ການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນບໍ່ໃຫ້ອະໄພໃນຄວາມຖືກຕ້ອງ. ເນື່ອງຈາກ transistors ໄດ້ຖືກຫຼຸດຫນ້ອຍລົງແລະວົງຈອນເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຖິງແມ່ນວ່າລະດັບຫນ້ອຍຂອງການປ່ຽນແປງຂອງສິ່ງແວດລ້ອມສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງ, ການສູນເສຍຜົນຜະລິດ, ຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສຸດທ້າຍ. ບໍ່ຕ້ອງສົງໃສ, ລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດແລະຖືກລະເລີຍຂອງຂະບວນການທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງແມ່ນການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ. ປະສິດທິພາບສູງສຸດແມ່ນບໍ່ພຽງແຕ່ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນອຸປະກອນຫ້ອງນ້ໍາ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ແຕ່ໃນການປະຕິບັດ semiconductor cleanroom dehumidification ສະຕິທີ່ຫລອມໂລຫະດ້ວຍຕົວກໍານົດການຂະບວນການສະເພາະໃນຈຸດສຸມ.

ບົດບາດຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃນການຜະລິດ Semiconductor

ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຄວາມຫລູຫລາ - ມັນເປັນປັດໃຈສໍາຄັນໃນໂຮງງານຜະລິດ semiconductor. ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ບໍ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ເຮັດໃຫ້ເກີດອັນຕະລາຍຕໍ່ໄປນີ້:

• Oxidation ຂອງຫນ້າ wafer ທີ່ລະອຽດອ່ອນ
• ການໄຫຼຂອງໄຟຟ້າສະຖິດ (ESD), ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາ
• ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໂດຍຜ່ານການຕິດ vapor ນ້ໍາ
• ການກັດເຊາະທີ່ເກີດຈາກຄວາມຊຸ່ມຊື້ນໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຫຸ້ມຫໍ່ແລະການທົດສອບ

ເນື່ອງຈາກອຸປະກອນ semiconductor ໄດ້ຖືກຜະລິດຢູ່ໃນເຄື່ອງວັດແທກ nanometer ໃນມື້ນີ້, ຄວາມສ່ຽງເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເພີ່ມຂຶ້ນ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງ semiconductor ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຄວາມຄິດທີ່ດີ - ມັນເປັນຄວາມຈໍາເປັນດ້ານວິຊາການ.

ເຂົ້າໃຈ Semiconductor Cleanroom

ໂຮງງານຜະລິດ semiconductor, ຫຼື fabs, ຖືກສ້າງຂຶ້ນດ້ວຍລະດັບອະນຸພາກທາງອາກາດທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ, ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ. ຫ້ອງສະອາດໄດ້ຖືກຈັດປະເພດຢູ່ໃນຈໍານວນທີ່ຍອມຮັບໄດ້ແລະເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງອະນຸພາກຕໍ່ແມັດກ້ອນຕາມການຈັດປະເພດ ISO ຫຼື Federal Standard 209E.

ໃນສະພາບແວດລ້ອມນີ້, ອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດ semiconductor ບໍ່ພຽງແຕ່ຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາກາດແລະການຕອງ, ແຕ່ຍັງເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຄົງທີ່. ການເຊື່ອມໂຍງລະບົບຫ້ອງສະອາດຕ້ອງຮັບປະກັນວ່າຕົວກໍານົດການດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມມີຄວາມກົມກຽວກັນ. ນີ້ແມ່ນຄວາມຈິງໂດຍສະເພາະໃນການດໍາເນີນງານທີ່ລະອຽດອ່ອນເຊັ່ນ: lithography, ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ແລະ etching.

