Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тактык жагынан кечиримсиз. Транзисторлор минималдаштырылган жана схемалар көбөйгөн сайын, экологиялык өзгөрүүнүн минималдуу деңгээли да кемчиликтерге, түшүмдүн жоголушуна же акыркы ишенимдүүлүктүн бузулушуна алып келиши мүмкүн. Албетте, кемчиликсиз процесстин эң маанилүү жана көңүл бурулбаган жагы нымдуулукту көзөмөлдөө. Эң жогорку көрсөткүчтөр жарым өткөргүчтүү таза бөлмөнүн заманбап жабдыктарына гана негизделбестен, жарым өткөргүчтү тазалоочу бөлмөнү нымсыздандыруу практикасына негизделген.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуулуктун ролу

Нымдуулук жөн гана люкс эмес, бул жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө маанилүү фактор. Көзөмөлсүз нымдуулук төмөнкү коркунучтарды жаратат:

• сезгич пластинка беттерин кычкылдануу
• Өзгөчө төмөн нымдуу шарттарда электростатикалык разряд (ESD).
• Суу буусу аркылуу бөлүкчөлөрдүн булганышы
• Таңгактоо жана сыноо этаптарында нымдуулуктан улам пайда болгон коррозия

Жарым өткөргүч аппараттар бүгүнкү күндө нанометрдик масштабда өндүрүлгөндүктөн, бул тобокелдиктер көбөйөт. Ошентип, жарым өткөргүчтүн нымдуулугун көзөмөлдөө жөн гана жакшы идея эмес, бул техникалык милдет.

Жарым өткөргүч таза бөлмөнү түшүнүү

Жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу фабрикалар же фабрикалар абадагы бөлүкчөлөрдүн өтө төмөн деңгээли, температуранын өзгөрүшү жана нымдуулугу менен курулган. Таза бөлмөлөр ISO же Федералдык стандарт 209E классификациясына ылайык бир куб метрге бөлүкчөлөрдүн алгылыктуу саны жана диаметри боюнча классификацияланат.

Бул чөйрөдө жарым өткөргүчтүү таза бөлмө жабдуулары аба агымын жана чыпкалоону гана жөнгө салбастан, температураны жана нымдуулукту турукташтырат. Таза бөлмө системаларынын интеграциясы экологиялык параметрлердин шайкеш келишин камсыз кылууга тийиш. Бул өзгөчө литография, химиялык бууларды түшүрүү (CVD) жана оюу сыяктуу назик операцияларга тиешелүү.

Курчап турган чөйрөнү көзөмөлдөө үчүн критикалык жарым өткөргүч таза бөлмө жабдуулары

Заманбап фабрикалар экологиялык шарттарды көзөмөлдөө үчүн жогорку өндүрүмдүүлүгү бар ар кандай жабдууларды колдонушат. Абанын тазалыгын жана нымдуулугун көзөмөлдөөдө төмөнкү жабдуулар абдан маанилүү:

• HEPA жана ULPA чыпкалары: абадагы 0,12 микронго чейинки кичинекей бөлүкчөлөрдү алып салыңыз, абанын тазалыгын жана нымдуулугун көзөмөлдөөнү чечип, аба агымынын туруктуу үлгүлөрүн камсыздайт.
• Таза бөлмөнүн HVAC системалары: Атайын жылытуу, желдетүү жана кондиционерлөө системалары атайын таза бөлмөнүн айрым аймактарына ылайыкташтырылган.
• Курчап турган чөйрөнү көзөмөлдөө системалары: нымдуулукка, температурага жана абадагы бөлүкчөлөргө дайыма сак болуп, реалдуу убакытта эскертүү жана маалыматтарды каттоону сунуштайт.
• Нымсыздандыруу агрегаттары: Көпчүлүк учурларда HVAC тутумдарына интеграцияланган, булар жогорку сезгичтик зоналарында өтө төмөн шүүдүрүм чекиттерине жетүүнүн негизги кыймылдаткычтары.

