Истеҳсоли нимноқилҳо аз ҷиҳати дақиқ авфнопазир аст. Азбаски транзисторҳо кам карда мешаванд ва схемаҳо зиёд мешаванд, ҳатто сатҳи ҳадди ақали тағирёбии муҳити зист метавонад боиси норасоиҳо, талафоти ҳосил ё нокомии эътимоднокии ниҳоӣ гардад. Бешубҳа, ҷанбаи муҳимтарин ва нодида гирифтани раванди бенуксон назорати намӣ мебошад. Самаранокии баланд на танҳо ба таҷҳизоти муосири тозаи нимноқил асос ёфтааст, балки ба амалияҳои хушккунии намноккунии нимноқилҳои нимноқилӣ, ки бо параметрҳои мушаххаси раванд дар маркази таваҷҷӯҳ қарор доранд, асос ёфтааст.

Нақши намӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо

Намнокӣ на танҳо як айшу ишрат аст, балки омили муҳим дар иншооти истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Намии беназорат хатарҳои зеринро ба бор меорад:

• Оксидшавии сатҳҳои ҳассос вафли
• Ихроҷи электростатикӣ (ESD), махсусан дар шароити намӣ паст
• Ифлосшавии зарраҳо тавассути замимаи буғи об
• Коррозияе, ки аз намӣ дар марҳилаҳои бастабандӣ ва озмоиш ба вуҷуд омадааст

Азбаски дастгоҳҳои нимноқил дар миқёси нанометрӣ истеҳсол карда мешаванд, ин хатарҳо зиёд мешаванд. Ҳамин тавр, назорати намии нимноқилҳо танҳо як идеяи хуб нест - ин як амри техникӣ аст.

Фаҳмидани ҳуҷраи нимноқил

Корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо ё фабрикаҳо бо сатҳи хеле пасти зарраҳои ҳавоӣ, тағирёбии ҳарорат ва намӣ сохта мешаванд. Хонаҳои тозакунӣ аз рӯи шумораи қобили қабул ва диаметри зарраҳо дар як метри мукааб мувофиқи таснифоти ISO ё федералии стандарти 209E тасниф карда мешаванд.

Дар ин муҳит таҷҳизоти тозаи нимноқил на танҳо ҷараёни ҳаво ва филтратсияро танзим мекунад, балки ҳарорат ва намиро низ мӯътадил мекунад. Интегратсияи системаҳои ҳуҷраи тоза бояд мутобиқати параметрҳои муҳити зистро таъмин кунад. Ин махсусан дар амалиётҳои нозук, аз қабили литография, пошидани буғи кимиёвӣ (CVD) ва афшура дуруст аст.

Таҷҳизоти тозаи нимноқилҳои муҳим барои назорати муҳити зист

Фабрикахои хозиразамон тачхизоти гуногуни дорой махсулнокии баландро барои назорат кардани шароити мухит истифода мебаранд. Дар тозагии ҳаво ва назорати намӣ таҷҳизоти зерин муҳимтаранд:

• Филтрҳои HEPA ва ULPA: Зарраҳои ҳавоии то 0,12 микронро хориҷ кунед, ки ба тозагии ҳаво ва назорати намӣ тавассути таъмини шакли устувори ҷараёни ҳаво муроҷиат кунед.
• Системаҳои HVAC тоза: Системаҳои махсуси гармидиҳӣ, вентилятсия ва кондитсионер махсусан ба минтақаҳои алоҳидаи ҳуҷраи тоза мувофиқ карда шудаанд.
• Системаҳои мониторинги муҳити зист: Ҳамеша ба намӣ, ҳарорат ва зарраҳои ҳавоӣ назорат карда, дар вақти воқеӣ огоҳӣ ва сабти маълумотро пешниҳод мекунанд.
• Воҳидҳои хушккунӣ: Дар аксари мавридҳо ба системаҳои HVAC ворид карда шудаанд, инҳо омилҳои асосии ба даст овардани нуқтаҳои шабнам дар минтақаҳои ҳассосияти баланд мебошанд.

