Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь нарийвчлалын хувьд өршөөлгүй байдаг. Транзисторыг багасгаж, хэлхээг нэмэгдүүлэхийн хэрээр хүрээлэн буй орчны өөрчлөлтийн хамгийн бага түвшин хүртэл согог, гарцын алдагдал эсвэл эцсийн найдвартай байдлын доголдолд хүргэж болзошгүй юм. Согоггүй үйл явцын хамгийн чухал бөгөөд үл тоомсорлодог зүйл бол чийгшлийн хяналт юм. Оргил гүйцэтгэл нь зөвхөн хамгийн сүүлийн үеийн хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний тоног төхөөрөмж дээр суурилдаггүй, харин үйл явцын тодорхой параметрүүдийг анхаарч ухамсартайгаар боловсронгуй болгосон хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний чийгшүүлэх дадлага дээр суурилдаг.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чийгшлийн үүрэг

Агаарын чийгшил нь зөвхөн тансаг хэрэглээ биш, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд чухал хүчин зүйл болдог. Хяналтгүй чийгшил нь дараахь аюулыг үүсгэдэг.

• Өргөст өртөмтгий гадаргууг исэлдүүлэх
• Цахилгаан статик ялгадас (ESD), ялангуяа чийгшил багатай нөхцөлд
• Усны уурын холболтоор бөөмийн бохирдол
• Сав баглаа боодол, туршилтын үе шатанд чийгийн улмаас үүссэн зэврэлт

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг өнөөдөр нанометрийн хэмжээгээр үйлдвэрлэж байгаа тул эдгээр эрсдэл нэмэгдсээр байна. Тиймээс, хагас дамжуулагчийн чийгшлийг хянах нь зүгээр л сайн санаа биш, техникийн зайлшгүй шаардлага юм.

Хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөг ойлгох

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх үйлдвэрүүд буюу үйлдвэрүүд нь агаар дахь тоосонцрын хэмжээ, температурын хэлбэлзэл, чийгшил маш бага байдаг. Цэвэр өрөөг ISO эсвэл Холбооны стандарт 209E ангиллын дагуу нэг шоо метр тоосонцрын зөвшөөрөгдөх тоо, диаметрээр ангилдаг.

Энэ орчинд хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний төхөөрөмж нь зөвхөн агаарын урсгал, шүүлтүүрийг зохицуулахаас гадна температур, чийгшлийг тогтворжуулдаг. Цэвэр өрөөний системийг нэгтгэх нь хүрээлэн буй орчны параметрүүдийг уялдуулах ёстой. Энэ нь ялангуяа литографи, химийн уурын хуримтлал (CVD), сийлбэр гэх мэт нарийн үйлдлүүдэд үнэн юм.

Байгаль орчны хяналтын чухал хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөний тоног төхөөрөмж

Орчин үеийн үйлдвэрүүд хүрээлэн буй орчны нөхцөл байдлыг хянахын тулд өндөр үзүүлэлттэй янз бүрийн төхөөрөмжийг ашигладаг. Агаарын цэвэр байдал, чийгшлийг хянахад дараахь тоног төхөөрөмж хамгийн чухал юм.

• HEPA болон ULPA шүүлтүүрүүд: Агаарын урсгалын тогтвортой байдлыг хангах замаар агаарын цэвэршилт, чийгшлийн хяналтыг шийдэж, 0.12 микрон хүртэл жижиг тоосонцорыг устгана.
• Цэвэр өрөөний HVAC систем: Тусгай халаалт, агааржуулалт, агааржуулалтын системүүд нь цэвэр өрөөний тусдаа хэсэгт тусгайлан тохируулагдсан байдаг.
• Байгаль орчны хяналтын систем: Чийгшил, температур, агаар дахь тоосонцорыг байнга хянаж, бодит цагийн сэрэмжлүүлэг, мэдээлэл бүртгэх боломжийг олгодог.
• Чийгшүүлэх нэгжүүд: Ихэнх тохиолдолд HVAC системд нэгдсэн байдаг бөгөөд эдгээр нь өндөр мэдрэмжтэй бүсэд хэт бага шүүдэр цэгт хүрэх гол хөшүүрэг болдог.

Хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөний бүх тоног төхөөрөмж нь ашиглалтын хугацаа, үйл явцын тогтвортой байдлыг хангахын тулд засвар үйлчилгээ багатай, нийцтэй, найдвартай байх ёстой.

Хагас дамжуулагчтай цэвэр өрөөнд чийгшүүлэх дэвшилтэт техник

Хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөний чийгийн оновчтой зохицуулалт нь ялангуяа орчны чийгшил өндөр эсвэл маш бага шүүдэр цэгтэй, ургамал шаардлагатай (-40 ° C, бүр -60 ° C) үед технологийн сорилт юм. Хагас дамжуулагчийн цэвэр өрөөнд чийгшүүлэх технологи энд л орж ирдэг.

Ашигласан чийгшүүлэх техник нь:

• Чийгшүүлэгч чийгшүүлэгч: Эдгээр нь агаарыг хуурайшуулахын тулд гигроскопик материалыг ашигладаг бөгөөд RH багатай хэрэглээнд тохиромжтой.
• Хөргөгчинд суурилсан чийгшүүлэгч: Эдгээр нь ус зөөвөрлөхийн тулд агаарыг хөргөх бөгөөд чийгшлийг хянах ерөнхий түвшний хэрэгцээнд хамгийн тохиромжтой.
• Гибрид системүүд: Хатуу шингээгч болон хөргөгч нь хатуу хяналтын нөхцөлд үр дүнтэй ажиллахын тулд холилддог.

Системийг ихэвчлэн бүсчлэх чадвартайгаар бүтээдэг бөгөөд цэвэрлэх өрөөний тусдаа бүсүүд нь процессын үе шат, төхөөрөмжийн мэдрэмжээс хамааран өөр өөр чийгшилтэй байж болно.

Хагас дамжуулагчийн нэгдсэн чийгшлийн хяналтын давуу тал

Хагас дамжуулагч чийгшлийн хяналтын нэгдсэн арга нь үйл ажиллагааны хэд хэдэн давуу талтай:

• Сайжруулсан ургац: Тогтвортой чийгшил нь чийгийн согогоос сэргийлж, ашиглах боломжтой чипсийн харьцааг нэмэгдүүлдэг.
• Сул зогсолтыг багасгасан: Байгаль орчны хяналтын автоматжуулсан системүүд нь гар ажиллагаа болон дибагуудыг үнэмлэхүй хамгийн бага хэмжээнд хүртэл бууруулдаг.
• Нийцэл ба баталгаажуулалт: ISO 14644 эсвэл GMP гэрчилгээтэй нийцэх нь маш сайн хяналтын системтэй ажиллахад хялбар болно.
• Эрчим хүчний хэмнэлт: Чийгшүүлэх дэвшилтэт системүүд нь эрчим хүчний хэмнэлттэй боловч хатуу хязгаарт хяналт тавих боломжтой.

Нэмж дурдахад үйлдвэрүүдийг автоматжуулж, хиймэл оюун ухаанаар удирддаг тул чийгшлийн хяналтын системийг үйлдвэрлэлийн гүйцэтгэлийн систем (MES) болон барилгын удирдлагын систем (BMS) зэрэг бусад системд нэгтгэж, төвлөрсөн удирдлагатай, урьдчилан таамаглах, засвар үйлчилгээ хийх чадвартай болгож байна.

Дүгнэлт

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн туршид чийгшлийг хянах нь хоёрдогч асуудал биш бөгөөд энэ нь чанар, тогтвортой байдал, ашигт ажиллагааны үндсэн хүчин зүйл юм. Хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний дэвшилтэт технологи, хагас дамжуулагчтай цэвэр өрөөнд чийгшүүлэх зохих аргуудыг ашиглан үйлдвэрүүд дараагийн үеийн чип үйлдвэрлэхэд шаардагдах нарийн хүлцэлд хүрч чадна.

Нэгдсэн, ухаалаг, эрчим хүчний хэмнэлттэй хагас дамжуулагч чийгшлийн хяналтын системийг ашигласнаар та хиймэл оюун ухаан, IoT-ээс эхлээд автомашин, сансар огторгуй зэрэг зах зээлийн өсөн нэмэгдэж буй эрэлт хэрэгцээг хангах байр суурь эзэлнэ. Нэг микрон чухал байдаг дэлхийд таны бий болгож буй орчин бүр ч чухал.