د سیمیکمډکټر تولید په دقت کې نه بخښونکی دی. لکه څنګه چې ټرانزیسټرونه کم شوي او سرکټري زیاته شوې، حتی د چاپیریالي بدلون لږترلږه کچه کولی شي نیمګړتیاوې، د حاصلاتو ضایع کول، یا د اعتبار وروستۍ ناکامي رامینځته کړي. بې له شکه، د نیمګړتیا څخه پاک پروسې ترټولو مهم او له پامه غورځول شوی اړخ د رطوبت کنټرول دی. لوړ فعالیت نه یوازې د عصري سیمیکمډکټر پاک خونې تجهیزاتو باندې ولاړ دی، بلکه د سیمیکمډکټر پاک خونې ډیهومیډیفیکشن عملونو باندې چې په صادقانه توګه د ځانګړي پروسې پیرامیټرو سره په تمرکز کې اصلاح شوي.

د سیمیکمډکټر په تولید کې د رطوبت رول

رطوبت یوازې یو عیش او عشرت نه دی - دا د سیمیکمډکټر تولیدي تاسیساتو کې یو مهم فاکتور دی. بې کنټروله رطوبت لاندې خطرونه رامینځته کوي:

• د حساس ویفر سطحو اکسیډیشن
• الیکټروسټاټیک خارجیدل (ESD)، په ځانګړې توګه د ټیټ رطوبت شرایطو کې
• د اوبو د بخار د ضمیمې له لارې د ذراتو ککړتیا
• د بسته بندۍ او ازموینې مرحلو په جریان کې د رطوبت له امله رامینځته شوی زنګ

څرنګه چې نن ورځ د نیمه کنډکټر وسایل په نانوومیټر پیمانه جوړیږي، نو دا خطرونه ډیر شوي دي. نو، د نیمه کنډکټر رطوبت کنټرول یوازې یو ښه نظر نه دی - دا یو تخنیکي اړتیا ده.

د سیمیکمډکټر پاکولو خونه پوه شئ

د سیمیکمډکټر جوړولو فابریکې، یا فابریکې، د هوا له لارې د ذراتو خورا ټیټې کچې، د تودوخې بدلون او رطوبت سره جوړ شوي دي. پاکې خونې د ISO یا فدرالي معیار 209E طبقه بندي سره سم په هر مکعب متره کې د ذراتو د منلو وړ شمیر او قطر له مخې طبقه بندي شوي دي.

په دې چاپیریال کې، د نیمه کنډکټر پاک خونې تجهیزات نه یوازې د هوا جریان او فلټریشن تنظیموي بلکه د تودوخې او رطوبت ثبات هم کوي. د پاک خونې سیسټمونو ادغام باید ډاډ ترلاسه کړي چې د چاپیریال پیرامیټرې همغږي شوي دي. دا په ځانګړي توګه په نازکو عملیاتو لکه لیتوګرافي، کیمیاوي بخار زیرمه (CVD)، او ایچنګ کې ریښتیا ده.

د چاپیریال کنټرول لپاره مهم سیمیکمډکټر پاک خونې تجهیزات

عصري فابریکې د چاپیریال شرایطو د څارنې لپاره د لوړ فعالیت لرونکي مختلف تجهیزات کاروي. د هوا پاکوالي او رطوبت کنټرول کې، لاندې تجهیزات خورا مهم دي:

• د HEPA او ULPA فلټرونه: د هوا له لارې د 0.12 مایکرون په اندازه کوچني ذرات لرې کړئ، د هوا د جریان د ثابت نمونو په ډاډمنولو سره د هوا پاکوالي او رطوبت کنټرول ته رسیدګي کوي.
• د پاکې خونې HVAC سیسټمونه: د تودوخې، هوا ورکولو، او هوایی کنډیشن ځانګړي سیسټمونه په ځانګړي ډول د پاکې خونې انفرادي برخو ته مناسب دي.
• د چاپیریال څارنې سیسټمونه: د رطوبت، تودوخې او هوا کې د ذراتو لپاره تل محتاط اوسئ، چې په ریښتیني وخت کې خبرداری او د معلوماتو ثبت کول وړاندې کوي.
• د رطوبت کمولو واحدونه: په ډیری مواردو کې د HVAC سیسټمونو سره مدغم شوي، دا د لوړ حساسیت زونونو کې د خورا ټیټ شبنم نقطو ترلاسه کولو لپاره کلیدي چلوونکي دي.

