Çêkirina nîvconductoran di rastbûnê de bêrehm e. Ji ber ku tranzîstor têne kêmkirin û çerxên devreyê têne zêdekirin, tewra asta herî kêm a guherîna jîngehê jî dikare bibe sedema kêmasiyan, windabûna berdêlê, an têkçûna pêbaweriya dawîn. Bê guman, aliyê herî girîng û paşguhkirî yê pêvajoyek bê kêmasî kontrolkirina şilbûnê ye. Performansa herî bilind ne tenê li ser alavên paqijiya nîvconductor ên herî pêşkeftî, lê di heman demê de li ser pratîkên zuhakirina odeya paqijiya nîvconductoran ên ku bi baldarî bi parametreyên pêvajoyê yên taybetî têne pêşve xistin jî tê damezrandin.

Rola Şilbûnê di Çêkirina Nîvconductor de

Şilbûn ne tenê luks e - ew faktorek girîng e di tesîsên çêkirina nîvconductoran de. Şilbûna bêkontrol xetereyên jêrîn diafirîne:

  • Oksîdasyona rûyên wafer ên hesas
  • Berdana elektrostatîk (ESD), nemaze di şert û mercên kêm-şilbûnê de
  • Gemarbûna perçeyan bi rêya girêdana buhara avê
  • Korozyona ji ber şilbûnê di qonaxên pakkirin û ceribandinê de çêdibe

Ji ber ku îro amûrên nîvconductor di pîvana nanometre de têne çêkirin, ev xetere zêde dibin. Ji ber vê yekê, kontrolkirina şilbûna nîvconductor ne tenê fikrek baş e - ew pêdivîyek teknîkî ye.

Fêmkirina Odeya Paqij a Semiconductor

Kargehên çêkirina nîvconductoran, an jî kargeh, bi astên pir kêm ên perçeyên hewayî, guherîna germahî û şilbûnê têne çêkirin. Odeyên paqij li gorî jimara qebûlkirî û çapa perçeyan di her metrekupê de li gorî dabeşkirina ISO an Federal Standard 209E têne dabeş kirin.

Di vê jîngehê de, alavên odeya paqij a nîvconductor ne tenê herikîna hewayê û fîltrekirinê rêk dixin, lê di heman demê de germahî û şilbûnê jî stabîl dikin. Yekbûna pergalên odeya paqij divê misoger bike ku parametreyên jîngehê hevaheng in. Ev bi taybetî di operasyonên hesas ên wekî lîtografî, danîna buhara kîmyewî (CVD) û gravur de rast e.

Amûrên Paqij ên Nîvconductor ên Krîtîk ji bo Kontrolkirina Jîngehê

Kargehên nûjen ji bo şopandina şert û mercên jîngehê alavên cûrbecûr ên bi performansa bilind bikar tînin. Di paqijiya hewayê û kontrolkirina şilbûnê de, alavên jêrîn herî girîng in:

  • Fîlterên HEPA û ULPA: Parçeyên hewayî yên bi qasî 0.12 mîkronan dûr dixin, bi misogerkirina şêweyên herikîna hewayê yên sabît paqijiya hewayê û kontrola şilbûnê çareser dikin.
  • Sîstemên HVAC yên Odeya Paqij: Sîstemên germkirin, hewakirin û klîmayê yên taybet bi taybetî ji bo deverên takekesî yên odeya paqij hatine çêkirin.
  • Sîstemên Çavdêriya Jîngehê: Her tim li ser şilbûn, germahî û perçeyên hewayî hişyar in, hişyariya rast-dem û tomar kirina daneyan pêşkêş dikin.
  • Yekîneyên Bêşilkirinê: Di pir rewşan de di nav sîstemên HVAC de hatine entegrekirin, ev ajokarên sereke ne ber bi bidestxistina xalên şilbûna pir nizm li herêmên hesasiyeta bilind.

Divê hemî alavên ji bo odeya paqij a nîvconductor bi lênêrînek kêm, lihevhatin û pêbaweriyê werin sêwirandin da ku dema xebitandinê û aramiya pêvajoyê misoger bikin.

