Ýarymgeçirijileriň önümçiligi takyklyk babatda örän çylşyrymly. Tranzistorlar iň pes derejä düşürilip, elektrik zynjyrlary köpeldilse-de, daşky gurşawyň üýtgemeleriniň minimal derejesi hem kemçiliklere, öndürijilik ýitgisine ýa-da ygtybarlylygyň gutarnykly bozulmagyna sebäp bolup biler. Şübhesiz, kemçiliksiz prosessiň iň möhüm we gözden düşürilen tarapy çyglylygyň gözegçiligidir. Iň ýokary öndürijilik diňe bir iň täze ýarymgeçiriji arassa otag enjamlaryna däl, eýsem ýarymgeçiriji arassa otagyň çyglylygyny azaltmak boýunça belli bir proses parametrlerine ünsi jemläp, wijdanlyk bilen kämilleşdirilen tejribelere esaslanýar.

Ýarymgeçirijiler önümçiliginde çyglylygyň roly

Çyglylyk diňe bir luks däl - ol ýarymgeçiriji önümçilik desgalarynda möhüm faktordyr. Gözegçilik edilmeýän çyglylyk aşakdaky howplary döredýär:

• Duýgur wafer ýüzleriniň oksidleşmesi
• Elektrostatik boşalma (ESD), esasanam pes çyglylyk şertlerinde
• Suw bugunyň goşulmasy arkaly bölejikleriň hapalanmagy
• Gaplama we synag tapgyrlarynda çyglylyk sebäpli dörän korroziýa

Häzirki wagtda ýarymgeçiriji enjamlar nanometr ölçeglerinde öndürilýändigi üçin, bu töwekgelçilikler artýar. Şeýlelik bilen, ýarymgeçirijileriň çyglylygyny gözegçilikde saklamak diňe gowy pikir däl, eýsem tehniki zerurlykdyr.

Ýarymgeçirijili arassa otagy düşüniň

Ýarymgeçirijileri öndürýän zawodlar ýa-da fabrikalar howadaky bölejikleriň derejesi, temperatura üýtgemeleri we çyglylyk örän pes bolan ýagdaýda gurulýar. Arassa otaglar ISO ýa-da Federal Standart 209E klassifikasiýasyna laýyklykda kub metre düşýän bölejikleriň kabul ederlik sany we diametri boýunça klassifikasiýa edilýär.

Bu gurşawda ýarymgeçiriji arassa otag enjamlary diňe bir howa akymyny we süzgüçleri kadalaşdyrman, eýsem temperatura we çyglylygy hem durnuklaşdyrýar. Arassa otag ulgamlarynyň integrasiýasy daşky gurşaw parametrleriniň sazlaşmagyny üpjün etmelidir. Bu, esasanam, litografiýa, himiki bug çökündileri (HBÇ) we aşındyrma ýaly inçe amallarda has dogrudyr.

Daşky gurşawy gözegçilik etmek üçin möhüm ýarymgeçirijili arassa otag enjamlary

Häzirki zaman fabrikalary daşky gurşawyň şertlerini gözegçilikde saklamak üçin ýokary öndürijilikli dürli enjamlary ulanýarlar. Howanyň arassalygyny we çyglylygyny gözegçilikde saklamakda aşakdaky enjamlar iň möhümdir:

• HEPA we ULPA süzgüçleri: Howa akymynyň durnuklylygyny üpjün etmek arkaly howanyň arassalygyny we çyglylygyny gözegçilikde saklamak üçin 0,12 mikron ýaly kiçijik howa bölejiklerini aýyrýar.
• Arassa otagyň HVAC ulgamlary: Ýöriteleşdirilen ýyladyş, howa çalşygy we howa kondisioner ulgamlary arassa otagyň aýratyn ýerlerine ýörite niýetlenendir.
• Daşky gurşawyň gözegçilik ulgamlary: Çyglylyga, temperatura we howadaky bölejiklere hemişe üns berýär, real wagt režiminde duýduryş we maglumatlary hasaba almak mümkinçiligini berýär.
• Çyglylykdan dynmak enjamlary: Köp halatlarda HVAC ulgamlaryna integrasiýa edilen bu enjamlar ýokary duýgurlyk zolaklarynda örän pes çyg nokatlaryna ýetmegiň esasy hereketlendirijileridir.

Ýarymgeçiriji arassa otag üçin ähli enjamlar iş wagtyny we prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek üçin az tehniki hyzmat talap edýän, utgaşykly we ygtybarly görnüşde dizaýn edilmelidir.

Ösen Ýarymgeçirijili Arassa Otag Nemsizleşdirme Usullary

Ýarymgeçirijili arassa otaglarda çyglylygyň optimal kadalaşdyrylmagy tehnologiki kynçylykdyr, esasanam daşky gurşawyň çyglylygy ýokary ýa-da örän pes bolanda, ösümlikler gerek bolanda (-40°C ýa-da hatda -60°C çenli). Ýarymgeçirijili arassa otagyň çyglylygyny azaltmak tehnologiýasy şu ýerde işe goşulýar.

Çyglylykdan goramak usullary ulanylýar:

• Guradyjy Çyglylyk Guradyjylar: Bular howany guratmak üçin gigroskopik materiallary ulanýarlar we pes nisbi howa şertlerinde ulanmak üçin idealdyr.
• Sowadyjy esasly çyglylyk guradyjylar: Olar suwy daşamak üçin howany sowatýarlar, bu bolsa çyglylygy gözegçilikde saklamagyň umumy talaplary üçin iň amatlydyr.
• Gibrid ulgamlar: Guradyjy we sowadyjy serişdeler berk gözegçilik şertlerinde netijeli işlemek üçin garyşdyrylýar.

Ulgamlar köplenç zolaklaşdyrmak mümkinçiligi bilen gurulýar, bu ýerde arassa otagyň aýry-aýry zolaklarynda proses tapgyryna we enjamyň duýgurlygyna görä dürli çyglylyk derejeleri bolup biler.

Integrasiýalaşdyrylan ýarymgeçirijili çyglylyk gözegçiliginiň artykmaçlyklary

Integrasiýa edilen ýarymgeçirijili çyglylyk gözegçiliginiň usulynyň birnäçe iş artykmaçlyklary bar:

• Hasylyň ýokarlanmagy: Yzygiderli çyglylyk çyglylyk kemçilikleriniň öňüni alýar we ulanyp boljak çipsleriň has ýokary gatnaşygyny üpjün edýär.
• Işlemeýän wagtyň azaldylmagy: Awtomatlaşdyrylan daşky gurşawy gözegçilik etmek ulgamlary el bilen işlemegi we sazlamalary iň pes derejä çenli azaldýar.
• Laýyklyk we güwänama: Ajaýyp dolandyryş ulgamlarynyň işlemegi bilen ISO 14644 ýa-da GMP güwänamasyna laýyklyk has ýeňilleşýär.
• Energiýa netijeliligi: Ösen çyglylykdan goraýyş ulgamlary energiýa netijeli bolup, şol bir wagtyň özünde berk çäklerde dolandyrylyp bilner.

Mundan başga-da, zawodlar awtomatlaşdyrylan we emeli intellekt arkaly dolandyrylýan bolansoň, çyglylyk gözegçilik ulgamlary merkezi dolandyrylýan we öňünden çaklap bolýan tehniki hyzmat edip bilýän önümçilik ýerine ýetiriş ulgamlary (MES) we bina dolandyryş ulgamlary (BMS) ýaly beýleki ulgamlara goşulýar.

Netije

Ýarymgeçirijiler önümçiliginde çyglylygyň gözegçiligi ikinji derejeli mesele däl - ol hiliň, yzygiderliligiň we girdejililigiň içki şertidir. Ösen ýarymgeçiriji arassa otag tehnologiýasyny we ýarymgeçiriji arassa otagyň çyglylygyny azaltmak üçin degişli usullary ulanyp, fabrikalar indiki nesil çipleri öndürmek üçin zerur bolan takyk çydamlylyklara ýetip bilerler.

Integrasiýa edilen, akylly we energiýa tygşytlaýjy ýarymgeçiriji çyglylyk gözegçilik ulgamlaryny ulanmak bilen, siz özleriňizi emeli intellektden we IoT-dan awtoulag we awiakosmos senagatyna çenli bazarlaryň barha artýan talaplaryny kanagatlandyrmak üçin mümkinçilik döredýärsiňiz. Bir mikronyň möhüm bolan dünýäsinde, döredýän gurşawyňyz has-da möhümdir.