Жарым өткөргүч таза бөлмө үчүн бардык жабдуулар иштөө убактысын жана процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн аз тейлөө, шайкештик жана ишенимдүүлүк менен иштелип чыгышы керек.

Жарым өткөргүчтүү таза бөлмөнү нымсыздандыруу ыкмалары

Жарым өткөргүчтүү таза бөлмөлөрдө нымдуулукту оптималдуу жөнгө салуу технологиялык көйгөй болуп саналат, өзгөчө чөйрөнүн нымдуулугу жогору же өтө төмөн шүүдүрүм чекити болгондо, өсүмдүктөрдү талап кылган (-40°C, ал тургай -60°C). Бул жерде жарым өткөргүчтү тазалоочу бөлмөнү кургатуу технологиясы ишке кирет.

Кургатуу ыкмалары колдонулат:

• Desiccant Dehumidifiers: Алар абаны кургатуу үчүн гигроскопиялык материалды колдонушат жана RH төмөн колдонмолор үчүн идеалдуу.
• Муздаткычка негизделген нымдагычтар: Алар нымдуулукту көзөмөлдөө талаптарынын жалпы деңгээли үчүн оптималдуу сууну ташуу үчүн абаны муздатышат.
• Гибриддик системалар: Desiccant жана муздаткыч катуу көзөмөл шарттарында натыйжалуу иштеши үчүн аралаштырылат.

Системалар көбүнчө зоналаштыруу мүмкүнчүлүгү менен курулат, мында таза бөлмөнүн айрым зоналары процесстин стадиясына жана жабдуулардын сезгичтигине жараша ар кандай нымдуулук деңгээлине ээ болушу мүмкүн.

Интегралдык жарым өткөргүчтүн нымдуулугун көзөмөлдөөнүн артыкчылыктары

Интегралдык жарым өткөргүч нымдуулукту башкаруу ыкмасы бир нече операциялык артыкчылыктарга ээ:

• Жакшыртылган түшүмдүүлүк: Туруктуу нымдуулук нымдуулук кемчиликтерин алдын алат жана колдонууга жарактуу чиптердин жогорку катышын камсыз кылат.
• Кыскартылган токтоп калуу: Айлана-чөйрөнү башкаруунун автоматташтырылган системалары кол менен ойнотуу жана мүчүлүштүктөрдү оңдоону абсолюттук минимумга чейин азайтат.
• Шайкештик жана тастыктоо: ISO 14644 же GMP сертификатына шайкештик иштөөдө мыкты башкаруу системалары менен жөнөкөйлөштүрүлөт.
• Энергия натыйжалуулугу: Өркүндөтүлгөн нымдаштыруу системалары энергияны үнөмдөөчү, бирок катуу чектөөлөрдүн чегинде көзөмөлдөнүшү мүмкүн.

Мындан тышкары, фабрикалар автоматташтырылган жана AI менен башкарылат, нымдуулукту башкаруу системалары башка системаларга, мисалы, өндүрүштү аткаруу тутумдары (MES) жана имаратты башкаруу тутумдары (BMS) борбордон башкарылуучу жана болжолдуу тейлөөгө жөндөмдүү болушу үчүн интеграцияланууда.

Корутунду

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуулукту көзөмөлдөө экинчи даражадагы камкордуктан кем эмес — бул сапаттын, ырааттуулуктун жана рентабелдүүлүктүн ички шарты. Жарым өткөргүчтүү таза бөлмөнүн алдыңкы технологиясын жана жарым өткөргүчтүү таза бөлмөнү нымсыздандыруу ыкмаларын колдонуу менен, фабрикалар кийинки муундагы микросхемаларды өндүрүү үчүн талап кылынган так толеранттуулукка жетише алат.

Интегралдык, акылдуу жана энергияны үнөмдөөчү жарым өткөргүчтөрдүн нымдуулугун башкаруу тутумдарын колдонуу менен, сиз AI жана IoTден тарта автомобиль жана аэрокосмостук рыноктордун кеңейип жаткан талаптарын канааттандыра аласыз. Бир микрон маанилүү болгон дүйнөдө сиз түзгөн чөйрө дагы маанилүү.