconductor Cleanroom Tseem Ceeb rau Kev Tswj Xyuas Ib puag ncig

Cov chaw tsim khoom niaj hnub siv ntau yam khoom siv uas muaj kev ua tau zoo los saib xyuas cov xwm txheej ib puag ncig. Hauv kev huv ntawm huab cua thiab kev tswj cov av noo, cov khoom siv hauv qab no yog qhov tseem ceeb tshaj plaws:

• Cov ntxaij lim dej HEPA thiab ULPA: Tshem tawm cov khoom me me uas nyob hauv huab cua uas me li 0.12 microns, daws qhov teeb meem ntawm kev huv ntawm huab cua thiab kev tswj cov av noo los ntawm kev ua kom cov qauv cua ntws ruaj khov.
• Cov Tshuab HVAC Chav Huv Si: Cov tshuab cua sov, cua nkag, thiab cua txias tshwj xeeb yog tsim tshwj xeeb rau cov cheeb tsam ntawm chav huv si.
• Cov Txheej Txheem Saib Xyuas Ib Puag Ncig: Ib txwm saib xyuas cov av noo, qhov kub thiab txias, thiab cov khoom me me hauv huab cua, muab kev ceeb toom thiab kev sau cov ntaub ntawv tam sim ntawd.
• Cov Chav Dehumidification: Feem ntau, cov no yog cov tsav tsheb tseem ceeb uas ua rau cov dew points tsawg heev hauv cov cheeb tsam uas muaj kev cuam tshuam siab.

Txhua yam khoom siv rau chav ntxuav semiconductor yuav tsum tau tsim nrog kev saib xyuas tsawg, kev sib xws, thiab kev ntseeg tau kom ntseeg tau tias lub sijhawm ua haujlwm thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem.

Cov Txuj Ci Dehumidification ntawm Chav Huv Si Semiconductor Advanced

Kev tswj cov av noo zoo tshaj plaws hauv cov chav huv semiconductor yog qhov nyuaj ntawm kev siv tshuab, tshwj xeeb tshaj yog thaum qhov chaw ib puag ncig muaj av noo siab lossis qis heev, xav tau cov nroj tsuag (qis li -40 ° C lossis txawm tias -60 ° C). Qhov ntawd yog qhov uas cov thev naus laus zis dehumidification semiconductor cleanroom ua haujlwm.

Cov txheej txheem dehumidification siv yog:

• Cov Khoom Siv Desiccant Dehumidifiers: Cov no siv cov khoom siv hygroscopic los ua kom huab cua qhuav thiab zoo tagnrho rau cov ntawv thov RH qis.
• Cov Tshuab Dehumidifiers Uas Siv Lub Tub Yees: Lawv txias cua kom thauj dej, zoo tshaj plaws rau cov kev xav tau tswj cov av noo.
• Cov Txheej Txheem Sib Xyaws: Cov tshuaj desiccant thiab cov tub yees tau sib xyaw ua ke kom ua haujlwm tau zoo nyob rau hauv cov xwm txheej tswj hwm nruj.

Cov kab ke feem ntau yog tsim los nrog lub peev xwm zoning, qhov twg cov cheeb tsam ntawm chav huv yuav muaj cov av noo sib txawv raws li theem txheej txheem thiab cov khoom siv rhiab heev.

Cov txiaj ntsig ntawm Kev Tswj Xyuas Av noo ntawm Semiconductor

Ib txoj kev tswj cov av noo semiconductor uas sib xyaw ua ke muaj ntau qhov zoo ntawm kev ua haujlwm:

• Kev Tsim Tau Zoo Dua: Cov av noo tas li tiv thaiv cov teeb meem ntawm cov av noo thiab muab cov chips siv tau ntau dua.
• Txo Lub Sijhawm Tsis Ua Haujlwm: Cov txheej txheem tswj ib puag ncig tsis siv neeg txo qhov kev ua haujlwm tes thiab kev debugging kom tsawg kawg nkaus.
• Kev Ua Raws Cai thiab Daim Ntawv Pov Thawj: Kev ua raws li ISO 14644 lossis GMP daim ntawv pov thawj yooj yim dua nrog cov txheej txheem tswj hwm zoo heev hauv kev ua haujlwm.
• Kev Siv Hluav Taws Xob Zoo: Cov txheej txheem dehumidification siab heev tuaj yeem siv hluav taws xob tau zoo tab sis tswj tau kom tsis pub dhau qhov txwv nruj.

Ntxiv rau, vim tias cov fabs yog automation thiab AI-tsav, cov kab ke tswj av noo tau raug koom ua ke rau hauv lwm cov kab ke, xws li cov kab ke ua haujlwm tsim khoom (MES) thiab cov kab ke tswj tsev (BMS), kom raug tswj hwm hauv nruab nrab thiab muaj peev xwm kwv yees tau txij nkawm.

Xaus lus

Kev tswj cov av noo thoob plaws hauv kev tsim khoom semiconductor tsis yog qhov teeb meem thib ob - nws yog qhov ua rau muaj txiaj ntsig zoo, kev sib xws, thiab kev ua lag luam. Siv cov thev naus laus zis semiconductor cleanroom siab heev thiab cov txheej txheem dehumidification semiconductor cleanroom tsim nyog, cov fabs tuaj yeem ua tiav qhov kev kam rau siab uas xav tau los tsim cov chips tiam tom ntej.

Los ntawm kev siv cov txheej txheem tswj cov av noo semiconductor uas sib xyaw ua ke, ntse, thiab txuag hluav taws xob, koj tso koj tus kheej rau hauv qhov chaw kom tau raws li qhov xav tau ntawm kev lag luam xws li AI thiab IoT mus rau tsheb thiab aerospace. Hauv lub ntiaj teb uas ib micron tseem ceeb heev, qhov chaw ib puag ncig uas koj tsim tseem ceeb dua.