Ṣíṣe àgbékalẹ̀ semiconductor kò dájú ní ti pípéye. Bí a bá dín transistors kù tí a sì ń pọ̀ sí i, àní àwọn ìpele díẹ̀ ti ìyàtọ̀ àyíká lè yọrí sí àbùkù, àdánù ìyọrísí, tàbí ìkùnà ìgbẹ́kẹ̀lé ìkẹyìn. Láìsí àní-àní, apá pàtàkì àti àìṣeégbẹ́kẹ̀lé jùlọ nínú ìlànà tí kò ní àbùkù ni ìṣàkóso ọrinrin. Iṣẹ́ gíga kìí ṣe lórí ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor onígbàlódé nìkan ni a gbé kalẹ̀, ṣùgbọ́n lórí àwọn ìṣe ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor tí a ti ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ìmọ̀-ọkàn pẹ̀lú àwọn ìlànà pàtó tí a gbé kalẹ̀.

Ipa ti ọriniinitutu ninu iṣelọpọ Semiconductor

Ọrinrin kìí ṣe ohun tó jẹ́ ohun ìgbádùn lásán—ó jẹ́ ohun pàtàkì nínú àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor. Ọrinrin tí kò ní ìdarí lè fa àwọn ewu wọ̀nyí:

• Ìfàsẹ́yìn àwọn ojú omi wafer onímọ̀lára
• Ìtújáde Electrostatic (ESD), pàápàá jùlọ ní àwọn ipò ọriniinitutu kékeré
• Ìbàjẹ́ patiku nípasẹ̀ ìsopọ̀ omi afẹ́fẹ́
• Ipalara ti ọrinrin fa lakoko apoti ati awọn ipele idanwo

Nítorí pé a ń ṣe àwọn ẹ̀rọ semiconductor ní ìwọ̀n nanometer lónìí, àwọn ewu wọ̀nyí ń pọ̀ sí i. Nítorí náà, ìṣàkóso ọrinrin semiconductor kì í ṣe èrò rere lásán—ó jẹ́ dandan fún ìmọ̀ ẹ̀rọ.

Loye Ile Mimọ Semiconductor

Àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, tàbí fab, ni a kọ́ pẹ̀lú ìwọ̀n patiku afẹ́fẹ́ tí ó lọ sílẹ̀ gidigidi, ìyípadà otutu, àti ọriniinitutu. A pín àwọn yàrá mímọ́ sí ìpele iye àti ìwọ̀n ìlà tí a gbà fún patiku kọ̀ọ̀kan ní ìwọ̀n onígun mẹ́rin gẹ́gẹ́ bí ìpín ISO tàbí Federal Standard 209E.

Nínú àyíká yìí, àwọn ohun èlò ìwẹ̀ ilé semiconductor kìí ṣe pé ó ń ṣe àkóso afẹ́fẹ́ àti ìfọ́mọ́ nìkan, ṣùgbọ́n ó tún ń mú kí ooru àti ọ̀rinrin dúró ṣinṣin. Ìṣọ̀kan àwọn ètò ìwẹ̀ ilé gbọ́dọ̀ rí i dájú pé àwọn ìlànà àyíká bára mu. Èyí jẹ́ òótọ́ ní pàtàkì nínú àwọn iṣẹ́ onírẹ̀lẹ̀ bíi lithography, chemical vapor deposition (CVD), àti etching.

Ohun elo Mimọ Yara Semiconductor Pataki fun Iṣakoso Ayika

Àwọn oníṣẹ́ abẹ́ òde òní máa ń lo onírúurú ohun èlò tí wọ́n ní iṣẹ́ gíga láti ṣe àkíyèsí àyíká. Nínú ìmọ́tótó afẹ́fẹ́ àti ìdarí ọrinrin, àwọn ohun èlò wọ̀nyí ló ṣe pàtàkì jùlọ:

• Àwọn Àlẹ̀mọ́ HEPA àti ULPA: Yọ àwọn èròjà afẹ́fẹ́ tí ó kéré tó 0.12 microns kúrò, kí a lè mọ ìmọ́tótó afẹ́fẹ́ àti ìdarí ọrinrin nípa rírí dájú pé afẹ́fẹ́ ń lọ dáadáa.
• Ètò HVAC ti Cleanroom: Àwọn ètò ìgbóná, afẹ́fẹ́, àti afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ pàtàkì ni a ṣe pàtó fún àwọn agbègbè kọ̀ọ̀kan ti yàrá ìwẹ̀nùmọ́.
• Àwọn Ètò Àbójútó Àyíká: Wọ́n máa ń kíyèsí ọriniinitutu, iwọn otutu, àti àwọn èròjà afẹ́fẹ́, wọ́n sì máa ń fúnni ní ìkìlọ̀ àti àkọsílẹ̀ ìwádìí ní àkókò gidi.
• Àwọn Ẹ̀ka Ìtúpalẹ̀ Omi: A ti so wọ́n pọ̀ mọ́ àwọn ètò HVAC ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà, àwọn wọ̀nyí ni àwọn ohun pàtàkì tí ó ń mú kí a lè rí àwọn ibi tí ìrísí wọn kò pọ̀ rárá ní àwọn agbègbè tí ó ní ìmọ̀lára gíga.

