ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ដោយសារតែត្រង់ស៊ីស្ទ័រត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា ហើយសៀគ្វីត្រូវបានបង្កើន សូម្បីតែកម្រិតតិចតួចបំផុតនៃការប្រែប្រួលបរិស្ថានក៏អាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាព ការបាត់បង់ទិន្នផល ឬការបរាជ័យនៃភាពជឿជាក់ចុងក្រោយ។ ដោយមិនសង្ស័យ ទិដ្ឋភាពសំខាន់បំផុត និងត្រូវបានធ្វេសប្រហែសនៃដំណើរការដែលគ្មានពិការភាពគឺការគ្រប់គ្រងសំណើម។ ប្រសិទ្ធភាពកំពូលមិនត្រឹមតែត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើឧបករណ៍បន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើបប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងនៅលើការអនុវត្តការសម្ងួតសំណើមបន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលត្រូវបានកែលម្អដោយយកចិត្តទុកដាក់ជាមួយនឹងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការជាក់លាក់ផងដែរ។

តួនាទីរបស់សំណើមក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

សំណើមមិនមែនគ្រាន់តែជារបស់ប្រណីតនោះទេ - វាជាកត្តាសំខាន់មួយនៅក្នុងរោងចក្រផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ សំណើមដែលមិនបានគ្រប់គ្រងបង្កគ្រោះថ្នាក់ដូចខាងក្រោម៖

• អុកស៊ីតកម្មនៃផ្ទៃ wafer ដែលងាយប្រតិកម្ម
• ការឆក់ចរន្តអគ្គិសនី (ESD) ជាពិសេសនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌសំណើមទាប
• ការបំពុលភាគល្អិតតាមរយៈការភ្ជាប់ចំហាយទឹក
• ការច្រេះដែលបណ្តាលមកពីសំណើមក្នុងដំណាក់កាលវេចខ្ចប់ និងដំណាក់កាលធ្វើតេស្ត

ដោយសារតែឧបករណ៍​ស៊ីមីកុងដុកទ័រត្រូវបានផលិតក្នុងមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ហានិភ័យទាំងនេះក៏កើនឡើង។ ដូច្នេះ ការគ្រប់គ្រងសំណើមស៊ីមីកុងដុកទ័រមិនមែនគ្រាន់តែជាគំនិតល្អនោះទេ — វាជាកាតព្វកិច្ចបច្ចេកទេសមួយ។

យល់ដឹងអំពីបន្ទប់ស្អាតរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

រោងចក្រផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឬរោងចក្រផលិត ត្រូវបានសាងសង់ឡើងជាមួយនឹងកម្រិតភាគល្អិតនៅលើអាកាសទាបបំផុត ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសំណើម។ បន្ទប់ស្អាតត្រូវបានចាត់ថ្នាក់តាមចំនួន និងអង្កត់ផ្ចិតនៃភាគល្អិតដែលអាចទទួលយកបានក្នុងមួយម៉ែត្រគូប ស្របតាមចំណាត់ថ្នាក់ ISO ឬស្តង់ដារសហព័ន្ធ 209E។

នៅក្នុងបរិយាកាសនេះ ឧបករណ៍បន្ទប់ស្អាតប្រភេទស៊ីមីកុងដុកទ័រមិនត្រឹមតែគ្រប់គ្រងលំហូរខ្យល់ និងការច្រោះប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើមមានស្ថេរភាពផងដែរ។ ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃប្រព័ន្ធបន្ទប់ស្អាតត្រូវតែធានាថាប៉ារ៉ាម៉ែត្របរិស្ថានមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា។ នេះជាការពិតជាពិសេសនៅក្នុងប្រតិបត្តិការដ៏ឆ្ងាញ់ដូចជា លីតូក្រាហ្វី ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) និងការឆ្លាក់។

ឧបករណ៍បន្ទប់ស្អាតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន

រោងចក្រ​ទំនើបៗ​ប្រើប្រាស់​ឧបករណ៍​ផ្សេងៗ​ដែល​មាន​ដំណើរការ​ខ្ពស់​ដើម្បី​តាមដាន​ស្ថានភាព​បរិស្ថាន។ ក្នុង​ការ​គ្រប់គ្រង​អនាម័យ​ខ្យល់ និង​សំណើម ឧបករណ៍​ខាងក្រោម​នេះ​គឺ​សំខាន់​បំផុត៖

• តម្រង HEPA និង ULPA៖ កម្ចាត់ភាគល្អិតតូចៗក្នុងខ្យល់ដែលមានទំហំតូចរហូតដល់ 0.12 មីក្រូន ដោយដោះស្រាយការគ្រប់គ្រងអនាម័យខ្យល់ និងសំណើមដោយធានាបាននូវលំនាំលំហូរខ្យល់ដែលមានស្ថេរភាព។
• ប្រព័ន្ធ HVAC បន្ទប់ស្អាត៖ ប្រព័ន្ធកំដៅ ខ្យល់ចេញចូល និងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ឯកទេសត្រូវបានរៀបចំជាពិសេសសម្រាប់តំបន់នីមួយៗនៃបន្ទប់ស្អាត។
• ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យបរិស្ថាន៖ តែងតែប្រុងប្រយ័ត្នចំពោះសំណើម សីតុណ្ហភាព និងភាគល្អិតក្នុងខ្យល់ ដោយផ្តល់ជូននូវការព្រមាន និងការកត់ត្រាទិន្នន័យទាន់ពេលវេលា។
• ឯកតា​សម្ងួត​សំណើម៖ បញ្ចូល​ទៅក្នុង​ប្រព័ន្ធ HVAC ក្នុងករណីភាគច្រើន ទាំងនេះគឺជាកត្តាជំរុញ​សំខាន់ៗ​ឆ្ពោះទៅរកការសម្រេចបាន​ចំណុច​ទឹកសន្សើម​ទាបបំផុត​នៅក្នុងតំបន់​ដែលមាន​ភាពរសើប​ខ្ពស់។

ឧបករណ៍ទាំងអស់សម្រាប់បន្ទប់សម្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកត្រូវតែត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងការថែទាំទាប ភាពឆបគ្នា និងភាពជឿជាក់ ដើម្បីធានាបាននូវពេលវេលាដំណើរការ និងស្ថេរភាពដំណើរការ។

បច្ចេកទេសសម្ងួតសំណើមកម្រិតខ្ពស់សម្រាប់បន្ទប់ស្អាតរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ការគ្រប់គ្រងសំណើមល្អបំផុតនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺជាបញ្ហាប្រឈមផ្នែកបច្ចេកវិទ្យា ជាពិសេសនៅពេលដែលបរិយាកាសសំណើមព័ទ្ធជុំវិញមានចំណុចទឹកសន្សើមខ្ពស់ ឬទាបខ្លាំង ដែលតម្រូវឱ្យមានរុក្ខជាតិ (ទាបដល់ -៤០°C ឬសូម្បីតែ -៦០°C)។ នោះហើយជាកន្លែងដែលបច្ចេកវិទ្យាសម្ងួតសំណើមបន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកចូលមកជួយ។

បច្ចេកទេស​បន្សាប​សំណើម​ដែល​ប្រើ​មាន​ដូចជា៖

• ឧបករណ៍សម្ងួតខ្យល់៖ ទាំងនេះប្រើសម្ភារៈ hygroscopic ដើម្បីសម្ងួតខ្យល់ ហើយល្អសម្រាប់កម្មវិធីដែលមាន RH ទាប។
• ម៉ាស៊ីនសម្ងួតខ្យល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើទូរទឹកកក៖ ពួកវាធ្វើឱ្យខ្យល់ត្រជាក់ដើម្បីដឹកជញ្ជូនទឹក ដែលល្អបំផុតសម្រាប់កម្រិតទូទៅនៃតម្រូវការគ្រប់គ្រងសំណើម។
• ប្រព័ន្ធចម្រុះ៖ សារធាតុស្រូបយកសំណើម និងទូរទឹកកកត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់មុខងារប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពក្រោមលក្ខខណ្ឌត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។

ប្រព័ន្ធទាំងនេះត្រូវបានសាងសង់ឡើងជាញឹកញាប់ជាមួយនឹងសមត្ថភាពបែងចែកតំបន់ ដែលតំបន់នីមួយៗនៃបន្ទប់ស្អាតអាចមានកម្រិតសំណើមខុសៗគ្នាទៅតាមដំណាក់កាលដំណើរការ និងភាពរសើបនៃឧបករណ៍។

គុណសម្បត្តិនៃការគ្រប់គ្រងសំណើមស៊ីមីកុងដុកទ័ររួមបញ្ចូលគ្នា

វិធីសាស្ត្រគ្រប់គ្រងសំណើមស៊ីមីកុងដុកទ័ររួមបញ្ចូលគ្នាមានគុណសម្បត្តិប្រតិបត្តិការជាច្រើន៖

• ទិន្នផលប្រសើរឡើង៖ សំណើមជាប់លាប់ការពារពិការភាពសំណើម និងផ្តល់នូវសមាមាត្រខ្ពស់នៃបន្ទះសៀគ្វីដែលអាចប្រើបាន។
• កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ៖ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងបរិស្ថានដោយស្វ័យប្រវត្តិកាត់បន្ថយការលេងភ្លេងដោយដៃ និងការបំបាត់កំហុសឱ្យនៅកម្រិតអប្បបរមាដាច់ខាត។
• ការអនុលោមតាម និងវិញ្ញាបនបត្រ៖ ការអនុលោមតាមវិញ្ញាបនបត្រ ISO 14644 ឬ GMP កាន់តែសាមញ្ញជាមួយនឹងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យដ៏ល្អឥតខ្ចោះដែលកំពុងដំណើរការ។
• ប្រសិទ្ធភាពថាមពល៖ ប្រព័ន្ធ​សម្ងួត​សំណើម​កម្រិត​ខ្ពស់​អាច​មាន​ប្រសិទ្ធភាព​ថាមពល ប៉ុន្តែ​អាច​គ្រប់គ្រង​បាន​ក្នុង​កម្រិត​តឹងរ៉ឹង។

លើសពីនេះ ដោយសាររោងចក្រត្រូវបានផលិតឡើងដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងជំរុញដោយបញ្ញាសិប្បនិម្មិត ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសំណើមកំពុងត្រូវបានរួមបញ្ចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្សេងទៀត ដូចជាប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិផលិតកម្ម (MES) និងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគារ (BMS) ដើម្បីត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយកណ្តាល និងមានសមត្ថភាពថែទាំព្យាករណ៍។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការគ្រប់គ្រងសំណើមពេញមួយការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមិនមែនជាកង្វល់បន្ទាប់បន្សំនោះទេ — វាគឺជាកត្តាជំរុញដ៏សំខាន់មួយនៃគុណភាព ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា និងប្រាក់ចំណេញ។ ដោយប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាបន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់ និងវិធីសាស្ត្រសម្ងួតសំណើមបន្ទប់ស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសមស្រប រោងចក្រអាចសម្រេចបាននូវការអត់ធ្មត់ជាក់លាក់ដែលត្រូវការដើម្បីផលិតបន្ទះឈីបជំនាន់ក្រោយ។

តាមរយៈការឱបក្រសោបប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសំណើមស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលរួមបញ្ចូលគ្នា ឆ្លាតវៃ និងសន្សំសំចៃថាមពល អ្នកដាក់ខ្លួនអ្នកនៅក្នុងទីតាំងមួយដើម្បីបំពេញតម្រូវការដែលកំពុងពង្រីកនៃទីផ្សារចាប់ពី AI និង IoT រហូតដល់យានយន្ត និងអវកាស។ នៅក្នុងពិភពលោកមួយដែលមីក្រូមានសារៈសំខាន់ បរិស្ថានដែលអ្នកបង្កើតគឺកាន់តែសំខាន់។