Ярымүткәргечләр җитештерү төгәллек ягыннан бик начар. Транзисторлар минимальләштерелгән һәм схемалар арткан саен, хәтта минималь дәрәҗәдәге әйләнә-тирә мохит үзгәрешләре дә җитешсезлекләргә, чыгым югалтуга яки ышанычлылыкның соңгы бозылуына китерергә мөмкин. Шиксез, җитешсезлексез процессның иң мөһим һәм игътибарсыз калдырылган аспекты - дымлылыкны контрольдә тоту. Иң югары җитештерүчәнлек заманча ярымүткәргеч чистарту бүлмәсе җиһазларына гына түгел, ә махсус процесс параметрларына игътибар итеп, ярымүткәргеч чистарту бүлмәсендә дымны киптерү практикасына да нигезләнгән.

Ярымүткәргечләр җитештерүдә дымлылыкның роле

Дымлылык - бу ләззәт кенә түгел - ул ярымүткәргеч җитештерү корылмаларында мөһим фактор. Контрольдә тотылмаган дымлылык түбәндәге куркынычларны тудыра:

• Сизгер пластина өслекләренең оксидлашуы
• Электростатик разряд (ЭСР), бигрәк тә түбән дымлылык шартларында
• Су пары белән кушылу аша кисәкчәләрнең пычрануы
• Упаковка һәм сынау этапларында дым аркасында барлыкка килгән коррозия

Бүгенге көндә ярымүткәргеч җайланмалар нанометр масштабында җитештерелгәнлектән, бу куркынычлар арта. Шуңа күрә ярымүткәргеч дымлылыгын контрольдә тоту яхшы идея генә түгел, ә техник яктан мөһим.

Ярымүткәргечле чистарту бүлмәсен аңлау

Ярымүткәргечләр җитештерү заводлары, яки фабрикалар, һавадагы кисәкчәләр дәрәҗәсе, температура тирбәнешләре һәм дымлылыгы бик түбән булган шартларда төзелә. Чиста бүлмәләр ISO яки Федераль стандарт 209E классификациясенә туры китереп, куб метрга кисәкчәләрнең кабул ителгән саны һәм диаметры буенча классификацияләнә.

Бу мохиттә ярымүткәргечле чиста бүлмә җиһазлары һава агымын һәм фильтрацияне генә көйләми, ә температура һәм дымлылыкны да тотрыклыландыра. Чиста бүлмә системаларын интеграцияләү мохит параметрларының гармонияләштерелүен тәэмин итәргә тиеш. Бу, бигрәк тә, литография, химик пар белән каплау (ХПК) һәм гравюра кебек нечкә операцияләрдә дөрес.

Әйләнә-тирә мохитне контрольдә тоту өчен мөһим ярымүткәргечле чистарту бүлмәсе җиһазлары

Заманча фабрикалар әйләнә-тирә мохит шартларын күзәтү өчен югары җитештерүчәнлеккә ия төрле җиһазлар кулланалар. Һава чисталыгын һәм дымлылыкны контрольдә тотуда түбәндәге җиһазлар иң мөһиме:

• HEPA һәм ULPA фильтрлары: һавадагы 0,12 микрон кебек кечкенә кисәкчәләрне дә бетерә, һава агымының тотрыклы үрнәкләрен тәэмин итү аша һава чисталыгы һәм дымлылык контролен тәэмин итә.
• Чиста бүлмә HVAC системалары: Махсуслаштырылган җылыту, вентиляция һәм һава кондиционерлау системалары чиста бүлмәнең аерым зоналары өчен махсус эшләнгән.
• Әйләнә-тирә мохитне күзәтү системалары: дымлылыкны, температураны һәм һавадагы кисәкчәләрне һәрвакыт күзәтеп тора, реаль вакыт режимында кисәтү һәм мәгълүматларны теркәү мөмкинлеге бирә.
• Дымсызландыру җайланмалары: Күпчелек очракта HVAC системаларына интеграцияләнгән, бу җайланмалар югары сизгерлек зоналарында бик түбән чык нокталарына ирешүнең төп хәрәкәтләндергеч көчләре булып тора.

