Iṣẹ iṣelọpọ Semikondokito jẹ aforiji ni deede. Bi awọn transistors ti dinku ati pe iyika ti pọ si, paapaa awọn ipele kekere ti iyatọ ayika le ja si awọn abawọn, pipadanu ikore, tabi ikuna igbẹkẹle ipari. Laisi iyemeji, pataki julọ ati abala aibikita ti ilana ti ko ni abawọn jẹ iṣakoso ọriniinitutu. Iṣe ti o ga julọ kii ṣe ipilẹ nikan lori ohun elo ile-iṣẹ semikondokito ti o dara julọ, ṣugbọn lori awọn iṣe imumimii iyẹwu semikondokito ni mimọ ni mimọ pẹlu awọn aye ilana kan pato ni idojukọ.

Ipa ti Ọriniinitutu ni iṣelọpọ Semikondokito

Ọriniinitutu kii ṣe igbadun nikan-o jẹ ifosiwewe pataki ni awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito. Ọriniinitutu ti ko ni iṣakoso jẹ awọn eewu wọnyi:

• Oxidation ti kókó wafer roboto
• Itọjade elekitirositatic (ESD), paapaa ni awọn ipo ọriniinitutu kekere
• Idoti patiku nipasẹ asomọ oru omi
• Ibajẹ ti o ṣẹlẹ nipasẹ ọrinrin lakoko apoti ati awọn ipele idanwo

Niwọn igba ti awọn ẹrọ semikondokito ti ṣelọpọ ni awọn iwọn nanometer loni, awọn eewu wọnyi pọ si. Nitorinaa, iṣakoso ọriniinitutu semikondokito kii ṣe imọran to dara lasan — o jẹ dandan imọ-ẹrọ.

Loye Semikondokito Cleanroom

Awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ Semikondokito, tabi awọn ile-ọṣọ, ti wa ni itumọ pẹlu awọn ipele patiku afẹfẹ kekere pupọju, iyipada iwọn otutu, ati ọriniinitutu. Awọn yara mimọ jẹ ipin ni awọn ofin ti nọmba itẹwọgba ati iwọn ila opin ti awọn patikulu fun mita onigun ni ibamu si ISO tabi Federal Standard 209E classification.

Ni agbegbe yii, ohun elo mimọ ile semikondokito kii ṣe ṣe ilana ṣiṣan afẹfẹ ati sisẹ nikan ṣugbọn tun ṣe iduro iwọn otutu ati ọriniinitutu. Ijọpọ awọn ọna ṣiṣe mimọ gbọdọ rii daju pe awọn aye ayika ti wa ni ibamu. Eyi jẹ otitọ paapaa ni awọn iṣẹ elege bii lithography, isọdi ikemi vapor (CVD), ati etching.

Awọn Ohun elo Mimọ Semikondokito pataki fun Iṣakoso Ayika

Awọn ibọsẹ ode oni lo awọn ohun elo oriṣiriṣi pẹlu iṣẹ ṣiṣe giga lati ṣe atẹle awọn ipo ayika. Ni mimọ afẹfẹ ati iṣakoso ọriniinitutu, ohun elo atẹle jẹ pataki julọ:

• HEPA ati ULPA Ajọ: Yọ awọn patikulu ti afẹfẹ bi kekere bi 0.12 microns, sọrọ mimọ afẹfẹ ati iṣakoso ọriniinitutu nipasẹ ṣiṣe idaniloju awọn ilana ṣiṣan afẹfẹ iduroṣinṣin.
• Awọn ọna HVAC mimọ: alapapo amọja, fentilesonu, ati awọn eto amuletutu ni a ṣe ni pataki si awọn agbegbe kọọkan ti yara mimọ.
• Awọn ọna Abojuto Ayika: Ṣọra nigbagbogbo fun ọriniinitutu, iwọn otutu, ati awọn patikulu afẹfẹ, nfunni ni ikilọ akoko gidi ati gedu data.
• Awọn ẹya Iyọkuro: Ijọpọ sinu awọn ọna ṣiṣe HVAC ni ọpọlọpọ awọn iṣẹlẹ, iwọnyi ni awọn awakọ bọtini si iyọrisi awọn aaye ìri-kekere ni awọn agbegbe ifamọ giga.

