Истеҳсоли нимноқилҳо аз ҷиҳати дақиқӣ бераҳмона аст. Азбаски транзисторҳо ба ҳадди ақалл кам карда мешаванд ва схемаҳо зиёд мешаванд, ҳатто сатҳи ҳадди ақали тағйироти муҳити зист метавонад боиси нуқсонҳо, аз даст додани ҳосилнокӣ ё нокомии ниҳоии эътимоднокӣ гардад. Бешубҳа, муҳимтарин ва нодида гирифташудаи ҷанбаи раванди бе нуқсон назорати намӣ аст. Самаранокии баландтарин на танҳо ба таҷҳизоти муосири утоқи тозакунии нимноқилҳо, балки ба амалияҳои хушккунии утоқи тозакунии нимноқилҳо, ки бо параметрҳои мушаххаси равандҳо дар маркази диққат такмил дода шудаанд, асос ёфтааст.

Нақши намӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо

Намӣ на танҳо як чизи боҳашамат аст - он омили муҳим дар корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Намӣи беназорат хатарҳои зеринро ба вуҷуд меорад:

• Оксидшавии сатҳҳои вафлии ҳассос
• Разряди электростатикӣ (ESD), махсусан дар шароити намӣ паст
• Олудашавии зарраҳо тавассути пайвастшавии буғи об
• Зангзанӣ, ки аз сабаби намӣ дар марҳилаҳои бастабандӣ ва озмоиш ба вуҷуд омадааст

Азбаски дастгоҳҳои нимноқил имрӯз дар миқёси нанометр истеҳсол мешаванд, ин хатарҳо зиёд мешаванд. Аз ин рӯ, назорати намӣ дар нимноқилҳо танҳо як идеяи хуб нест - ин як амри техникӣ аст.

Фаҳмидани тозакунии нимноқилҳо

Корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо ё корхонаҳо бо сатҳи хеле пасти зарраҳои ҳавоӣ, тағйирёбии ҳарорат ва намӣ сохта шудаанд. Утоқҳои тоза аз рӯи шумора ва диаметри зарраҳо дар як метри мукааб мувофиқи таснифоти ISO ё Стандарти федералии 209E тасниф карда мешаванд.

Дар ин муҳит, таҷҳизоти утоқи тозаи нимноқил на танҳо ҷараёни ҳаво ва филтратсияро танзим мекунад, балки ҳарорат ва намиро низ устувор мекунад. Ҳамгироии системаҳои утоқи тоза бояд ҳамоҳангии параметрҳои муҳити зистро таъмин кунад. Ин махсусан дар амалиётҳои нозук ба монанди литография, таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) ва кандакорӣ дуруст аст.

Таҷҳизоти тозакунии нимноқилҳои муҳим барои назорати муҳити зист

Фабрикаҳои муосир барои назорат кардани шароити муҳити зист аз таҷҳизоти гуногун бо самаранокии баланд истифода мебаранд. Дар тозагии ҳаво ва назорати намӣ, таҷҳизоти зерин аз ҳама муҳимтаранд:

• Филтрҳои HEPA ва ULPA: Зарраҳои ҳаворо то андозаи 0.12 микрон тоза мекунанд ва тозагии ҳаво ва назорати намӣ тавассути таъмини ҷараёни устувори ҳаворо ҳал мекунанд.
• Системаҳои HVAC-и ҳуҷраи тоза: Системаҳои махсуси гармидиҳӣ, вентилятсия ва кондитсионер махсусан барои минтақаҳои алоҳидаи ҳуҷраи тоза мутобиқ карда шудаанд.
• Системаҳои мониторинги муҳити зист: Ҳамеша ба намӣ, ҳарорат ва зарраҳои ҳавоӣ диққат медиҳанд ва огоҳӣ ва сабти маълумотро дар вақти воқеӣ пешниҳод мекунанд.
• Дастгоҳҳои намноккунӣ: Дар аксари мавридҳо, ки ба системаҳои HVAC муттаҳид карда шудаанд, инҳо омилҳои калидӣ барои ба даст овардани нуқтаҳои шабнами хеле паст дар минтақаҳои ҳассосияти баланд мебошанд.

