1^st乾燥室：

T=20-22℃ RH≤30%乾燥室にて

広さ：29平方メートル

高さ：3m

2人

ZCB-D45-4500（4500CMH/2647CFM）

 

2^ndドライルーム

乾燥室内では、T=20-22℃、Td≤-45℃、RH≤0.5%です。

41平方メートル

高さ：3m

2人

ZCH-4000S+FFU 2セット