Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тактыгы жагынан кечиримсиз. Транзисторлор минималдаштырылгандыктан жана схемалар көбөйгөндүктөн, айлана-чөйрөнүн минималдуу деңгээлдеги өзгөрүүлөрү да кемчиликтерге, өндүрүмдүүлүктүн төмөндөшүнө же ишенимдүүлүктүн акыркы бузулушуна алып келиши мүмкүн. Албетте, кемчиликсиз процесстин эң маанилүү жана көңүл сыртында калган аспектиси - нымдуулукту көзөмөлдөө. Эң жогорку өндүрүмдүүлүк заманбап жарым өткөргүч таза бөлмө жабдууларына гана эмес, ошондой эле белгилүү бир процесс параметрлерине көңүл буруп, абийирдүү түрдө өркүндөтүлгөн жарым өткөргүч таза бөлмөнү кургатуу практикасына да негизделген.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуулуктун ролу

Нымдуулук жөн гана люкс эмес — бул жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жайларда маанилүү фактор. Көзөмөлсүз нымдуулук төмөнкү коркунучтарды жаратат:

• Сезимтал пластина беттеринин кычкылдануусу
• Электростатикалык разряд (ЭСД), айрыкча нымдуулук аз шарттарда
• Суу буусунун кошулушу аркылуу бөлүкчөлөрдүн булганышы
• Таңгактоо жана сыноо этаптарында нымдуулуктан улам пайда болгон коррозия

Бүгүнкү күндө жарым өткөргүч түзүлүштөр нанометрдик масштабда чыгарылгандыктан, бул тобокелдиктер жогорулайт. Ошентип, жарым өткөргүчтөрдүн нымдуулугун көзөмөлдөө жөн гана жакшы идея эмес, бул техникалык зарылчылык.

Жарым өткөргүчтөрдү тазалоо бөлмөсүн түшүнүү

Жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу заводдор же фабрикалар абадагы бөлүкчөлөрдүн деңгээли, температуранын өзгөрүшү жана нымдуулук өтө төмөн болгон шарттарда курулат. Таза бөлмөлөр ISO же Federal Standard 209E классификациясына ылайык, куб метрге бөлүкчөлөрдүн кабыл алынган саны жана диаметри боюнча классификацияланат.

Мындай чөйрөдө жарым өткөргүчтүү таза бөлмө жабдуулары аба агымын жана чыпкалоону жөнгө салуу менен бирге температураны жана нымдуулукту турукташтырууну да камсыз кылат. Таза бөлмө системаларын интеграциялоо айлана-чөйрөнүн параметрлеринин шайкеш келишин камсыз кылышы керек. Бул, айрыкча, литография, химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) жана гравюра сыяктуу назик операцияларда туура келет.

Айлана-чөйрөнү көзөмөлдөө үчүн маанилүү жарым өткөргүчтүү тазалоочу бөлмө жабдуулары

Заманбап фабрикалар айлана-чөйрөнүн абалын көзөмөлдөө үчүн жогорку өндүрүмдүүлүктөгү ар кандай жабдууларды колдонушат. Абанын тазалыгын жана нымдуулукту көзөмөлдөөдө төмөнкү жабдуулар эң маанилүү:

• HEPA жана ULPA чыпкалары: абадагы 0,12 микрон сыяктуу кичинекей бөлүкчөлөрдү алып салат, аба агымынын туруктуулугун камсыз кылуу менен абанын тазалыгын жана нымдуулукту көзөмөлдөөнү камсыз кылат.
• Таза бөлмөнүн HVAC системалары: Адистештирилген жылытуу, желдетүү жана абаны кондиционерлөө системалары таза бөлмөнүн ар бир аймагына атайын ылайыкташтырылган.
• Айлана-чөйрөнү көзөмөлдөө системалары: Нымдуулукка, температурага жана абадагы бөлүкчөлөргө ар дайым көңүл буруп, реалдуу убакыт режиминде эскертүү жана маалыматтарды каттоону сунуштайт.
• Нымдуулукту азайтуу түзүлүштөрү: Көпчүлүк учурларда HVAC системаларына интеграцияланган булар жогорку сезгичтик зоналарында өтө төмөн шүүдүрүм чекиттерине жетүүнүн негизги кыймылдаткычтары болуп саналат.

