Kugadzira ma semiconductors hakusi kukanganwira pakurongeka. Sezvo ma transistors achideredzwa uye circuitry ichiwedzerwa, kunyangwe huwandu hushoma hwekuchinja kwezvakatipoteredza hunogona kukonzera zvikanganiso, kurasikirwa negoho, kana kutadza kuvimbika kwekupedzisira. Hapana mubvunzo kuti chinhu chakakosha uye chinoregeredzwa chemaitiro asina zvikanganiso kudzora hunyoro. Kushanda kwepamusoro hakungobvi pamidziyo yemazuva ano ye semiconductor cleanroom, asiwo pamaitiro e semiconductor cleanroom dehumidification akagadziriswa nehana nematanho chaiwo ekuita.

Basa reHumidity muKugadzira Semiconductors

Hunyoro hausi kungori hwepamusoro chete—chinhu chakakosha mukugadzira zvinhu zve semiconductor. Hunyoro husingadzoreki hunokonzera njodzi dzinotevera:

• Kuoxidation kwenzvimbo dzine wafer dzinonzwa
• Kubuda kwemagetsi (ESD), kunyanya mumamiriro ekunze asina hunyoro hwakanyanya
• Kusvibiswa kwezvikamu kuburikidza nekunamirwa kwemvura ine utsi
• Kuora kunokonzerwa nehunyoro panguva yekurongedza nekuyedza

Sezvo michina ye semiconductor ichigadzirwa pa nanometer scale nhasi, njodzi idzi dziri kuwedzera. Saka, kudzora hunyoro hwe semiconductor hakusi kungori zano rakanaka—inyaya yehunyanzvi.

Nzwisisa Semiconductor Cleanroom

Mafekitori ekugadzira zvinhu zvakaita semasemiconductor, kana kuti mafekitori, akavakwa nemazinga ezvimedu zviri mumhepo akaderera zvikuru, kuchinja-chinja kwetembiricha, uye hunyoro. Makamuri ekushambidzira anorongwa zvichienderana nehuwandu uye dhayamita yezvimedu pa cubic mita zvichienderana neISO kana Federal Standard 209E classification.

Munzvimbo iyi, michina yekuchenesa ye semiconductor haingogadziri kufamba kwemhepo nekusefa chete asiwo inodzikamisa tembiricha nehunyoro. Kubatanidzwa kwemasystem ekuchenesa kunofanirwa kuve nechokwadi chekuti nharaunda yakabatana. Izvi zvinonyanya kuitika mumabasa akaomarara akadai se lithography, chemical vapor deposition (CVD), uye etching.

Midziyo Yekuchenesa YeSemiconductor Yakakosha Yekudzora Zvakatipoteredza

Mafashoni emazuva ano anoshandisa michina yakasiyana-siyana ine simba repamusoro kuti iongorore mamiriro ekunze. Mukuchena kwemhepo uye kudzora hunyoro, michina inotevera ndiyo inonyanya kukosha:

• Mafirita eHEPA neULPA: Bvisa zvidimbu zviri mumhepo zvidiki kusvika 0.12 microns, uchigadzirisa kuchena kwemhepo uye kudzora hunyoro nekuona kuti mhepo inoyerera zvakanaka.
• Masisitimu eHVAC eCleanroom: Masisitimu ekupisa, ekufema, uye emhepo akagadzirirwa nzvimbo dzakasiyana dzemukamuri rekuchenesa.
• Masisitimu Ekutarisa Zvakatipoteredza: Gara uchingwarira hunyoro, tembiricha, uye tunhu twuri mumhepo, zvichipa yambiro chaiyo uye kunyorwa kwedata panguva chaiyo.
• Zvikamu zvekubvisa hunyoro: Zvakabatanidzwa muhurongwa hweHVAC muzviitiko zvakawanda, izvi ndizvo zvinonyanya kukonzera kuti pave nenzvimbo dzine hunyoro hwakanyanya munzvimbo dzine hunyoro hwakanyanya.