Ярымүткәргечле чиста бүлмә өчен барлык җиһазлар эш вакытын һәм процесс тотрыклылыгын тәэмин итү өчен аз хезмәт күрсәтү, туры килүчәнлек һәм ышанычлылык белән эшләнгән булырга тиеш.

Ярымүткәргечле чистарту бүлмәсендә дымны киптерүнең алдынгы ысуллары

Ярымүткәргечле чиста бүлмәләрдә дымлылыкны оптималь көйләү технологик яктан катлаулы мәсьәлә булып тора, бигрәк тә тирә-юньдәге дымлылык югары яки бик түбән булганда, үсемлекләр кирәк булганда (-40°C яки хәтта -60°C кадәр). Нәкъ менә монда ярымүткәргечле чиста бүлмәләрдә дымны киптерү технологиясе ярдәмгә килә.

Кулланылган дымсызландыру ысуллары:

• Киптергеч дым киптергечләр: Алар һаваны киптерү өчен гигроскопик материал кулланалар һәм түбән ныграк һава торышы өчен идеаль.
• Суыткычка нигезләнгән дым киптергечләр: Алар суны ташу өчен һаваны суыта, бу дымлылыкны контрольдә тотуның гомуми таләпләре өчен оптималь.
• Гибрид системалар: катгый контроль шартларында нәтиҗәле эшләү өчен киптергеч һәм суыткыч кушыла.

Системалар еш кына зоналаштыру мөмкинлеге белән төзелә, анда чиста бүлмәнең аерым зоналарында процесс этабына һәм җиһазларның сизгерлегенә карап төрле дымлылык дәрәҗәләре булырга мөмкин.

Интегральләштерелгән ярымүткәргечле дымлылыкны контрольдә тотуның өстенлекләре

Интегральләштерелгән ярымүткәргеч дымлылыкны контрольдә тоту ысулының берничә эш өстенлеге бар:

• Уңышны арттыру: Даими дымлылык дым җитешсезлекләрен булдырмый һәм кулланыла торган кисәкләрнең югарырак нисбәтен тәэмин итә.
• Эштән туктау вакытын киметү: Автоматик әйләнә-тирә мохитне контрольдә тоту системалары кул белән төзәтүне һәм көйләүне минимумга кадәр киметә.
• Тәкъдим ителгән таләпләргә туры килү һәм сертификацияләү: Эшләтеп торган югары сыйфатлы контроль системалары белән ISO 14644 яки GMP сертификациясенә туры килү җиңелрәк.
• Энергия нәтиҗәлелеге: Алдынгы дымсызландыру системалары энергияне нәтиҗәле кулланырга мөмкин, шул ук вакытта алар чикләнгән чикләрдә контрольдә тотыла ала.

Моннан тыш, заводлар автоматлаштырылган һәм ясалма интеллект ярдәмендә эшли башлаганлыктан, дымлылыкны контрольдә тоту системалары башка системаларга, мәсәлән, җитештерүне башкару системаларына (MES) һәм биналар белән идарә итү системаларына (BMS) интеграцияләнә, алар үзәктән идарә ителә һәм фаразлау-техник хезмәт күрсәтү мөмкинлегенә ия була.

Йомгак

Ярымүткәргечләр җитештерү барышында дымлылыкны контрольдә тоту икенчел мәсьәлә түгел - ул сыйфат, тотрыклылык һәм табышлылыкның эчке факторы. Алдынгы ярымүткәргечле чистарту бүлмәсе технологиясен һәм ярымүткәргечле чистарту бүлмәсен дымсызландыруның тиешле ысулларын кулланып, заводлар киләсе буын чипларын җитештерү өчен кирәкле төгәл түземлелеккә ирешә ала.

Интегральләштерелгән, акыллы һәм энергияне саклаучы ярымүткәргеч дымлылыкны контрольдә тоту системаларын куллану аша сез үзегезне ясалма интеллект һәм IoT әйберләреннән алып автомобиль һәм аэрокосмик технологияләргә кадәр базарларның киңәюче таләпләрен канәгатьләндерү өчен мөмкинлеккә ия итәсез. Бер микрон мөһим булган дөньяда сез булдырган мохит тагын да мөһимрәк.