ការផលិត semiconductor គឺមិនអាចអត់ឱនចំពោះភាពត្រឹមត្រូវបានទេ។ ដោយសារត្រង់ស៊ីស្ទ័រត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា ហើយសៀគ្វីត្រូវបានកើនឡើង សូម្បីតែកម្រិតអប្បបរមានៃការប្រែប្រួលបរិស្ថានអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាព ការបាត់បង់ទិន្នផល ឬការបរាជ័យនៃភាពជឿជាក់ចុងក្រោយ។ ដោយមិនសង្ស័យ ទិដ្ឋភាពសំខាន់បំផុត និងដែលមិនយកចិត្តទុកដាក់បំផុតនៃដំណើរការដែលគ្មានពិការភាពគឺការគ្រប់គ្រងសំណើម។ ការសម្តែងកំពូលមិនត្រឹមតែត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើឧបករណ៍សម្អាត semiconductor ទំនើបបំផុតប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែនៅលើការអនុវត្តនៃការសម្អាតបន្ទប់សម្អាត semiconductor ដែលត្រូវបានកែលម្អដោយមនសិការជាមួយនឹងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការជាក់លាក់នៅក្នុងការផ្តោតអារម្មណ៍។

តួនាទីនៃសំណើមនៅក្នុងការផលិត Semiconductor

សំណើមមិនមែនគ្រាន់តែជាភាពប្រណិតនោះទេ វាជាកត្តាសំខាន់មួយនៅក្នុងរោងចក្រផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក។ សំណើមដែលមិនអាចគ្រប់គ្រងបាន បង្កគ្រោះថ្នាក់ដូចខាងក្រោម៖

• អុកស៊ីតកម្មនៃផ្ទៃ wafer ប្រកាន់អក្សរតូចធំ
• ការឆក់អគ្គិសនី (ESD) ជាពិសេសនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌសំណើមទាប
• ការចម្លងរោគភាគល្អិតតាមរយៈការភ្ជាប់ចំហាយទឹក។
• ការច្រេះដែលបណ្តាលមកពីសំណើមក្នុងដំណាក់កាលវេចខ្ចប់ និងការធ្វើតេស្ត

ចាប់តាំងពីឧបករណ៍ semiconductor ត្រូវបានផលិតនៅមាត្រដ្ឋាន nanometer សព្វថ្ងៃនេះ ហានិភ័យទាំងនេះត្រូវបានកើនឡើង។ ដូច្នេះ ការគ្រប់គ្រងសំណើម semiconductor មិនមែនគ្រាន់តែជាគំនិតល្អនោះទេ វាជាតម្រូវការបច្ចេកទេស។

ស្វែងយល់ពីបន្ទប់សម្អាត Semiconductor

រោងចក្រផលិត semiconductor ឬ fabs ត្រូវបានសាងសង់ដោយមានកម្រិតភាគល្អិតខ្យល់ទាបបំផុត ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសំណើម។ Cleanrooms ត្រូវបានចាត់ថ្នាក់តាមចំនួនដែលអាចទទួលយកបាន និងអង្កត់ផ្ចិតនៃភាគល្អិតក្នុងមួយម៉ែត្រគូប យោងទៅតាមចំណាត់ថ្នាក់ ISO ឬ Federal Standard 209E។

នៅក្នុងបរិយាកាសនេះ ឧបករណ៍សម្អាត semiconductor មិនត្រឹមតែធ្វើនិយ័តកម្មលំហូរខ្យល់ និងការច្រោះប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងរក្សាស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាព និងសំណើមផងដែរ។ ការរួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធសម្អាតបន្ទប់ត្រូវតែធានាថាប៉ារ៉ាម៉ែត្របរិស្ថានមានភាពចុះសម្រុងគ្នា។ នេះជាការពិតជាពិសេសនៅក្នុងប្រតិបត្តិការល្អិតល្អន់ដូចជា lithography ការទម្លាក់ចំហាយគីមី (CVD) និងការ etching ។

គ្រឿងបរិក្ខារបន្ទប់អនាម័យសំខាន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន

Fabs ទំនើបប្រើឧបករណ៍ផ្សេងៗជាមួយនឹងដំណើរការខ្ពស់ដើម្បីតាមដានលក្ខខណ្ឌបរិស្ថាន។ នៅក្នុងការគ្រប់គ្រងអនាម័យខ្យល់ និងសំណើម ឧបករណ៍ខាងក្រោមមានសារៈសំខាន់បំផុត៖

• តម្រង HEPA និង ULPA៖ យកភាគល្អិតក្នុងខ្យល់ដែលមានទំហំតូចដល់ទៅ 0.12 microns ដោះស្រាយភាពស្អាតខ្យល់ និងការគ្រប់គ្រងសំណើម ដោយធានានូវលំនាំលំហូរខ្យល់ដែលមានស្ថេរភាព។
• ប្រព័ន្ធ HVAC របស់បន្ទប់ស្អាត៖ ប្រព័ន្ធកំដៅ ខ្យល់ និងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ពិសេសត្រូវបានកែសម្រួលជាពិសេសទៅតាមតំបន់នីមួយៗនៃបន្ទប់សម្អាត។
• ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យបរិស្ថាន៖ តែងតែយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះសំណើម សីតុណ្ហភាព និងភាគល្អិតក្នុងខ្យល់ ដែលផ្តល់ការព្រមានតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការកត់ត្រាទិន្នន័យ។
• ឧបករណ៍បំលែងសំណើម៖ រួមបញ្ចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធ HVAC នៅក្នុងករណីភាគច្រើន ទាំងនេះគឺជាកត្តាជំរុញដ៏សំខាន់ឆ្ពោះទៅរកការសម្រេចបាននូវចំណុចទឹកសន្សើមទាបបំផុតនៅក្នុងតំបន់ដែលមានភាពប្រែប្រួលខ្ពស់។

ឧបករណ៍ទាំងអស់សម្រាប់បន្ទប់សម្អាត semiconductor ត្រូវតែត្រូវបានរចនាឡើងដោយមានការថែទាំទាប ភាពឆបគ្នា និងភាពជឿជាក់ ដើម្បីធានាបាននូវពេលវេលាដំណើរការ និងស្ថេរភាពនៃដំណើរការ។

បច្ចេកវិជ្ជាបន្សាបសំណើមនៃបន្ទប់សម្អាត Semiconductor កម្រិតខ្ពស់

បទប្បញ្ញត្តិសំណើមល្អបំផុតនៅក្នុងបន្ទប់សម្អាត semiconductor គឺជាបញ្ហាប្រឈមផ្នែកបច្ចេកវិទ្យា ជាពិសេសនៅពេលដែលបរិយាកាសសំណើមបរិយាកាសមានកម្រិតទឹកសន្សើមខ្ពស់ ឬទាបខ្លាំង ដែលទាមទាររុក្ខជាតិ (ទាបបំផុតរហូតដល់ -40°C ឬសូម្បីតែ -60°C)។ នោះហើយជាកន្លែងដែលបច្ចេកវិជ្ជាសម្អាតបន្ទប់សម្ងួត semiconductor ឈានជើងចូល។

បច្ចេកទេស dehumidification ដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់គឺ៖

• Desiccant Dehumidifiers៖ ទាំងនេះប្រើសម្ភារៈ hygroscopic ដើម្បីបន្សាបខ្យល់ ហើយល្អសម្រាប់កម្មវិធី RH ទាប។
• ឧបករណ៍បំលែងសំណើមដែលមានមូលដ្ឋានលើទូរទឹកកក៖ ពួកវាត្រជាក់ខ្យល់ដើម្បីដឹកជញ្ជូនទឹក ល្អបំផុតសម្រាប់កម្រិតទូទៅនៃតម្រូវការគ្រប់គ្រងសំណើម។
• ប្រព័ន្ធ Hybrid៖ សារធាតុ desiccant និងទូរទឹកកកត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់មុខងារមានប្រសិទ្ធភាពក្រោមលក្ខខណ្ឌត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរឹង។