د سیمیکمډکټر پاکولو خونې لپاره ټول تجهیزات باید د ټیټ ساتنې، مطابقت او اعتبار سره ډیزاین شي ترڅو د وخت او پروسې ثبات ډاډمن شي.

د سیمیکمډکټر پاکولو خونې د رطوبت کمولو پرمختللي تخنیکونه

په نیمه نیمه نیمه پاکو خونو کې د رطوبت غوره تنظیم یوه تخنیکي ننګونه ده، په ځانګړې توګه کله چې د چاپیریال د رطوبت چاپیریال لوړ یا ډیر ټیټ د شبنم نقطه وي، نو نباتاتو ته اړتیا وي (تر -40 درجو سانتی ګراد پورې یا حتی -60 درجو سانتی ګراد پورې). دا هغه ځای دی چې د نیمه نیمه پاکو خونو د رطوبت کمولو ټیکنالوژي ګام پورته کوي.

د رطوبت کمولو تخنیکونه په لاندې ډول دي:

• د هوا وچولو لپاره د اوبو وچولو ماشینونه: دا د هوا وچولو لپاره د هایګروسکوپیک موادو څخه کار اخلي او د ټیټ RH کارولو لپاره مناسب دي.
• د یخچال پر بنسټ د هوا رطوبت کموونکي: دوی د اوبو لیږدولو لپاره هوا سړه کوي، د رطوبت کنټرول عمومي اړتیاو لپاره غوره.
• هایبرډ سیسټمونه: د سخت کنټرول شرایطو لاندې د مؤثره فعالیت لپاره وچونکی او یخچال مخلوط شوي دي.

سیسټمونه ډیری وختونه د زون کولو وړتیا سره جوړ شوي، چیرې چې د پاکې خونې انفرادي زونونه ممکن د پروسې مرحلې او تجهیزاتو حساسیت سره سم د رطوبت مختلفې کچې ولري.

د مدغم سیمیکمډکټر رطوبت کنټرول ګټې

د سیمیکمډکټر رطوبت کنټرول یو مدغم میتود ډیری عملیاتي ګټې لري:

• ښه حاصل: دوامداره رطوبت د رطوبت نیمګړتیاو مخه نیسي او د کارولو وړ چپسونو لوړ تناسب چمتو کوي.
• د ځنډ وخت کم شوی: د چاپیریال کنټرول اتومات سیسټمونه لاسي بې ځایه کول او ډیبګ کول خورا لږ تر لږه کموي.
• اطاعت او تصدیق: د ISO 14644 یا GMP تصدیق سره مطابقت د غوره کنټرول سیسټمونو په فعالیت سره اسانه کیږي.
• د انرژۍ موثریت: د هوا د رطوبت کمولو پرمختللي سیسټمونه کولی شي د انرژۍ موثریت ولري مګر تر سختو حدودو پورې کنټرول شي.

برسېره پردې، د فابریکو اتوماتیک او مصنوعي ذهانت لخوا پرمخ وړل کیږي، د رطوبت کنټرول سیسټمونه په نورو سیسټمونو کې مدغم کیږي، لکه د تولید اجرا کولو سیسټمونه (MES) او د ودانیو مدیریت سیسټمونه (BMS)، ترڅو په مرکزي توګه کنټرول او د وړاندوینې ساتنې وړ وي.

پایله

د سیمیکمډکټر تولید په اوږدو کې د رطوبت کنټرول د یوې ثانوي اندیښنې څخه کم نه دی - دا د کیفیت، ثبات او ګټې یو داخلي فعالونکی دی. د پرمختللي سیمیکمډکټر پاک خونې ټیکنالوژۍ او د سیمیکمډکټر پاک خونې مناسب رطوبت کمولو میتودونو په کارولو سره، فابریکې کولی شي د راتلونکي نسل چپس جوړولو لپاره اړین دقیق زغم ترلاسه کړي.

د مدغم، هوښیار، او بریښنا سپمونکي سیمیکمډکټر رطوبت کنټرول سیسټمونو په منلو سره، تاسو ځان په داسې موقعیت کې ځای پر ځای کوئ چې د AI او IoT څخه تر موټرو او فضا پورې د بازارونو پراخیدونکي غوښتنې پوره کړئ. په داسې نړۍ کې چې یو مایکرون خورا مهم دی، هغه چاپیریال چې تاسو یې رامینځته کوئ نور هم مهم دی.