Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish aniqlikda kechirimsizdir. Tranzistorlar minimallashtirilgani va kontaktlarning zanglashiga olib kelishi natijasida atrof-muhit o'zgarishining minimal darajalari ham nuqsonlarga, hosilning yo'qolishiga yoki yakuniy ishonchlilikning buzilishiga olib kelishi mumkin. Shubhasiz, nuqsonsiz jarayonning eng muhim va e'tiborsiz tomoni namlikni nazorat qilishdir. Eng yuqori samaradorlik nafaqat yarimo'tkazgichli toza xonaning eng so'nggi uskunalarida, balki diqqat markazida bo'lgan muayyan jarayon parametrlari bilan vijdonan tozalangan yarimo'tkazgichli toza xonada namlikni yo'qotish amaliyotiga asoslanadi.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda namlikning o'rni

Namlik shunchaki hashamat emas - bu yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda muhim omil. Nazoratsiz namlik quyidagi xavflarni keltirib chiqaradi:

• Nozik gofret yuzalarining oksidlanishi
• Elektrostatik oqim (ESD), ayniqsa past namlik sharoitida
• Suv bug'ining biriktirilishi orqali zarrachalarning ifloslanishi
• Qadoqlash va sinov bosqichlarida namlikdan kelib chiqqan korroziya

Yarimo'tkazgichli qurilmalar bugungi kunda nanometr shkalalarida ishlab chiqarilganligi sababli, bu xavflar ortib bormoqda. Shunday qilib, yarimo'tkazgichlarda namlikni nazorat qilish shunchaki yaxshi fikr emas - bu texnik shart.

Yarimo'tkazgichli tozalash xonasini tushunish

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqaruvchi zavodlar yoki fabrikalar havodagi zarrachalar darajasi, harorat o'zgarishi va namlik juda past bo'lgan holda qurilgan. Toza xonalar ISO yoki Federal standart 209E tasnifiga muvofiq har bir kubometr uchun zarrachalarning maqbul soni va diametri bo'yicha tasniflanadi.

Bunday muhitda yarimo'tkazgichli toza xona uskunalari nafaqat havo oqimi va filtrlashni tartibga solibgina qolmay, balki harorat va namlikni barqarorlashtiradi. Toza xona tizimlarining integratsiyasi atrof-muhit parametrlarining uyg'unligini ta'minlashi kerak. Bu, ayniqsa, litografiya, kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) va qirqish kabi nozik operatsiyalarga to'g'ri keladi.

Atrof muhitni nazorat qilish uchun muhim yarimo'tkazgichli toza xona uskunalari

Zamonaviy fabrikalar atrof-muhit sharoitlarini kuzatish uchun yuqori unumdorlikka ega turli xil uskunalardan foydalanadilar. Havoning tozaligi va namligini nazorat qilishda quyidagi uskunalar eng muhim hisoblanadi:

• HEPA va ULPA filtrlari: Havoning 0,12 mikrongacha bo'lgan kichik zarralarini olib tashlang, barqaror havo oqimi naqshlarini ta'minlash orqali havo tozaligi va namlik nazoratini ta'minlaydi.
• Toza xona HVAC tizimlari: Ixtisoslashgan isitish, ventilyatsiya va konditsioner tizimlari toza xonaning alohida joylariga maxsus moslashtirilgan.
• Atrof-muhit monitoringi tizimlari: namlik, harorat va havodagi zarrachalarni doimo kuzatib boring, real vaqt rejimida ogohlantirish va ma'lumotlarni qayd qilishni taklif qiladi.
• Namlikni quritish moslamalari: Ko'p hollarda HVAC tizimlariga o'rnatilgan, bular yuqori sezuvchanlik zonalarida ultra past shudring nuqtalariga erishish yo'lidagi asosiy omillardir.