ອຸປະກອນຫ້ອງສະອາດ Semiconductor ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ

fabs ທີ່ທັນສະໄຫມໃຊ້ອຸປະກອນຕ່າງໆທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງເພື່ອຕິດຕາມສະພາບສິ່ງແວດລ້ອມ. ໃນການເຮັດຄວາມສະອາດອາກາດແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ອຸປະກອນຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ:

• HEPA ແລະ ULPA ການກັ່ນຕອງ: ເອົາອະນຸພາກທາງອາກາດຂະຫນາດນ້ອຍເຖິງ 0.12 microns, ແກ້ໄຂຄວາມສະອາດອາກາດແລະການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໂດຍການຮັບປະກັນຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ຫມັ້ນຄົງ.
• ລະບົບ HVAC ຫ້ອງສະອາດ: ລະບົບຄວາມຮ້ອນ, ລະບາຍອາກາດ, ແລະເຄື່ອງປັບອາກາດສະເພາະແມ່ນຖືກປັບແຕ່ງສະເພາະກັບພື້ນທີ່ຂອງຫ້ອງສະອາດ.
• ລະບົບຕິດຕາມກວດກາສິ່ງແວດລ້ອມ: ເຄີຍເຝົ້າລະວັງສໍາລັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ອຸນຫະພູມ, ແລະອະນຸພາກຂອງອາກາດ, ສະຫນອງການເຕືອນໄພໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງແລະບັນທຶກຂໍ້ມູນ.
• ຫນ່ວຍຄວາມຊຸ່ມຊື້ນ: ປະສົມປະສານເຂົ້າໄປໃນລະບົບ HVAC ໃນກໍລະນີຫຼາຍທີ່ສຸດ, ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຕົວຂັບເຄື່ອນທີ່ສໍາຄັນໄປສູ່ການບັນລຸຈຸດນ້ໍາຕົກຕ່ໍາສຸດໃນເຂດທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງ.

ອຸປະກອນທັງຫມົດສໍາລັບຫ້ອງສະອາດ semiconductor ຕ້ອງໄດ້ຮັບການອອກແບບດ້ວຍການບໍາລຸງຮັກສາຕ່ໍາ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືເພື່ອຮັບປະກັນເວລາ uptime ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

ເທັກນິກການລະບາຍຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງຫ້ອງເຄິ່ງຄອນດັກເຕີຂັ້ນສູງ

ກົດລະບຽບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ດີທີ່ສຸດຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດເຊມິຄອນດັກເຕີແມ່ນສິ່ງທ້າທາຍທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີ, ໂດຍສະເພາະໃນເວລາທີ່ສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງສະພາບແວດລ້ອມແມ່ນສູງຫຼືຕ່ໍາຫຼາຍ, ຕ້ອງການພືດ (ຕ່ໍາເຖິງ -40 ° C ຫຼືແມ້ກະທັ້ງ -60 ° C). ນັ້ນແມ່ນບ່ອນທີ່ເທກໂນໂລຍີ dehumidification ຫ້ອງສະອາດ semiconductor ກ້າວເຂົ້າມາ.

ເຕັກ​ນິກ​ການ​ເຮັດ​ໃຫ້​ຄວາມ​ຊຸ່ມ​ຊື່ນ​ແມ່ນ​:

• Desiccant Dehumidifiers: ເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ວັດສະດຸ hygroscopic ເພື່ອ desicate ອາກາດແລະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່ໍາ RH.
• ເຄື່ອງລະບາຍຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ອີງໃສ່ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນ: ພວກມັນເຮັດໃຫ້ອາກາດເຢັນເພື່ອຂົນສົ່ງນ້ໍາ, ເຫມາະສໍາລັບລະດັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທົ່ວໄປຂອງຄວາມຕ້ອງການຄວບຄຸມ.
• ລະບົບປະສົມ: ທາດດູດຝຸ່ນ ແລະເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນແມ່ນປະສົມເຂົ້າກັນເພື່ອການທໍາງານທີ່ມີປະສິດທິພາບພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຄວບຄຸມທີ່ເຄັ່ງຄັດ.

ລະບົບມັກຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການແບ່ງເຂດ, ບ່ອນທີ່ແຕ່ລະເຂດຂອງຫ້ອງສະອາດອາດຈະມີລະດັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕາມຂັ້ນຕອນຂອງຂະບວນການແລະຄວາມອ່ອນໄຫວຂອງອຸປະກອນ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ Semiconductor ປະສົມປະສານ

ວິທີການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງ semiconductor ປະສົມປະສານມີຂໍ້ດີການດໍາເນີນງານຫຼາຍ:

• ການປັບປຸງຜົນຜະລິດ: ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ສອດຄ່ອງກັນປ້ອງກັນຄວາມບົກພ່ອງຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແລະໃຫ້ອັດຕາສ່ວນທີ່ສູງກວ່າຂອງຊິບທີ່ໃຊ້ໄດ້.
• ຫຼຸດເວລາການຢຸດເຮັດວຽກ: ລະບົບການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມແບບອັດຕະໂນມັດ ຫຼຸດຜ່ອນການຕິດຂັດດ້ວຍມື ແລະ ການດີບັກໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ.
• ການປະຕິບັດຕາມແລະການຢັ້ງຢືນ: ການປະຕິບັດຕາມ ISO 14644 ຫຼືການຢັ້ງຢືນ GMP ກາຍເປັນເລື່ອງງ່າຍດາຍກັບລະບົບການຄວບຄຸມທີ່ດີເລີດໃນການດໍາເນີນງານ.
• ປະສິດທິພາບພະລັງງານ: ລະບົບ dehumidification ຂັ້ນສູງສາມາດປະຫຍັດພະລັງງານໄດ້ແຕ່ຄວບຄຸມໃຫ້ຢູ່ໃນຂອບເຂດຈໍາກັດ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ດ້ວຍ fabs ແມ່ນອັດຕະໂນມັດແລະ AI-driven, ລະບົບການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໄດ້ຖືກປະສົມປະສານເຂົ້າໃນລະບົບອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ລະບົບການປະຕິບັດການຜະລິດ (MES) ແລະລະບົບການຄຸ້ມຄອງອາຄານ (BMS), ເປັນການຄວບຄຸມສູນກາງແລະສາມາດຄາດຄະເນການບໍາລຸງຮັກສາ.

ສະຫຼຸບ

ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ຄວາມ​ຊຸ່ມ​ຊື່ນ​ໃນ​ທົ່ວ​ການ​ຜະ​ລິດ semiconductor ບໍ່​ແມ່ນ​ຫນ້ອຍ​ກ​່​ວາ​ຄວາມ​ກັງ​ວົນ​ທີ່​ສອງ - ມັນ​ເປັນ​ການ​ເຮັດ​ໃຫ້​ຕົວ​ຈິງ​ຂອງ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​, ຄວາມ​ສອດ​ຄ່ອງ​, ແລະ​ຜົນ​ກໍາ​ໄລ​. ການນໍາໃຊ້ເທກໂນໂລຍີຫ້ອງສະອາດ semiconductor ກ້າວຫນ້າແລະວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດ semiconductor ທີ່ເຫມາະສົມ, fabs ສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານທີ່ຊັດເຈນທີ່ຕ້ອງການເພື່ອຜະລິດຊິບຮຸ່ນຕໍ່ໄປ.

ໂດຍການຮັບເອົາລະບົບຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງ semiconductor ແບບປະສົມປະສານ, ອັດສະລິຍະ, ແລະປະຫຍັດພະລັງງານ, ທ່ານວາງຕົວທ່ານເອງໃນຕໍາແຫນ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຕະຫຼາດທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຕັ້ງແຕ່ AI ແລະ IoT ຈົນເຖິງຍານຍົນແລະອາວະກາດ. ໃນໂລກທີ່ຫນຶ່ງ micron ມີຄວາມສໍາຄັນ, ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ່ານສ້າງແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ.