Ondarymgeçiriji önümçiligi takyklykda bagyşlamaz. Tranzistorlar kiçeldilip, zynjyryň köpelmegi bilen, daşky gurşawyň üýtgemeginiň iň pes derejesi hem kemçiliklere, hasyl ýitirilmegine ýa-da soňky ygtybarlylyk şowsuzlygyna sebäp bolup biler. Şübhesiz, kemçiliksiz prosesiň iň möhüm we äsgerilmedik tarapy çyglylyga gözegçilik etmekdir. Iň ýokary öndürijilik diňe bir häzirki zaman ýarymgeçiriji arassalaýyş enjamlarynyň üstünde däl-de, eýsem ýarymgeçirijiniň arassalanýan otagynyň dehidizasiýa amallaryna esaslanýar, belli bir proses parametrleri bilen wy consdan bilen arassalanýar.

Ondarymgeçiriji önümçiliginde çyglylygyň roly

Çyglylyk diňe bir kaşaňlyk däl, ýarymgeçiriji önümçilik desgalarynda möhüm faktor. Gözegçiliksiz çyglylyk aşakdaky howplary döredýär:

• Duýgur wafli ýüzleriň okislenmegi
• Elektrostatik akym (ESD), esasanam pes çyglylyk şertlerinde
• Suw buglarynyň goşulmagy arkaly bölejikleriň hapalanmagy
• Gaplamak we synag etaplarynda çyglylyk sebäpli ýüze çykýan poslama

Icarymgeçiriji enjamlar häzirki wagtda nanometr terezisinde öndürilýändigi sebäpli bu töwekgelçilikler ýokarlanýar. Şeýlelik bilen, ýarymgeçirijiniň çyglylygyna gözegçilik etmek diňe bir gowy pikir däl, bu tehniki zerurlykdyr.

Ondarymgeçirijiniň arassa otagyna düşüniň

Ondarymgeçiriji öndürýän zawodlar ýa-da fablar, howadan çykýan bölejikleriň derejesi, temperaturanyň üýtgemegi we çyglylygy bilen gaty pes gurulýar. Arassa otaglar ISO ýa-da Federal Standard 209E klassifikasiýasyna laýyklykda kub metr üçin bölejikleriň kabul ederlik mukdary we diametri boýunça toparlara bölünýär.

Bu gurşawda ýarymgeçiriji arassalaýyş enjamlary diňe bir howa akymyny we süzgüçini kadalaşdyrman, eýsem temperaturany we çyglylygy hem durnuklaşdyrýar. Arassa otag ulgamlarynyň integrasiýasy daşky gurşaw parametrleriniň sazlaşykly bolmagyny üpjün etmeli. Bu esasanam daşbasma, himiki bug çökdürilmegi (CVD) we efir ýaly näzik amallarda has dogrydyr.

Daşky gurşawy dolandyrmak üçin möhüm ýarymgeçiriji arassalaýyş enjamlary

Döwrebap fablar daşky gurşawyň ýagdaýyna gözegçilik etmek üçin ýokary öndürijilikli dürli enjamlary ulanýarlar. Howanyň arassalygy we çyglylygy gözegçilikde aşakdaky enjamlar iň möhümdir:

• HEPA we ULPA süzgüçleri: Howanyň arassalygyny we çyglylygy dolandyrmagy üpjün edip, 0,12 mikron ýaly kiçijik howa bölejiklerini aýyryň.
• Arassa otag HVAC ulgamlary: heatingöriteleşdirilen ýyladyş, şemalladyş we kondisioner ulgamlary arassa otagyň aýry-aýry ýerlerine ýörite düzülendir.
• Daşky gurşawa gözegçilik ulgamlary: Çyglylyga, temperatura we howadan çykýan bölejiklere hemişe seresap boluň, hakyky wagtda duýduryş we maglumatlary ýazmagy teklip edýär.
• Dehumidifikasiýa bölümleri: Köp halatlarda HVAC ulgamlaryna birleşdirilen, ýokary duýgurlyk zolaklarynda ultra pes çyg nokatlaryna ýetmegiň esasy hereketlendirijileri.