Yarimo'tkazgichli tozalash xonasi uchun barcha jihozlar ish vaqti va jarayon barqarorligini ta'minlash uchun past texnik xizmat ko'rsatish, muvofiqlik va ishonchlilik bilan ishlab chiqilgan bo'lishi kerak.

Yarim o'tkazgichli toza xonada namlikni yo'qotishning ilg'or usullari

Yarimo'tkazgichli toza xonalarda namlikni optimal tartibga solish, ayniqsa, atrof-muhit namligi muhiti yuqori yoki juda past shudring nuqtasi bo'lsa, o'simliklarni talab qiladigan (-40 ° C yoki hatto -60 ° C gacha) texnologik muammodir. Bu erda yarimo'tkazgichli toza xonani namlash texnologiyasi kiradi.

Qo'llaniladigan namlikni tozalash usullari:

• Qurituvchi namlagichlar: Ular havoni quritish uchun gigroskopik materialdan foydalanadi va past RH ilovalari uchun idealdir.
• Sovutgichga asoslangan namlagichlar: suvni tashish uchun havoni sovutadi, namlikni nazorat qilishning umumiy darajasi uchun maqbuldir.
• Gibrid tizimlar: qurituvchi va sovutgich qattiq nazorat sharoitida samarali ishlash uchun aralashtiriladi.

Tizimlar ko'pincha rayonlashtirish qobiliyati bilan qurilgan, bu erda toza xonaning alohida zonalari jarayon bosqichiga va uskunaning sezgirligiga qarab turli xil namlik darajalariga ega bo'lishi mumkin.

Integratsiyalashgan yarimo'tkazgichli namlik nazoratining afzalliklari

Integratsiyalashgan yarimo'tkazgichli namlikni nazorat qilish usuli bir nechta operatsion afzalliklarga ega:

• Yaxshilangan hosil: Barqaror namlik namlik nuqsonlarini oldini oladi va foydalanish mumkin bo'lgan chiplarning yuqori nisbatini ta'minlaydi.
• Qisqartirilgan ishlamay qolish vaqti: Avtomatlashtirilgan atrof-muhitni boshqarish tizimlari qo'lda o'ynash va disk raskadrovkani mutlaq minimal darajaga qisqartiradi.
• Muvofiqlik va sertifikatlash: ISO 14644 yoki GMP sertifikatiga muvofiqlik mukammal boshqaruv tizimlarining ishlashi bilan osonlashadi.
• Energiya samaradorligi: ilg'or namlikni yo'qotish tizimlari energiya tejamkor bo'lishi mumkin, ammo qat'iy chegaralar ichida nazorat qilinishi mumkin.

Bundan tashqari, fablar avtomatlashtirilgan va sun'iy intellekt yordamida boshqariladi, namlikni nazorat qilish tizimlari boshqa tizimlarga, masalan, ishlab chiqarishni boshqarish tizimlari (MES) va binolarni boshqarish tizimlari (BMS) markazdan boshqariladigan va bashoratli texnik xizmat ko'rsatish qobiliyatiga ega.

Xulosa

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda namlikni nazorat qilish ikkinchi darajali tashvishdan kam emas - bu sifat, barqarorlik va rentabellikning o'ziga xos omilidir. Ilg'or yarimo'tkazgichli toza xona texnologiyasidan va tegishli yarimo'tkazgichli toza xonani quritish usullaridan foydalangan holda, fabrikalar keyingi avlod chiplarini ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan aniq bardoshliklarga erishishlari mumkin.

Integratsiyalashgan, aqlli va quvvatni tejovchi yarimo'tkazgichli namlikni boshqarish tizimlarini qo'llash orqali siz o'zingizni sun'iy intellekt va IoTdan avtomobil va aerokosmik sanoatigacha bo'lgan bozorlarning kengayib borayotgan talablariga javob beradigan holatga keltirasiz. Bir mikron hal qiluvchi ahamiyatga ega bo'lgan dunyoda siz yaratgan muhit yanada muhimroqdir.