ប្រព័ន្ធត្រូវបានសាងសង់ជាញឹកញាប់ជាមួយនឹងសមត្ថភាពកំណត់តំបន់ ដែលតំបន់នីមួយៗនៃបន្ទប់សម្អាតអាចមានកម្រិតសំណើមខុសៗគ្នាទៅតាមដំណាក់កាលដំណើរការ និងភាពប្រែប្រួលនៃឧបករណ៍។

គុណសម្បត្តិនៃការត្រួតពិនិត្យសំណើមរួមបញ្ចូលគ្នា Semiconductor

វិធីសាស្រ្តត្រួតពិនិត្យសំណើម semiconductor រួមបញ្ចូលគ្នាមានអត្ថប្រយោជន៍ប្រតិបត្តិការជាច្រើន:

• ទិន្នផលប្រសើរឡើង៖ សំណើមជាប់លាប់ការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយសំណើម និងផ្តល់នូវសមាមាត្រខ្ពស់ជាងនៃបន្ទះសៀគ្វីដែលអាចប្រើបាន។
• កាត់បន្ថយការឈប់សម្រាក៖ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងបរិស្ថានដោយស្វ័យប្រវត្តិកាត់បន្ថយការច្របូកច្របល់ដោយដៃ និងការបំបាត់កំហុសដល់កម្រិតអប្បបរមាដាច់ខាត។
• ការអនុលោមភាព និងវិញ្ញាបនប័ត្រ៖ ការអនុលោមតាម ISO 14644 ឬវិញ្ញាបនប័ត្រ GMP កាន់តែមានភាពសាមញ្ញជាមួយនឹងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងប្រតិបត្តិការ។
• ប្រសិទ្ធភាពថាមពល៖ ប្រព័ន្ធបន្សាបសំណើមកម្រិតខ្ពស់អាចមានប្រសិទ្ធភាពថាមពល ប៉ុន្តែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងដែនកំណត់តឹងរ៉ឹង។

លើសពីនេះទៀត ជាមួយនឹង fabs ត្រូវបានដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្ត និង AI-driven ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសំណើមកំពុងត្រូវបានដាក់បញ្ចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្សេងទៀត ដូចជាប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិផលិតកម្ម (MES) និងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគារ (BMS) ដើម្បីឱ្យមានការគ្រប់គ្រងកណ្តាល និងអាចព្យាករណ៍បាន ថែទាំ-មានសមត្ថភាព។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការគ្រប់គ្រងសំណើមនៅទូទាំងការផលិត semiconductor គឺមិនតិចជាងកង្វល់បន្ទាប់បន្សំនោះទេ វាគឺជាកត្តាជំរុញខាងក្នុងនៃគុណភាព ស្ថិរភាព និងប្រាក់ចំណេញ។ ដោយប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាសម្អាតបន្ទប់សម្អាតសារធាតុ semiconductor កម្រិតខ្ពស់ និងវិធីសាស្ត្រសម្អាតបន្ទប់សម្ងួត semiconductor ដែលសមស្រប Fabs អាចសម្រេចបាននូវភាពអត់ធ្មត់ច្បាស់លាស់ដែលត្រូវការសម្រាប់ផលិតបន្ទះឈីបជំនាន់ក្រោយ។

តាមរយៈការទទួលយកប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសំណើម semiconductor រួមបញ្ចូលគ្នា ឆ្លាតវៃ និងសន្សំសំចៃថាមពល អ្នកដាក់ខ្លួនអ្នកនៅក្នុងទីតាំងមួយដើម្បីបំពេញតម្រូវការទីផ្សារដែលកំពុងកើនឡើងចាប់ពី AI និង IoT រហូតដល់រថយន្ត និងអវកាស។ នៅក្នុងពិភពលោកដែលមួយមីក្រូគឺមានសារៈសំខាន់ បរិស្ថានដែលអ្នកបង្កើតគឺកាន់តែមានសារៈសំខាន់។