குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துல்லியத்தில் மன்னிக்க முடியாதது. டிரான்சிஸ்டர்கள் குறைக்கப்பட்டு, சுற்றுகள் அதிகரிக்கப்படுவதால், குறைந்தபட்ச அளவிலான சுற்றுச்சூழல் மாறுபாடு கூட குறைபாடுகள், மகசூல் இழப்பு அல்லது இறுதி நம்பகத்தன்மை தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். சந்தேகத்திற்கு இடமின்றி, குறைபாடு இல்லாத செயல்முறையின் மிக முக்கியமான மற்றும் புறக்கணிக்கப்பட்ட அம்சம் ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு ஆகும். உச்ச செயல்திறன் அதிநவீன குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் அறை உபகரணங்களை மட்டுமல்ல, குறிப்பிட்ட செயல்முறை அளவுருக்களை மையமாகக் கொண்டு மனசாட்சியுடன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் அறை ஈரப்பதத்தை நீக்கும் நடைமுறைகளையும் அடிப்படையாகக் கொண்டது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஈரப்பதத்தின் பங்கு

ஈரப்பதம் வெறும் ஆடம்பரம் மட்டுமல்ல - குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வசதிகளில் இது ஒரு முக்கிய காரணியாகும். கட்டுப்பாடற்ற ஈரப்பதம் பின்வரும் ஆபத்துகளை ஏற்படுத்துகிறது:

• உணர்திறன் வாய்ந்த வேஃபர் மேற்பரப்புகளின் ஆக்சிஜனேற்றம்
• குறிப்பாக குறைந்த ஈரப்பதம் உள்ள சூழ்நிலைகளில், மின்னியல் வெளியேற்றம் (ESD)
• நீர் நீராவி இணைப்பு வழியாக துகள் மாசுபாடு
• பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை நிலைகளில் ஈரப்பதத்தால் ஏற்படும் அரிப்பு

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் இன்று நானோமீட்டர் அளவுகளில் தயாரிக்கப்படுவதால், இந்த அபாயங்கள் அதிகரிக்கின்றன. எனவே, குறைக்கடத்தி ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு என்பது ஒரு நல்ல யோசனை மட்டுமல்ல - இது ஒரு தொழில்நுட்ப கட்டாயமாகும்.

குறைக்கடத்தி கிளீன்ரூமைப் புரிந்து கொள்ளுங்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொழிற்சாலைகள், அல்லது ஃபேப்கள், மிகக் குறைந்த காற்றில் பரவும் துகள் அளவுகள், வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கம் மற்றும் ஈரப்பதத்துடன் கட்டமைக்கப்படுகின்றன. ISO அல்லது ஃபெடரல் ஸ்டாண்டர்ட் 209E வகைப்பாட்டின் படி, ஒரு கன மீட்டருக்கு துகள்களின் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய எண்ணிக்கை மற்றும் விட்டம் அடிப்படையில் சுத்தமான அறைகள் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த சூழலில், குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் அறை உபகரணங்கள் காற்றோட்டம் மற்றும் வடிகட்டுதலை ஒழுங்குபடுத்துவது மட்டுமல்லாமல் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தையும் உறுதிப்படுத்துகின்றன. சுத்தம் செய்யும் அறை அமைப்புகளின் ஒருங்கிணைப்பு சுற்றுச்சூழல் அளவுருக்கள் இணக்கமாக இருப்பதை உறுதி செய்ய வேண்டும். இது குறிப்பாக லித்தோகிராஃபி, வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பொறித்தல் போன்ற நுட்பமான செயல்பாடுகளில் உண்மையாகும்.

சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டுக்கான முக்கியமான குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறை உபகரணங்கள்

நவீன ஃபேப்கள் சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளைக் கண்காணிக்க உயர் செயல்திறன் கொண்ட பல்வேறு உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. காற்று தூய்மை மற்றும் ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டில், பின்வரும் உபகரணங்கள் மிக முக்கியமானவை:

• HEPA மற்றும் ULPA வடிகட்டிகள்: 0.12 மைக்ரான் அளவுள்ள காற்றில் பரவும் துகள்களை அகற்றி, நிலையான காற்றோட்ட முறைகளை உறுதி செய்வதன் மூலம் காற்றின் தூய்மை மற்றும் ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டை நிவர்த்தி செய்கின்றன.
• சுத்தமான அறை HVAC அமைப்புகள்: சிறப்பு வெப்பமாக்கல், காற்றோட்டம் மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்புகள், சுத்தமான அறையின் தனிப்பட்ட பகுதிகளுக்கு ஏற்றவாறு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
• சுற்றுச்சூழல் கண்காணிப்பு அமைப்புகள்: ஈரப்பதம், வெப்பநிலை மற்றும் காற்றில் பரவும் துகள்களை எப்போதும் கண்காணித்து, நிகழ்நேர எச்சரிக்கை மற்றும் தரவு பதிவை வழங்குகிறது.
• ஈரப்பத நீக்க அலகுகள்: பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் HVAC அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட இவை, அதிக உணர்திறன் மண்டலங்களில் மிகக் குறைந்த பனிப் புள்ளிகளை அடைவதற்கான முக்கிய இயக்கிகளாகும்.

குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் அறைக்கான அனைத்து உபகரணங்களும் குறைந்த பராமரிப்பு, இணக்கத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் வடிவமைக்கப்பட வேண்டும், இது இயக்க நேரம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறை ஈரப்பதத்தை நீக்கும் நுட்பங்கள்

குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகளில் உகந்த ஈரப்பதத்தை ஒழுங்குபடுத்துவது ஒரு தொழில்நுட்ப சவாலாகும், குறிப்பாக சுற்றுப்புற ஈரப்பதம் அதிகமாகவோ அல்லது மிகக் குறைவாகவோ பனி புள்ளியாக இருக்கும்போது, ​​தாவரங்கள் தேவைப்படும் போது (-40°C அல்லது -60°C வரை). அங்குதான் குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறை ஈரப்பதத்தை நீக்கும் தொழில்நுட்பம் அடியெடுத்து வைக்கிறது.

ஈரப்பதத்தை நீக்கும் நுட்பங்கள் பின்வருமாறு:

• டெசிகன்ட் டிஹைமிடிஃபையர்கள்: இவை காற்றை உலர்த்துவதற்கு ஹைக்ரோஸ்கோபிக் பொருளைப் பயன்படுத்துகின்றன மற்றும் குறைந்த ஈரப்பதம் கொண்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவை.
• குளிர்சாதனப் பெட்டி அடிப்படையிலான ஈரப்பதமூட்டிகள்: அவை தண்ணீரைக் கொண்டு செல்ல காற்றை குளிர்விக்கின்றன, பொதுவான ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டு தேவைகளுக்கு உகந்தவை.
• கலப்பின அமைப்புகள்: கடுமையான கட்டுப்பாட்டு நிலைமைகளின் கீழ் பயனுள்ள செயல்பாட்டிற்காக உலர்த்தி மற்றும் குளிர்பதனப் பொருள் கலக்கப்படுகின்றன.

இந்த அமைப்புகள் பெரும்பாலும் மண்டலப்படுத்தல் திறனுடன் கட்டமைக்கப்படுகின்றன, அங்கு சுத்தம் செய்யும் அறையின் தனிப்பட்ட மண்டலங்கள் செயல்முறை நிலை மற்றும் உபகரண உணர்திறனைப் பொறுத்து வெவ்வேறு ஈரப்பத அளவுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.

ஒருங்கிணைந்த குறைக்கடத்தி ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகள்

ஒருங்கிணைந்த குறைக்கடத்தி ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டு முறை பல இயக்க நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

• மேம்பட்ட மகசூல்: நிலையான ஈரப்பதம் ஈரப்பதக் குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் பயன்படுத்தக்கூடிய சில்லுகளின் அதிக விகிதத்தை வழங்குகிறது.
• குறைக்கப்பட்ட செயலிழப்பு நேரம்: தானியங்கி சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் கைமுறையாக ஃபிட்லிங் மற்றும் பிழைத்திருத்தத்தை மிகக் குறைந்த அளவிற்குக் குறைக்கின்றன.
• இணக்கம் மற்றும் சான்றிதழ்: சிறந்த கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் செயல்பாட்டில் இருப்பதால் ISO 14644 அல்லது GMP சான்றிதழுடன் இணங்குவது எளிமையாகிறது.
• ஆற்றல் திறன்: மேம்பட்ட ஈரப்பத நீக்க அமைப்புகள் ஆற்றல் திறன் கொண்டவையாக இருந்தாலும் இறுக்கமான வரம்புகளுக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படலாம்.

கூடுதலாக, ஃபேப்கள் தானியங்கி மற்றும் AI- இயக்கப்படுவதால், ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் உற்பத்தி செயல்படுத்தல் அமைப்புகள் (MES) மற்றும் கட்டிட மேலாண்மை அமைப்புகள் (BMS) போன்ற பிற அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைக்கப்படுகின்றன, அவை மையமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்டு முன்கணிப்பு-பராமரிப்பு-திறன் கொண்டவை.

முடிவுரை

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி முழுவதும் ஈரப்பதத்தைக் கட்டுப்படுத்துவது இரண்டாம் நிலை கவலையைத் தவிர வேறில்லை - இது தரம், நிலைத்தன்மை மற்றும் லாபத்தை உள்ளார்ந்த முறையில் செயல்படுத்துகிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறை தொழில்நுட்பம் மற்றும் பொருத்தமான குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறை ஈரப்பதமாக்கும் முறைகளைப் பயன்படுத்தி, ஃபேப்கள் அடுத்த தலைமுறை சில்லுகளை உற்பத்தி செய்யத் தேவையான துல்லியமான சகிப்புத்தன்மையை அடைய முடியும்.

ஒருங்கிணைந்த, அறிவார்ந்த மற்றும் சக்தி சேமிப்பு குறைக்கடத்தி ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளைத் தழுவுவதன் மூலம், AI மற்றும் IoT முதல் வாகனம் மற்றும் விண்வெளி வரையிலான சந்தைகளின் விரிவடையும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் நிலையில் நீங்கள் உங்களை நிலைநிறுத்திக் கொள்கிறீர்கள். ஒரு மைக்ரான் மிக முக்கியமான உலகில், நீங்கள் உருவாக்கும் சூழல் இன்னும் முக்கியமானது.