Midziyo yese yekamuri rekuchenesa re semiconductor inofanira kugadzirwa isina kugadziriswa kwakawanda, inoenderana, uye yakavimbika kuitira kuti ive nechokwadi chekuti inoshanda uye kuti maitiro acho agadzikana.

Maitiro Epamusoro Ekubvisa Hunyoro muSemiconductor Cleanroom

Kudzora hunyoro hwakakwana mumakamuri ekuchenesa e semiconductor idambudziko retekinoroji, kunyanya kana hunyoro hwenzvimbo yacho hwakakwira kana kuti hwakaderera zvikuru, zvichida zvirimwa (zvakaderera kusvika -40°C kana kutoti -60°C). Ndipo panopinda tekinoroji yekubvisa hunyoro mumakamuri ekuchenesa e semiconductor.

Nzira dzinoshandiswa dzekubvisa hunyoro muvhu ndeidzi:

• Zvishandiso zveDesiccant Dehumidifiers: Izvi zvinoshandisa zvinhu zvine hygroscopic kuti zviomese mhepo uye zvakanakira kushandiswa kweRH shoma.
• Zvinobvisa hunyoro mufiriji: Zvinotonhodza mhepo kuti zvifambise mvura, izvo zvinonyanya kukodzera mwero wehunyoro.
• Masisitimu Akasanganiswa: Desiccant nefiriji zvinosanganiswa kuti zvishande zvakanaka pasi pemamiriro ekudzora kwakasimba.

Masisitimu aya anowanzo gadzirwa nehunyanzvi hwekugadzika nzvimbo, uko nzvimbo dzakasiyana dzemukamuri rekuchenesa dzinogona kunge dziine hunyoro hwakasiyana zvichienderana nedanho rekushanda uye kunzwisiswa kwemidziyo.

Mabhenefiti eIntegrated Semiconductor Humidity Control

Nzira yekudzora hunyoro hwe semiconductor yakabatanidzwa ine zvakanakira zvakawanda zvekushanda:

• Goho Rakavandudzwa: Hunyoro hunogara huripo hunodzivirira kusakwana kwehunyoro uye hunopa huwandu hwakanyanya hwemachipisi anoshandiswa.
• Nguva Yokurega Kushanda: Masisitimu ekutonga nharaunda otomatiki anoderedza kufambisa-fambisa nemaoko uye kugadzirisa matambudziko zvakanyanya.
• Kutevedzera Mutemo uye Chitupa: Kutevedzera ISO 14644 kana GMP chitupa kunova nyore kana masisitimu ekudzora akanaka ari kushanda.
• Kushanda Nesimba: Masisitimu epamusoro ekubvisa hunyoro anogona kuchengetedza simba zvakanaka asi achidzorwa mukati memiganhu yakamanikana.

Pamusoro pezvo, nekugadzira zvinhu zviri otomatiki uye zvinotungamirirwa neAI, masisitimu ekudzora hunyoro ari kubatanidzwa mune mamwe masisitimu, akadai semagadzirirwo ekugadzira (MES) uye masisitimu ekutarisira zvivakwa (BMS), kuti adzorwe pakati uye agone kugadzirira.

Mhedziso

Kudzora hunyoro panguva yekugadzira semiconductor hakusi chinhu chechipiri—icho chinoita kuti pave nemhando, kugara kwenguva refu, uye purofiti. Tichishandisa tekinoroji yepamusoro yekuchenesa semiconductor uye nzira dzakakodzera dzekubvisa hunyoro mukuchenesa semiconductor, machira anogona kuwana kushivirira kwakakodzera kunodiwa kugadzira machipisi echizvarwa chinotevera.

Nekugamuchira masisitimu ekudzora hunyoro akabatana, akangwara, uye anochengetedza simba, unozviisa munzvimbo yekusangana nezvinodiwa zviri kuwedzera zvemisika kubva kuAI neIoT kusvika kumotokari nendege. Munyika umo micron imwe chete yakakosha, nharaunda yaunogadzira inonyanya kukosha.