Gbogbo ohun elo fun yara mimọ semikondokito gbọdọ jẹ apẹrẹ pẹlu itọju kekere, ibamu, ati igbẹkẹle lati rii daju pe akoko ati iduroṣinṣin ilana.

To ti ni ilọsiwaju Semikondokito Cleanroom Dehumidification imuposi

Ilana ọriniinitutu to dara julọ ni awọn yara mimọ semikondokito jẹ ipenija imọ-ẹrọ, ni pataki nigbati agbegbe ọriniinitutu ibaramu ga tabi aaye ìri kekere pupọ, ti o nilo awọn irugbin (bi kekere bi -40°C tabi paapaa -60°C). Iyẹn ni ibiti imọ-ẹrọ iyọkuro ile semikondokito mimọ ninu.

Awọn ilana imunmi omi ti a lo ni:

• Desiccant Dehumidifiers: Awọn wọnyi lo awọn ohun elo hygroscopic lati sọ afẹfẹ sọ di mimọ ati pe o jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo RH kekere.
• Dehumidifiers ti o da lori firiji: Wọn tutu afẹfẹ lati gbe omi, o dara julọ fun awọn ipele gbogbogbo ti awọn ibeere iṣakoso ọriniinitutu.
• Awọn ọna arabara: Desiccant ati refrigeration ti wa ni idapọpọ fun iṣẹ to munadoko labẹ awọn ipo iṣakoso to muna.

Awọn ọna ṣiṣe nigbagbogbo ni a ṣe pẹlu agbara ifiyapa, nibiti awọn agbegbe kọọkan ti yara mimọ le ni awọn ipele ọriniinitutu oriṣiriṣi ni ibamu si ipele ilana ati ifamọra ohun elo.

Awọn anfani ti Isepọ Semikondokito ọriniinitutu

Ọna iṣakoso ọriniinitutu semikondokito iṣọpọ ni ọpọlọpọ awọn anfani iṣẹ:

• Imudara Ikore: Ọriniinitutu deede ṣe idilọwọ awọn abawọn ọrinrin ati pese ipin ti o ga julọ ti awọn eerun nkan elo.
• Idinku Idinku: Awọn eto iṣakoso ayika adaṣe dinku fiddling afọwọṣe ati ṣiṣatunṣe si o kere ju pipe.
• Ibamu ati Iwe-ẹri: Ibamu pẹlu ISO 14644 tabi iwe-ẹri GMP di irọrun pẹlu awọn eto iṣakoso to dara julọ ni iṣẹ.
• Ṣiṣe Agbara: Awọn ọna imunmi ti ilọsiwaju le jẹ agbara-daradara sibẹsibẹ iṣakoso si laarin awọn opin wiwọ.

Ni afikun, pẹlu awọn fabs ti n ṣe adaṣe adaṣe ati AI-iwakọ, awọn ọna ṣiṣe iṣakoso ọriniinitutu ti wa ni iṣọpọ sinu awọn eto miiran, gẹgẹbi awọn eto ipaniyan iṣelọpọ (MES) ati awọn eto iṣakoso ile (BMS), lati jẹ iṣakoso aarin ati isọtẹlẹ-itọju-agbara.

Ipari

Iṣakoso ti ọriniinitutu jakejado iṣelọpọ semikondokito ko kere ju ibakcdun Atẹle kan — o jẹ oluṣe ojulowo ti didara, aitasera, ati ere. Lilo imọ-ẹrọ iyẹwu semikondokito ilọsiwaju ti o ni ilọsiwaju ati awọn ọna gbigbẹ ile semikondokito ti o yẹ, awọn fabs le ṣaṣeyọri awọn ifarada kongẹ ti o nilo lati ṣe awọn eerun iran-atẹle.

Nipa gbigbamọra iṣọpọ, oye, ati fifipamọ awọn ọna ṣiṣe iṣakoso ọriniinitutu semikondokito, o gbe ararẹ si ipo lati pade awọn ibeere ti o gbooro ti awọn ọja ti o wa lati AI ati IoT si ọkọ ayọkẹlẹ ati aerospace. Ni agbaye nibiti micron kan ṣe pataki, agbegbe ti o ṣẹda paapaa ṣe pataki julọ.