Tlhahiso ea li-semiconductor ha e tšoarele ka ho nepahala. Ha li-transistors li ntse li fokotseha 'me potoloho e ntse e eketseha, esita le maemo a fokolang a phetoho ea tikoloho a ka fella ka liphoso, tahlehelo ea chai, kapa ho hloleha ho qetela ha botšepehi. Ntle ho pelaelo, karolo ea bohlokoa le e hlokomolohuoang ea ts'ebetso e se nang liphoso ke taolo ea mongobo. Tshebetso ea tlhoro ha e thehiloe feela lisebelisoa tsa sejoale-joale tsa semiconductor cleanroom, empa e thehiloe mekhoeng ea ho tlosa mongobo ea semiconductor cleanroom dehumidification e ntlafalitsoeng ka hloko ka liparamente tse itseng tsa ts'ebetso tse shebaneng.

Karolo ea Mongobo Tlhahisong ea Semiconductor

Mongobo ha se feela ntho ea mabothobotho—ke ntlha ea bohlokoa litsing tsa tlhahiso ea li-semiconductor. Mongobo o sa laoleheng o baka likotsi tse latelang:

• Ho oksida ha libaka tse bonolo tsa wafer
• Ho ntsha metsi ka motlakase (ESD), haholo-holo maemong a mongobo o tlase
• Tšilafalo ea likaroloana ka ho hokela mouoane oa metsi
• Tšilafalo e bakoang ke mongobo nakong ea mehato ea ho paka le ea liteko

Kaha disebediswa tsa semiconductor di etswa ka sekala sa nanometer kajeno, dikotsi tsena di a eketseha. Kahoo, taolo ya mongobo wa semiconductor ha se mohopolo o motle feela—ke ntho ya bohlokwa ya botekgeniki.

Utloisisa Semiconductor Cleanroom

Lifeme tsa tlhahiso ea semiconductor, kapa masela, li hahiloe ka maemo a tlase haholo a likaroloana tse tsamaeang moeeng, ho feto-fetoha ha mocheso le mongobo. Likamore tsa ho hloekisa li arotsoe ka palo le bophara bo amohelehang ba likaroloana ka mithara ea li-cubic ho latela sehlopha sa ISO kapa Federal Standard 209E.

Tikolohong ena, disebediswa tsa kamore ya ho hlwekisa ya semiconductor ha di laole feela phallo ya moya le ho sefa empa hape di tsitsisa mocheso le mongobo. Ho kopanngwa ha ditsamaiso tsa kamore ya ho hlwekisa ho lokela ho netefatsa hore diparamente tsa tikoloho di a dumellana. Sena ke nnete haholo-holo mesebetsing e bonolo jwalo ka lithography, chemical vapor deposition (CVD), le ho etching.

Lisebelisoa tsa Bohlokoa tsa ho Hloekisa tsa Semiconductor bakeng sa Taolo ea Tikoloho

Mabenyane a sejoale-joale a sebelisa lisebelisoa tse fapaneng tse nang le ts'ebetso e phahameng ho lekola maemo a tikoloho. Ho hloekeng ha moea le taolong ea mongobo, lisebelisoa tse latelang ke tsa bohlokoa ka ho fetisisa:

• Li-filter tsa HEPA le ULPA: Tlosa likaroloana tse fofang moeeng tse nyane tse ka bang 0.12 microns, ho sebetsana le bohloeki ba moea le taolo ea mongobo ka ho netefatsa mekhoa e tsitsitseng ea phallo ea moea.
• Mekhoa ea HVAC ea Kamore ea ho Hloekisa: Mekhoa e khethehileng ea ho futhumatsa, ho kenya moea le ho pholisa moea e etselitsoe libaka tse fapaneng tsa kamore ea ho hloekisa.
• Mekhoa ea ho Hlokomela Tikoloho: Kamehla ela hloko mongobo, mocheso le likaroloana tse moeeng, e fana ka temoso ea nako ea sebele le ho boloka data.
• Diyuniti tsa ho tlosa mongobo: Di kenyelelitsoe ditsamaisong tsa HVAC maemong a mangata, tsena ke tsona tse kgannang bohlokwa ho fihlelleng dintlha tsa phoka tse tlase haholo dibakeng tse nang le kutlo e phahameng.