Gbogbo ohun èlò fún yàrá ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí a ṣe pẹ̀lú ìtọ́jú díẹ̀, ìbáramu, àti ìgbẹ́kẹ̀lé láti rí i dájú pé àkókò iṣẹ́ àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́ náà wà.

Àwọn Ọ̀nà Ìmúkúrò Ẹ̀rọ Ìmọ́tótó Semiconductor Tó Tẹ̀síwájú

Ìdènà ọrinrin tó dára jùlọ nínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor jẹ́ ìpèníjà ìmọ̀ ẹ̀rọ, pàápàá jùlọ nígbà tí àyíká ọrinrin bá ga tàbí tí kò sí ìrì púpọ̀, tí ó nílò àwọn ohun ọ̀gbìn (tó kéré tó -40°C tàbí kódà -60°C). Ibẹ̀ ni ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor ti wọlé.

Awọn ọna imukuro omi ti a lo ni:

• Àwọn ohun èlò ìtújáde omi: Àwọn wọ̀nyí lo ohun èlò ìtújáde omi láti mú afẹ́fẹ́ gbẹ, wọ́n sì dára fún lílo RH-kekere.
• Àwọn ohun èlò ìtútù tí a fi sínú fìríìjì: Wọ́n ń tutù afẹ́fẹ́ láti gbé omi, èyí tí ó dára jùlọ fún àwọn ìpele gbogbogbòò ti ìṣàkóṣo ọrinrin.
• Àwọn Ètò Ìdàpọ̀: A máa ń da omi àti fìríìjì pọ̀ fún iṣẹ́ tó gbéṣẹ́ lábẹ́ àwọn ipò ìṣàkóso tó lágbára.

A sábà máa ń kọ́ àwọn ètò náà pẹ̀lú agbára ìpínkiri, níbi tí àwọn agbègbè kọ̀ọ̀kan ti yàrá ìwẹ̀ lè ní ìwọ̀n ọriniinitutu tó yàtọ̀ síra gẹ́gẹ́ bí ipele iṣẹ́ àti ìmọ̀lára ẹ̀rọ.

Àwọn Àǹfààní Ìṣàkóso Ọriniinitutu Semiconductor Tí A Ṣẹ̀pọ̀

Ọna iṣakoso ọriniinitutu semiconductor ti a ṣepọ ni ọpọlọpọ awọn anfani iṣiṣẹ:

• Ìmújáde Tó Dára Jù: Ọ̀rinrin tó wà ní ìbámu pẹ̀lú omi máa ń dènà àbùkù ọrinrin, ó sì máa ń fúnni ní ìpíndọ́gba tó ga jù ti àwọn eerun tó ṣeé lò.
• Àkókò Ìdádúró: Àwọn ètò ìṣàkóso àyíká aládàáṣe dín ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àti ìṣàtúnṣe kù sí ìwọ̀nba pátápátá.
• Ìbámu àti Ìjẹ́rìísí: Ìbámu pẹ̀lú ìjẹ́rìísí ISO 14644 tàbí GMP di ohun tó rọrùn pẹ̀lú àwọn ètò ìṣàkóso tó dára jùlọ tí wọ́n ń ṣiṣẹ́.
• Lilo Agbara: Awọn eto imukuro ọrinrin to ti ni ilọsiwaju le jẹ agbara ti o munadoko ṣugbọn a ṣakoso wọn si awọn opin to muna.

Ní àfikún, pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́dá tí a ń lò ní aládàáṣe àti tí a ń lo láti darí AI, a ń fi àwọn ẹ̀rọ ìṣàkóso ọrinrin sínú àwọn ẹ̀rọ mìíràn, bíi àwọn ẹ̀rọ ìṣe iṣẹ́ ìṣẹ̀dá (MES) àti àwọn ẹ̀rọ ìṣàkóso ilé (BMS), láti jẹ́ èyí tí a ń ṣàkóso ní àárín gbùngbùn àti tí a lè ṣe àtúnṣe àsọtẹ́lẹ̀.

Ìparí

Ṣíṣàkóso ọriniinitutu jakejado iṣelọpọ semiconductor kii ṣe pataki ju iṣoro keji lọ—o jẹ ohun ti o mu ki didara, iduroṣinṣin, ati ere wa. Nipa lilo imọ-ẹrọ ile mimọ semiconductor ti o ni ilọsiwaju ati awọn ọna imukuro ọriniinitutu semiconductor ti o yẹ, awọn fab le ṣaṣeyọri awọn ifarada deede ti o nilo lati ṣe awọn eerun iran ti nbọ.

Nípa gbígbà àwọn ètò ìṣàkóso ọriniinitutu semiconductor tí a ti ṣepọ, tí ó ní ọgbọ́n, tí ó sì ń fi agbára pamọ́, o fi ara rẹ sí ipò láti bá àwọn ìbéèrè ọjà tí ń pọ̀ sí i mu, láti AI àti IoT sí ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ àti afẹ́fẹ́. Nínú ayé tí micron kan ṣe pàtàkì, àyíká tí o ṣẹ̀dá túbọ̀ ṣe pàtàkì sí i.