Teknîkên Pêşketî yên Deşilkirina Odeya Paqij a Nîvconductor

Rêkxistina şilbûna çêtirîn di odeyên paqij ên nîvconductor de pirsgirêkek teknolojîk e, nemaze dema ku xala şilbûna hawîrdorê bilind an jî pir nizm be, ku pêdivî bi nebatan heye (heta -40°C an jî -60°C). Li vir e ku teknolojiya zuwakirina odeyên paqij ên nîvconductor destwerdanê dike.

Teknîkên dehumidîfkirinê yên ku têne bikar anîn ev in:

  • Amûrên Zuhakirina Hewayê: Ev ji bo zuhakirina hewayê materyalên hîgroskopîk bikar tînin û ji bo sepanên RH-ya kêm îdeal in.
  • Amûrên Nemkirina Şilbûnê yên li ser Sarincê: Ew hewayê sar dikin da ku avê veguhezînin, ji bo astên giştî yên daxwazên kontrolkirina şilbûnê çêtirîn e.
  • Sîstemên Hîbrîd: Hişkker û sarinc ji bo fonksiyoneke bi bandor di bin şert û mercên kontrolê yên hişk de têne tevlihevkirin.

Sîstem bi gelemperî bi kapasîteya zonkirinê têne çêkirin, ku deverên takekesî yên odeya paqij dikarin li gorî qonaxa pêvajoyê û hesasiyeta alavan asta şilbûna cûda hebe.

Awantajên Kontrolkirina Şilbûna Nîvconductor a Yekgirtî

Rêbaza kontrolkirina şilbûna nîvconductor a yekbûyî çend avantajên xebitandinê hene:

  • Berhema Baştirkirî: Şilbûna domdar kêmasiyên şilbûnê asteng dike û rêjeyek bilindtir a çîpên bikêrhatî peyda dike.
  • Dema Bêkarbûnê ya Kêmkirî: Pergalên kontrola jîngehê yên otomatîkî lênêrîn û çareserkirina çewtiyanên destî kêm dikin.
  • Lihevhatin û Sertîfîkasyon: Lihevhatin bi sertîfîkaya ISO 14644 an GMP re bi pergalên kontrolê yên hêja yên di xebitandinê de hêsantir dibe.
  • Karîgeriya Enerjiyê: Sîstemên zuwakirina şilbûnê yên pêşkeftî dikarin ji hêla enerjiyê ve bikêrhatî bin lê dîsa jî di nav sînorên teng de werin kontrol kirin.

Wekî din, ji ber ku kargeh otomatîk dibin û ji hêla AI ve têne ajotin, pergalên kontrolkirina şilbûnê di nav pergalên din de têne entegre kirin, wekî pergalên darvekirina çêkirinê (MES) û pergalên rêveberiya avahiyan (BMS), da ku ji hêla navendî ve werin kontrol kirin û pêşbînîkirin-parastinê bikaribin.

Xelasî

Kontrolkirina şilbûnê di tevahiya hilberîna nîvconductoran de ne kêmtir ji fikarek duyemîn e - ew hêsankerek hundurîn a kalîte, domdarî û qezencê ye. Bi karanîna teknolojiya pêşkeftî ya odeya paqij a nîvconductor û rêbazên guncaw ên zuwakirina odeya paqij a nîvconductor, kargeh dikarin toleransên rast ên ku ji bo çêkirina çîpên nifşê pêşerojê hewce ne bi dest bixin.

Bi hembêzkirina pergalên kontrolkirina şilbûna nîvconductor ên entegre, aqilmend û teserûfa enerjiyê, hûn xwe di rewşekê de datînin ku hûn daxwazên berfireh ên bazarên ji AI û IoT bigire heya otomatîv û hewavaniyê bicîh bînin. Di cîhanek de ku mîkronek girîng e, jîngeha ku hûn diafirînin hîn girîngtir e.


Dema şandinê: 16ê Îlonê, 2025