Lisebelisoa tsohle tsa kamore ea ho hloekisa ea semiconductor li tlameha ho etsoa ka tlhokomelo e tlase, ho lumellana le ts'ebetso, le ts'epo e tlase ho netefatsa botsitso ba nako le ts'ebetso.

Mekhoa e Tsoetseng Pele ea ho Tlosa Mongobo ho Semiconductor Cleanroom

Taolo e ntle ea mongobo likamoreng tsa ho hloekisa tsa semiconductor ke phephetso ea theknoloji, haholo-holo ha tikoloho ea mongobo e le holimo kapa e le tlase haholo, e hlokang limela (tse ka tlase ho -40°C kapa esita le -60°C). Ke moo theknoloji ea ho tlosa mongobo likamoreng tsa ho hloekisa tsa semiconductor e kenellang teng.

Mekhoa ea ho tlosa mongobo e sebelisoang ke:

• Di-Desiccant Dehumidifier: Tsena di sebedisa thepa e nang le hygroscopic ho ntsha moya o hlwekileng mme di loketse ditshebediso tse nang le RH e tlase.
• Di-dehumidifier tse Thehiloeng Sehatsetsing: Di phodisa moya ho tsamaisa metsi, e leng se loketseng maemo a akaretsang a taolo ya mongobo.
• Mekhoa e Kopantsoeng: Setlolo sa ho tlosa litšila le sehatsetsing li kopantsoe bakeng sa ts'ebetso e sebetsang tlas'a maemo a taolo e thata.

Hangata litsamaiso li hahuoa ka bokhoni ba ho arola libaka, moo libaka ka bomong tsa kamore ea ho hloekisa li ka bang le maemo a fapaneng a mongobo ho latela mohato oa ts'ebetso le kutloisiso ea lisebelisoa.

Melemo ea Taolo ea Mongobo ea Semiconductor e Kopaneng

Mokhoa o kopaneng oa taolo ea mongobo oa semiconductor o na le melemo e 'maloa ea ts'ebetso:

• Tlhahiso e Ntlafetseng: Mongobo o tsitsitseng o thibela bofokodi ba mongobo mme o fana ka karolelano e phahameng ea li-chip tse ka sebelisoang.
• Nako e Fokolitsoeng ea ho se sebetse: Mekhoa ea taolo ea tikoloho e iketsang e fokotsa ho sebetsana le ho lokisa liphoso ka letsoho ho isa bohōleng bo itseng.
• Ho Latela Melao le Setifikeiti: Ho latela setifikeiti sa ISO 14644 kapa GMP ho ba bonolo ha litsamaiso tse ntle tsa taolo li ntse li sebetsa.
• Bokgoni ba Matla: Mekhoa e tsoetseng pele ea ho tlosa mongobo e ka boloka matla empa ea laoloa ka har'a meeli e thata.

Ho phaella moo, kaha masela a iketsahalla ka boiketsetso le a tsamaiswang ke AI, ditsamaiso tsa taolo ya mongobo di ntse di kopanngwa le ditsamaiso tse ding, tse kang ditsamaiso tsa ho etsa tlhahiso (MES) le ditsamaiso tsa taolo ya meaho (BMS), hore di laolwe bohareng le ho kgona ho lokisa esale pele.

Qetello

Taolo ea mongobo nakong eohle ea tlhahiso ea li-semiconductor ha se taba ea bobeli—ke ntho e thusang boleng, botsitso le phaello. Ka ho sebelisa theknoloji e tsoetseng pele ea li-semiconductor cleanroom le mekhoa e loketseng ea ho tlosa mongobo ka li-semiconductor cleanroom, li-fabs li ka fihlela mamello e nepahetseng e hlokahalang ho etsa li-chip tsa moloko o latelang.

Ka ho amohela litsamaiso tsa taolo ea mongobo oa semiconductor tse kopantsoeng, tse bohlale le tse bolokang matla, u ipeha boemong ba ho fihlela litlhoko tse ntseng li hola tsa mebaraka ho tloha ho AI le IoT ho ea ho likoloi le lifofane. Lefatšeng leo micron e le 'ngoe e leng ea bohlokoa, tikoloho eo u e bōpang e bohlokoa le ho feta.