Ҳамаи таҷҳизот барои утоқи тозакунии нимноқилҳо бояд бо нигоҳдории кам, мутобиқат ва эътимоднокӣ тарҳрезӣ карда шаванд, то вақти корӣ ва устувории равандро таъмин кунанд.

Усулҳои пешрафтаи хушккунии намӣ дар утоқи тозакунии нимноқилҳо

Танзими оптималии намӣ дар утоқҳои тозаи нимноқилӣ як мушкили технологӣ аст, хусусан вақте ки намӣ дар муҳити атроф нуқтаи шабнам баланд ё хеле паст аст ва ба растаниҳо ниёз дорад (то -40°C ё ҳатто -60°C). Дар ин ҷо технологияи хушккунии утоқҳои тозаи нимноқилӣ ба кор медарояд.

Усулҳои хушккунии ҳаво инҳоянд:

• Хушккунакҳои намӣ: Инҳо аз маводи гигроскопӣ барои хушк кардани ҳаво истифода мебаранд ва барои истифода бо намии паст беҳтаринанд.
• Хушккунакҳои дар яхдон истифодашаванда: Онҳо ҳаворо хунук мекунанд, то обро интиқол диҳанд, ки барои сатҳи умумии талаботи назорати намӣ беҳтарин аст.
• Системаҳои гибридӣ: Хушккунак ва яхдон барои фаъолияти самаранок дар шароити назорати қатъӣ омехта карда мешаванд.

Системаҳо аксар вақт бо қобилияти минтақабандӣ сохта мешаванд, ки дар он минтақаҳои алоҳидаи утоқи тозакунӣ метавонанд вобаста ба марҳилаи раванд ва ҳассосияти таҷҳизот сатҳи гуногуни намӣ дошта бошанд.

Бартариҳои назорати намӣ дар нимноқилҳои муттаҳидшуда

Усули муттаҳидшудаи назорати намӣ дар нимноқил якчанд бартариҳои корӣ дорад:

• Ҳосили беҳтаршуда: Намӣи мунтазам аз камбудиҳои намӣ пешгирӣ мекунад ва таносуби баланди чипҳои истифодашавандаро таъмин мекунад.
• Вақти бекористии камшуда: Системаҳои автоматии назорати муҳити зист хатогиҳои дастӣ ва ислоҳи хатогиҳоро то ҳадди ақалл кам мекунанд.
• Мутобиқат ва сертификатсия: Мутобиқат бо сертификатсияи ISO 14644 ё GMP бо системаҳои аълои назоратӣ дар амал соддатар мегардад.
• Самаранокии энергия: Системаҳои пешрафтаи хушккунии ҳаво метавонанд аз ҷиҳати энергия самаранок бошанд, аммо дар доираи маҳдудиятҳои маҳдуд назорат карда шаванд.

Илова бар ин, бо автоматикунонии корхонаҳо ва идоракунии зеҳни сунъӣ, системаҳои назорати намӣ ба дигар системаҳо, ба монанди системаҳои иҷрои истеҳсолот (MES) ва системаҳои идоракунии биноҳо (BMS), ворид карда мешаванд, то ки онҳо ба таври марказӣ идора карда шаванд ва қобилияти пешгӯӣ ва нигоҳдорӣ дошта бошанд.

Хулоса

Назорати намӣ дар тамоми истеҳсоли нимноқилҳо на камтар аз як масъалаи дуюмдараҷа аст - он омили асосии сифат, устуворӣ ва фоидаоварӣ мебошад. Бо истифода аз технологияи пешрафтаи тозакунии утоқи нимноқилҳо ва усулҳои мувофиқи хушккунии намӣ дар утоқи тозаи нимноқилҳо, корхонаҳо метавонанд ба таҳаммулпазирии дақиқи зарурӣ барои истеҳсоли чипҳои насли оянда ноил шаванд.

Бо истифода аз системаҳои назорати намӣ дар нимноқилҳои ҳамгирошуда, интеллектуалӣ ва сарфакунандаи энергия, шумо худро дар мавқеъе қарор медиҳед, ки ба талаботи афзояндаи бозорҳо, аз зеҳни сунъӣ ва IoT то автомобилсозӣ ва аэрокосмосӣ, ҷавобгӯ бошед. Дар ҷаҳоне, ки як микрон муҳим аст, муҳите, ки шумо эҷод мекунед, боз ҳам муҳимтар аст.