Ҳама таҷҳизот барои ҳуҷраи тозаи нимноқилҳо бояд бо нигоҳдории паст, мутобиқат ва эътимоднокӣ тарҳрезӣ шаванд, то вақти корӣ ва устувории равандро таъмин кунанд.

Усулҳои пешрафтаи нимноқилҳои тозакунандаи намӣ

Танзими оптималии намӣ дар утоқҳои тозаи нимноқил як мушкили технологӣ аст, хусусан вақте ки муҳити намии муҳити зист нуқтаи шабнам баланд ё хеле паст аст, ки растаниҳоро талаб мекунад (то -40 ° C ё ҳатто -60 ° C). Маҳз дар он ҷо технологияи намноккунии нимноқилҳои тозакунӣ ворид мешавад.

Усулҳои хушккунии намӣ истифода мешаванд:

• Хушккунакҳои хушккунанда: Инҳо маводи гигроскопиро барои хушк кардани ҳаво истифода мебаранд ва барои барномаҳои пасти RH беҳтаринанд.
• Наму тозакунакҳои ба яхдон асосёфта: Онҳо ҳаворо барои интиқоли об хунук мекунанд, ки барои сатҳҳои умумии назорати намӣ мувофиқанд.
• Системаҳои гибридӣ: Хушккунанда ва яхдон барои фаъолияти самаранок дар шароити назорати қатъӣ омехта шудаанд.

Системаҳо аксар вақт бо қобилияти минтақасозӣ сохта мешаванд, ки дар он минтақаҳои алоҳидаи ҳуҷраи тозакунӣ метавонанд вобаста ба марҳилаи раванд ва ҳассосияти таҷҳизот сатҳи намии гуногун дошта бошанд.

Афзалиятҳои назорати интегралии намии нимноқил

Усули ҳамгирошудаи назорати намии нимноқил якчанд бартариҳои корӣ дорад:

• Ҳосили беҳтаршуда: намии доимӣ камбудиҳои намиро пешгирӣ мекунад ва таносуби баландтари микросхемаҳои истифодашавандаро таъмин мекунад.
• Коҳишёбии вақти бекорӣ: Системаҳои автоматии назорати муҳити зист оворакунии дастӣ ва ислоҳро то ҳадди ақали мутлақ кам мекунанд.
• Мутобиқат ва сертификатсия: Мутобиқати ISO 14644 ё сертификатсияи GMP бо системаҳои аълои назорат дар амал соддатар мешавад.
• Самаранокии энергия: Системаҳои пешрафтаи хушккунии намӣ метавонанд аз энергия каммасраф бошанд ҳам, то дар ҳудуди маҳдуд назорат карда шаванд.

Илова бар ин, вақте ки фабҳо автоматӣ ва аз ҷониби AI идора карда мешаванд, системаҳои назорати намӣ ба дигар системаҳо, ба монанди системаҳои иҷрои истеҳсолот (MES) ва системаҳои идоракунии бино (BMS) муттаҳид карда мешаванд, то аз маркази марказӣ идора карда шаванд ва қобилияти пешгӯии нигоҳубинро дошта бошанд.

Хулоса

Назорати намӣ дар тамоми истеҳсоли нимноқилҳо на камтар аз як масъалаи дуюмдараҷа аст - он омили аслии сифат, пайдарпайӣ ва даромаднокӣ мебошад. Бо истифода аз технологияи пешрафтаи ҳуҷраи тозаи нимноқил ва усулҳои мувофиқи намноккунии нимноқилҳои нимноқил, фабҳо метавонанд ба таҳаммулпазирии дақиқе, ки барои истеҳсоли микросхемаҳои насли оянда заруранд, ноил шаванд.

Бо фаро гирифтани системаҳои ҳамгирошудаи назорати намии нимноқилҳои интеллектуалӣ ва каммасраф, шумо худро дар ҷойе қарор медиҳед, ки ба талаботҳои афзояндаи бозорҳо, аз AI ва IoT то мошинсозӣ ва аэрокосмосӣ ҷавобгӯ бошед. Дар ҷаҳоне, ки як микрон муҳим аст, муҳити эҷодкардаи шумо боз ҳам муҳимтар аст.