Ярымүткәргеч җитештерү төгәллектә кичерелми. Транзисторлар минимальләштерелгәндә һәм электр челтәре артканга, хәтта минималь экологик үзгәрү дәрәҗәләре дә җитешсезлекләргә, уңышны югалтуга яки соңгы ышанычлылыкка китерергә мөмкин. .Ичшиксез, кимчелексез процессның иң мөһим һәм игътибарсыз ягы - дым белән идарә итү. Пик күрсәткеч заманча ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе җиһазларына гына түгел, ә ярымүткәргеч чистарту бүлмәсен дегумидизацияләү практикасына нигезләнеп, махсус процесс параметрлары белән намус белән чистартылган.

Ярымүткәргеч җитештерүдә дымның роле

Дымлылык люкс кына түгел, ул ярымүткәргеч җитештерү корылмаларында мөһим фактор. Контрольсез дым түбәндәге куркыныч тудыра:

• Нечкә вафин өслекләрен оксидлаштыру
• Электростатик агызу (ESD), аеруча аз дымлы шартларда
• Су парларын бәйләү аша кисәкчәләрнең пычрануы
• Пакетлау һәм сынау этапларында дым аркасында коррозия

Ярымүткәргеч җайланмалар бүген нанометр таразасында җитештерелгәнгә, бу куркынычлар арта. Шулай итеп, ярымүткәргечнең дымлылыгын контрольдә тоту яхшы идея түгел - бу техник таләп.

Ярымүткәргеч чистарту бүлмәсен аңлау

Ярымүткәргеч җитештерү заводлары, яисә фаблар, һавада булган кисәкчәләр дәрәҗәсе, температураның үзгәрүе, дымлылыгы белән төзелгән. Чистарту бүлмәләре ISO яки Федераль Стандарт 209E классификациясе буенча куб метрга кисәкчәләрнең кабул ителгән саны һәм диаметры буенча классификацияләнәләр.

Бу мохиттә ярымүткәргеч чистарту җиһазлары һава агымын һәм фильтрлауны гына түгел, температураны һәм дымны да тотрыклыландыра. Чиста бүлмә системасының интеграциясе экологик параметрларның гармонияләнүен тәэмин итәргә тиеш. Бу аеруча литография, химик пар парламенты (CVD), эфир кебек нечкә операцияләрдә дөрес.

Экологик контроль өчен критик ярымүткәргеч чистарту җиһазлары

Заманча фаблар экологик шартларны күзәтү өчен югары җитештерүчәнле төрле җиһазлар кулланалар. Airава чисталыгы һәм дым белән идарә итүдә түбәндәге җиһазлар иң мөһиме:

• HEPA һәм ULPA Фильтрлары: airава чисталыгын һәм дымлылыкны контрольдә тотып, һава агымы кисәкчәләрен 0,12 микронга кадәр чыгарыгыз.
• Чиста бүлмә HVAC системалары: махсус җылыту, вентиляция, кондиционер системалары чистарту бүлмәсенең аерым өлкәләренә махсус эшләнгән.
• Экологик мониторинг системалары: Дымлылык, температура һәм һавада булган кисәкчәләр өчен һәрвакыт уяу булыгыз, реаль вакытта кисәтүне һәм мәгълүматны теркәүне тәкъдим итәләр.
• Дегумидификация берәмлекләре: күпчелек очракта HVAC системаларына интеграцияләнгән, алар югары сизгерлек зоналарында ультра түбән чык нокталарына ирешү өчен төп драйверлар.

Ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе өчен барлык җиһазлар түбән хезмәт күрсәтү, яраклашу, эш вакыты һәм процесс тотрыклылыгын тәэмин итү өчен эшләнергә тиеш.

Алга киткән ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе дегумидификацияләү техникасы

Ярымүткәргеч чистарту бүлмәләрендә дымны оптималь көйләү - технологик проблема, аеруча тирә дымлылык югары яки бик түбән чык ноктасы булганда, үсемлекләр таләп итә (-40 ° C яки хәтта -60 ° C). Менә ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе дегмидификация технологиясе.

Дегумидификацияләү техникасы:

• Desiccant Dehumidifiers: Алар гигроскопик материалны һаваны чистарту өчен кулланалар һәм аз RH кушымталары өчен идеаль.
• Суыткычка нигезләнгән дегумидификаторлар: Алар су ташу өчен һаваны салкынлаштыралар, дым белән идарә итүнең гомуми дәрәҗәләре өчен оптималь.
• Гибрид системалар: Дискикант һәм суыткыч катгый контроль шартларда эффектив функция өчен кушылган.

Системалар еш зоналаштыру мөмкинлеге белән төзелә, монда чистарту бүлмәсенең аерым зоналары процесс этабы һәм җиһазларның сизгерлеге буенча төрле дымлылык дәрәҗәсенә ия булырга мөмкин.

Интеграль ярымүткәргеч дым белән идарә итүнең өстенлекләре

Интеграль ярымүткәргеч дым белән идарә итү ысулының берничә эш өстенлеге бар:

• Яхшыртылган уңыш: Дымлы дым дым җитешсезлекләрен булдырмый һәм кулланыла торган чипларның югары өлешен тәэмин итә.
• Эш вакыты кыскартылды: Автоматлаштырылган әйләнә-тирә мохит белән идарә итү системалары кул белән сатуны һәм абсолют минимумга кадәр киметүне киметәләр.
• Тапшыру һәм сертификацияләү: ISO 14644 яки GMP сертификаты белән эш итү искиткеч идарә итү системалары белән гадирәк була.
• Энергия эффективлыгы: Алга киткән дегмидификация системалары энергияне сакчыл кулланырга мөмкин, ләкин чик чикләрендә контрольдә тотыла ала.

Моннан тыш, фаблар автоматлаштырылган һәм ЯИ белән идарә ителгәч, дым белән идарә итү системалары үзәк контрольдә тотыла торган һәм прогнозлы-хезмәт күрсәтә алырлык җитештерү системалары (MES) һәм төзелеш белән идарә итү системалары (BMS) кебек башка системаларга интеграцияләнәләр.

Йомгаклау

Ярымүткәргеч җитештерү вакытында дымны контрольдә тоту икенчел борчылудан ким түгел - ул сыйфат, эзлеклелек һәм рентабельлелекнең эчке мөмкинлеге. Алдынгы ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе технологиясен һәм ярымүткәргеч чистарту бүлмәсен дегмидификацияләү ысулларын кулланып, fabs киләсе буын чиплары җитештерү өчен кирәкле төгәл толерантлыкка ирешә ала.

Интеграль, интеллектуаль һәм энергияне саклаучы ярымүткәргеч дымлылык белән идарә итү системаларын кабул итеп, сез үзегезне AI һәм IoT-тан автомобиль һәм аэрокосмоска кадәр киңәя барган базар таләпләрен канәгатьләндерә аласыз. Бер микрон бик мөһим булган дөньяда сез ясаган мохит тагын да мөһимрәк.