Ondarymgeçiriji arassalaýyş otagy üçin ähli enjamlar iş wagtynyň we prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek üçin pes tehniki hyzmat, laýyklyk we ygtybarlylyk bilen dizaýn edilmelidir.

Öňdebaryjy ýarymgeçirijiniň arassalanmagy arassalamak usullary

Ondarymgeçiriji arassalaýyş otaglarynda çyglylygy optimal sazlamak tehnologiki kynçylyk bolup durýar, esasanam daşky gurşaw çyglylygy gurşawy ýokary ýa-da çygly nokat bolup, ösümlikleri talap edýär (-40 ° C ýa-da -60 ° C). Ine, ýarymgeçirijiniň arassalanýan otagyny dehidifikasiýa tehnologiýasy ädim ätýär.

Ulanylýan suwsuzlandyryş usullary:

• Desiccant Dehumidifiers: Bular howany zaýalamak üçin gigroskopiki material ulanýarlar we pes RH amaly üçin amatly.
• Sowadyjy esasly suwsuzlandyryjylar: Suwy daşamak üçin howany sowadýarlar, çyglylygy dolandyrmagyň umumy talaplary üçin iň amatly.
• Gibrid ulgamlar: Gaty gözegçilik şertlerinde täsirli işlemek üçin desikant we sowadyjy garyndy.

Ulgamlar köplenç sebitleşdirmek ukyby bilen gurulýar, bu ýerde arassa otagyň aýry-aýry zolaklary proses etabyna we enjamlaryň duýgurlygyna görä dürli çyglylyk derejesine eýe bolup biler.

Toplumlaýyn ýarymgeçirijiniň çyglylygy dolandyrmagyň artykmaçlyklary

Toplumlaýyn ýarymgeçirijiniň çyglylygyny dolandyrmagyň usuly birnäçe iş artykmaçlygyna eýedir:

• Gowulaşan hasyl: yzygiderli çyglylyk çyglylygyň kemçilikleriniň öňüni alýar we ulanylýan çipleriň has ýokary gatnaşygyny üpjün edýär.
• Iş wagtynyň azaldylmagy: Daşky gurşawy dolandyrmagyň awtomatlaşdyrylan ulgamlary el bilen işlemegi we düzedişleri iň pes derejä çenli azaldar.
• Ylalaşyk we kepilnama: ISO 14644 ýa-da GMP kepilnamasy bilen işlemek, ajaýyp dolandyryş ulgamlary bilen has ýönekeýleşýär.
• Energiýa tygşytlylygy: Ösen dehumidifikasiýa ulgamlary energiýa tygşytly bolup biler, ýöne berk çäklerde gözegçilik edip biler.

Mundan başga-da, fablar awtomatlaşdyrylan we AI bilen dolandyrylýan çyglylygy dolandyrmak ulgamlary merkezi gözegçilikde saklamak we çaklamaga ukyply bolmak üçin önümçilik ýerine ýetiriş ulgamlary (MES) we gurluşyk dolandyryş ulgamlary (BMS) ýaly beýleki ulgamlara birleşdirilýär.

Netije

Ondarymgeçiriji önümçiliginiň dowamynda çyglylyga gözegçilik etmek ikinji derejeli aladadan pes däldir - bu hiliň, yzygiderliligiň we girdejiligiň içerki mümkinçilikidir. Öňdebaryjy ýarymgeçiriji arassalaýyş tehnologiýasy we degişli ýarymgeçiriji arassalaýyş otagynyň suwsuzlandyryş usullaryndan peýdalanyp, fabs indiki nesil çiplerini öndürmek üçin zerur takyk çydamlylygy gazanyp biler.

Integrirlenen, akylly we güýç tygşytlaýan ýarymgeçirijiniň çyglylygyny dolandyrmak ulgamlaryny kabul etmek bilen, AI we IoT-den başlap, awtoulag we howa giňişligine çenli bazarlaryň barha artýan isleglerini kanagatlandyryp bilersiňiz. Bir mikronyň möhüm bolan dünýäsinde döredýän gurşawyňyz has möhümdir.