Жарым өткөргүчтүү таза бөлмө үчүн бардык жабдуулар иштөө убактысын жана процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн аз тейлөөнү, шайкештикти жана ишенимдүүлүктү талап кылгандай иштелип чыгышы керек.

Жарым өткөргүчтүү тазалоочу бөлмөнү кургатуу боюнча өркүндөтүлгөн ыкмалар

Жарым өткөргүчтүү таза бөлмөлөрдө нымдуулукту оптималдуу жөнгө салуу технологиялык кыйынчылык жаратат, айрыкча, айлана-чөйрөнүн нымдуулугу жогору же өтө төмөн болгондо, өсүмдүктөрдү (-40°C же ал тургай -60°C чейин) колдонуу керек болгондо. Дал ушул жерде жарым өткөргүчтүү таза бөлмөнү кургатуу технологиясы жардамга келет.

Нымдуулукту азайтуу ыкмалары колдонулат:

• Кургаткыч кургаткычтар: Булар абаны кургатуу үчүн гигроскопиялык материалды колдонушат жана RH төмөн колдонмолор үчүн идеалдуу.
• Муздаткычка негизделген кургаткычтар: Алар сууну ташуу үчүн абаны муздатат, бул нымдуулукту көзөмөлдөөнүн жалпы талаптарына оптималдуу.
• Гибриддик системалар: Кургаткыч жана муздаткыч катуу көзөмөл шарттарында натыйжалуу иштеши үчүн аралаштырылат.

Системалар көбүнчө зоналаштыруу мүмкүнчүлүгү менен курулат, мында таза бөлмөнүн айрым зоналары процесстин этабына жана жабдуулардын сезгичтигине жараша ар кандай нымдуулук деңгээлине ээ болушу мүмкүн.

Интеграцияланган жарым өткөргүчтүү нымдуулукту башкаруунун артыкчылыктары

Интегралдык жарым өткөргүч нымдуулукту башкаруу ыкмасы бир нече иштөө артыкчылыктарына ээ:

• Түшүмдүүлүктүн жогорулашы: Туруктуу нымдуулук нымдуулуктун кемчиликтеринин алдын алат жана колдонууга жарамдуу чиптердин жогорку катышын камсыз кылат.
• Иштебей калуу убактысын кыскартуу: Автоматташтырылган айлана-чөйрөнү башкаруу системалары кол менен өзгөртүүлөрдү жана мүчүлүштүктөрдү оңдоону минималдуу деңгээлге чейин азайтат.
• Шайкештик жана сертификациялоо: Мыкты башкаруу системалары иштеп турганда ISO 14644 же GMP сертификациясына шайкештик жөнөкөйлөтүлөт.
• Энергиянын натыйжалуулугу: Өркүндөтүлгөн кургатуу системалары энергияны үнөмдүү, бирок ошол эле учурда чектелген чектерде башкарылышы мүмкүн.

Мындан тышкары, заводдор автоматташтырылган жана жасалма интеллект менен башкарылгандыктан, нымдуулукту көзөмөлдөө системалары борборлоштурулган түрдө башкарылуучу жана алдын ала айтууга-тейлөөгө жөндөмдүү болушу үчүн өндүрүштү аткаруу системалары (MES) жана имараттарды башкаруу системалары (BMS) сыяктуу башка системаларга интеграцияланууда.

Жыйынтык

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуулукту көзөмөлдөө экинчи орунда турган маселе эмес — бул сапатты, ырааттуулукту жана кирешелүүлүктү камсыз кылуучу ички фактор. Өнүккөн жарым өткөргүчтөрдү тазалоочу бөлмө технологиясын жана жарым өткөргүчтөрдү тазалоочу бөлмөнү кургатуу ыкмаларын колдонуу менен, фабрикалар кийинки муундагы чиптерди өндүрүү үчүн талап кылынган так чыдамдуулукка жетише алышат.

Интеграцияланган, акылдуу жана энергияны үнөмдөөчү жарым өткөргүч нымдуулукту башкаруу системаларын колдонуу менен, сиз өзүңүздү жасалма интеллект жана IoTдан баштап автомобиль жана аэрокосмоско чейинки рыноктордун өсүп жаткан талаптарын канааттандыруу абалына коёсуз. Бир микрон маанилүү болгон дүйнөдө сиз түзгөн чөйрө андан да маанилүү.